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文档简介

1、X射线显微分析与扫描电子探针显微技术 定义与历史回顾 显微分析的基本原理 几个重要的概念 仪器与装置（组图） 定性X射线显微分析 定量X射线显微分析 扫描电镜和X射线显微分析的样品制备 技术应用前景探针微区分析的定义所谓的电子探针分析就是利用电子轰击待研究的试样来产生X射线，根据X射线中谱线的波长和强度鉴别存在的元素并算出其浓度。在做定性分析时用X射线谱仪在有关谱线可能出现的波长范围内把谱线纪录下来。然后对照波长表，定量分析时把试样的X射线强度与标样的对比，并作一些校正就可以算出分析点上的成分含量。二二.内层电离：内层电离： 电子探针分析是靠电子轰击试样引起特征X线的发射的。为了使入射电子的能

2、量超过某一壳层的“临界激发能量”，探针一般使用1030kv的加速电压。 电子轰击的电力效率很低，因为入射电子的大部分能量在与束缚较弱的外层电子的相互作用中消耗了，但是电子束每秒产生的电子数目非常大，所以仍然可以获得足够的X射线强度。 二.荧光产额： “荧光产额”（）是产生辐射跃迁的几率，即某一特定壳层的电离中能产生特征X线发射的电离所占的分数。它与电离的方法无关。 它对间接产生的特征X线是重要的，因此在定量分析中，必须对所引起的特征X线强度的增加作“荧光校正”，这种校正的大小将强烈地受荧光产额的影响。三.X射线连续谱： 实际样品内产生的X射线谱是一个连续谱（强度：IcmiZ(/min 1iz(

3、E。E)/E)它带有样品平均原子序数的信息，对样品建立定量分析的某些修正程序很有作用。四.基质校正： X线强度与元素浓度以复杂的关系依赖于样品成分。试样中元素的浓度可由下式计算：C=C(F/F ）。F与F 分别为试样与标样的射线强度。 扫描电子显微镜(SEM)nReliability analysis LabnSEM 与 能量n谱仪波长谱仪n连用定性分析w分析未知样品的第一步是鉴别所含的元素，即定性分析。定性X射线分析既直接又简单。w在进行定性分析时，必须利用几种不同的依据，其中最重要的是每个元素的特征X射线谱峰能量。这些数据有详细的X射线谱线汇编表。 单斜辉石熔融玻璃成分 应应 用用 领领 域域n电子探针分析是微束分析中的常规技术之一，它几乎能应用在所有涉及固体材料研究的各个领域。如在地学、冶金、材料、陶瓷、电子、国防、机械、化工、法医、生物工程、环境工程、刑事侦破、宝石和古董鉴定等方面都得到广泛的应用。在地学方面已成为矿物学、岩石学、矿床学及有关学科的重要研究工

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