TFCALC求膜层的N与K图文教程

1、利用TFC求膜层的N与K图文教程1. ?t先利用晶控控制沉积单层膜，厚度约 4 7个1/4个中心波长 这里假设在K9基底上沉 积单层ZnS薄膜，晶控显示厚度390nm；2. ?然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率，测量范围最好宽些，这里测量400-1500nm ,利用list选项导出所测量数据，并保存为 TXT格式，这里命名 ZnS.TXT,如图所示：35168-« 61以d LN K%8S.8 6I87.8 8.0a a za O0-01 1- 1- 1 i 1 r-llT-1 2 2 % J i J 1 OOOOOQ000000000000600QOOB. B0S5 九

2、3620 8,2112 日，1506 10.1099 11.1SS2 12.2049 13,3994 14.4126 15.6352 1S.65QO 17.7703 18.8811 19.5367 31.0260 22.060B J3.6S02 MOW电 24,948626.T2&3.打开 TFC,选择 modify materials?coat b n&. ISm卡.力包f4.继续选择 AddMaterial,填写材料名称，选择合适的 N与K的拟合公式，这里选择 Cauchy与Sellmeier 公式，如果不合适，可试选别的公式，点 OK 结Frirmute tvpe fw

3、n5 .试填写 A0与B1等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击FitData选项结束此步。Print All Mates lfihla.eoatint，. 4m. netn i &i坦e1肘中4”| 4riat Mttr 3 fcl Ha奉1油店ot n and卜FFRMiuJonnUl9PrmyU type f 时 II in -Matsrid to idd.Wllngib6 .根据实际情况填写各选项，点击 SetConstraints 结束此步7.填写薄膜厚度与是否优化，点OK离开。？8 .回至I上 界 面， 点 击 Computer 进 行 计舁。9 .下面为计算结果图，如果感觉

4、结果可接受点击 Accept选项，如不接受，点击 Reject选项返回重 选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计Convert.Devi 承 ion: 0,756Wavelength range 闺1): 14CancelB1; 1.5193731 Del B2; 1.71QS4957e1B3, 4.951S8I51AO： 2.22193G4BBl. 1.51927310e11.7109 4957 elE3. 4.9516S051AcceptIteration: 5SThick (nm); 407,02710.结果处理：感觉结果可接受点击 Accept选项，出现下面界面，点击 convert选项，填写材料 名称，点击 OK,即可保存所计算的 N与 K值，如下图所示。完coqtmt. netCauchyn 网=AoWavelength incfennsnt 就10 02CancelComnmenl.Fit Dati.A1： 225457909e-2Conyers dispeniwi Crm# to 冶皿I前 由冶AO: 232193&48Sell