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文档简介

1、修订日期版本 修订说明 2012-06-062014-04-162014-09-16ABC新版制定当前的5.5，5.6为补充更换项目（强调安装细节）修订模板修订部门编 制 审 核 批 准设备部保障RENA设备中的碱槽风刀吹干硅片，以免碱液带到后面的水槽中，造成药液槽出现少液现象及一系列工艺问题。2.范围 适用于电池车间制绒与PSG工序所有的RENA设备3.定义 规范RENA设备中的碱槽水刀的清理作业 无5.作业内容5.1.冲洗风刀：如图1所示用水枪冲洗碱槽风刀上的碱液（冲洗时间10S）。水枪图15.2拆下风刀：如图2、图3、图4拧开连接头，拆下碱槽风刀。 图2图3图45.3疏通风刀：如图5、图

2、6，用水枪向风刀内注水，观察风刀口的出水状况，对出水不好的风口使用捅针清理堵塞的气孔（捅针直径为0.3mm）。捅针注水 图5 图65.4安装风刀：如图7、图8、图9、图10，重新安装好风刀，并确认风刀位置正常，角度正确。 图7图8 图9 图105.5连接气管接头：如图11、图12，将碱槽的气管插好拧紧。注意：1.卡环不能装反。 2.将气管插入螺纹接头时，一定要插到底，并且将螺母套拧紧。拧紧后略微使劲反向拉一拉，看气管是否会被拉下来，作为检测，防止开机后导致接头处气管被吹掉。 放大 图10图11 5.6注意事项：5.6.1在用水刀冲洗风刀时，时间不能太长，这样会改变槽体溶液溶度。5.6.2作业时，必须穿戴好防护用具。5.6.3清洗风刀周期为：每班一次。5.6.4安装风刀时，必

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