有机蒸镀设备-东南大学

1、东南大学化学化工学院金属蒸镀设备、 有机蒸镀设备、旋涂用手套箱、 蒸镀用手套箱采购招标公告 项目名称： 标段一： 化学化工学院金属蒸镀设备、有机蒸镀设备采购 标段二： 化学化工学院旋涂用手套箱、蒸镀用手套箱采购 项目地点 : : 东南大学九龙湖校区 项目概况： 标段一： （一）化学化工学院采购金属蒸镀设备 1 1 台 密闭性高 膜厚控制设备：膜厚探头 2 个，膜厚仪 2 个 样品和蒸发源均配备挡板装置 2. 配置 2.1 真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和进样 2.2 金属蒸发源 4 套：蒸发电极可加载蒸发舟或者钨篮， 要求中心电极正 对样品基底中心，蒸发源挡板。蒸发电源 1 套

2、或者 2 套，可切换 2.3金属蒸发源可选择性配置 2 个以及相应的挡板， 金属材料可斜入射到 达样品架，蒸发源温度最高要求可达 500oC，控温精度1度。蒸发电源 最好能直接显示温度数字，并含升降调控。能实现半导体薄膜制备 2.4 机械泵 1 个，分子泵 1 个以及相应的附件，分子泵水冷系统 2.5升降样品架 2.6真空测量系统 2.7膜厚测试系统 2.8 工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源控制系统， 膜厚测量系统，总电源控制区1.技术参数： 真空度:极限真空可达10-5Pa,工作真空度8*10-4Pa 样品架：可旋转，高度可调，距离蒸发源高度范围 150-250mm,基 底

3、加热 RT-300oC, 控温精度小 蒸发源：金属蒸发源 4 个，最好能旋转，可蒸发 Au， Ag， Al ， Cr， Pt 等金属 金属蒸发源可调节至正对样品架中心以利于金属以直入射方式沉积 到基片 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 （二）化学化工学院采购有机蒸镀设备 1 1 台 设备功能用途 该有机镀膜系统是用于有机电致发光工艺研究、 有机照明器件工艺研究、有机太 阳能电池工艺研究和有机半导体工艺研究的最佳设备， 工作效率高，具有事半功 倍的效果。 主要技术指标 2.1真空抽气系统：由KYKY600L/S涡轮分子泵和DM4L/S机械泵，复合数字真 空计，SD电磁隔断/

4、充气阀，防油充气阀，压力表和波纹管管道等组成，本底极 限真空度达到5X10-5 Pa。 2.2旋转基片架：可放置4个20X25基片，做出4种不同的基片试样。 掩膜板：基片与掩膜板间的间隙为 0，同时在线更换。 水冷膜厚探索头：放在基片架上 4个基片的中心，对使用任一个蒸发源和对 任何一个基片，其测量精度都是相同的。 2.5有机控温式坩埚蒸发源：寿命长达 800-1000小时以上，实际可用 4-5年勿需 维修。保温好，控温性能优越， 2.6 频率计： 共用 4套频率计 2.7侧拉门：规格 20 5X280 ， 2.8照明灯： 2 个 2.9电气机柜： 1 台 标段二： （一）化学化工学院采购旋涂

5、用手套箱 1）旋涂用手套箱箱体 材料：304 不锈钢，厚度 3mm 内表面：不锈钢拉丝处理 外表面： 内部尺寸： 前窗： 手套口： 手套： 过滤器 搁物架： 箱体照明：荧光灯，安装在每块玻璃窗前上方操作方便。 含晶振器）在线测量膜厚。 门上有两个玻离观察窗。 1 1台 喷漆，白色 长度：2440mm，深度：750mm；高度：900mm 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度 8 mm 材料为聚甲醛，0型圈密圭寸 丁基橡胶，直径 8”，长度 32” ：规格 0.3 微米，1 个气体入口和 1 个气体出口 不锈钢材料，内置 2 层 接口： 备用接口 6 个， DN 40 KF ，电源接口 2 个 （

6、220V） 2） 大过 渡 舱 尺寸 材料 表面 附件 舱门 压力表：模拟显示 控制：电磁阀触摸屏自动操作 3） 小过渡舱 直径150mm,长度300mm,进入旋涂用手套箱部分长度100 mm 304 不锈钢 内表面为拉丝处理，外表面喷漆 双门，螺纹锁紧 压力表：模拟显示 控制：手动阀手动操作 4） 气体净化循环系统 净化柱 功能：气体密闭，除水、除氧 容器材料： 304 不锈钢 净化材料：铜触媒、分子筛 水氧指标：小于 1ppm 循环系统 工作气体：氮气、氩气 循环能力：集成风机流量90m3h，加装变频 再生 操作： PLC 自动控制再生过程 再生气体： 工作气体与氢气混合气体， （氢气 5

7、-10%） 真空泵 规格：8m3h，旋片泵，带油雾过滤器，气振控制 阀门 主阀： DN 40 KF ，电气动角阀 控制阀：电磁集成阀 （不锈钢集成阀座，单柱为六个阀集成 ） 5） 控制系统： 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、 循环控制、密码保护。 压力控制：控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力 +/- 10mbar 内可以自由设 定，超出+/-12mbar系统自动保护； 脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压 6） 显示系统：采用西门子 PLC 触摸屏，显示运行状态，箱体压力、系统记录等 7） 真空系统控制情况：真空泵，可手动或通过 PLC启动，流量8

8、 m3h,可对过渡 舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度 370*600 mm方便转移体积较大的物料。小过渡仓尺寸 150*30 mm，高效转移小尺寸物料。 密封要求：焊接连接，不泄露，无密封老化问题。 传送及操作方式：可通过移动托盘传送，托盘易于拆卸；手动操作。 （4） 气体纯化系统：气体纯化柱；循环风机；有机溶剂吸附柱。 （5） 技术指标 泄露率： 0.001vol%/h H2O 1ppm, O2 1ppm （6）其他附件 真空泵；水、氧分析仪：分析仪精度应达量程的 1%或0.2ppm；分析仪输出可直 接连接到触摸控制屏， 可对气体循环系统进行自动控制， 实现自动循环； 可设定 报警值。箱内电源接口：配多孔电源插座。 投标单位条件 1、报名单位需要具有生产厂商销售代理授权委托书 2、法人营业执照副本。 3、税务登记证副本。 4、组织机构代码证。 授权委托书原件报名时带来核对，原件放在投标文件中。 上述文件除提供 原件外，另须提供一套原件复印件并 加盖公章 （请在封面注明： 另备一套原件复印件放在投标文件中） 资格预审截止时间： 2013 年 1