白光扫描粗糙度轮廓仪应用

1、ZYGO 白光扫描粗糙度轮廓仪应用2Zygo 具有完全自主设计，研发，制造的能力专业的测试方案：Zygo公司对于光学干涉测量具有独一无二专业经验。能提供关于表面面形，粗糙度，材料特性，薄膜厚度，平台精确定位等应用专业的工艺控制解决方案。Zygo提供超高精度，具有高技术价值的光学系统和光学部件。这些部件包括尺寸达到米级别的平面镜，以及在医学和空间科学应用中，所需要的光学部件。纳斯达克上市公司，名称：ZIGO作为业界的佼佼者，Zygo公司拥有广泛和多样化的客户基础。历来在技术创新领域积极进取，成为新技术的领导者。500 项已项已经发布的专利技术，经发布的专利技术， 200 项正在申请的专利技术。项

2、正在申请的专利技术。在世界范围内售出大约10,000套系统.Zygo公司是世界级最专业的，扫描白光干涉仪制造商。SWLIZygo 是怎样的一个公司是怎样的一个公司?在光学计量设备领域有41年专业经验1983成为上市公司在世界范围内13个地区有大约625个雇员.成立于1970年.3生产部门上海，中国上海，中国Tucson, 亚利桑那亚利桑那Richmond, 加州加州Middlefield, 康涅狄格康涅狄格新加坡新加坡Darmstadt, 德国德国中国上海中国上海中华台湾中华台湾Tokyo, 日本日本Fremont, 美国加州美国加州销售及支持Darmstadt, 德国德国上海，中国上海，中国

3、新加坡新加坡Fremont, 美国加州美国加州中华台湾中华台湾东京，日本东京，日本研发部门Costa Mesa, 加州加州Watsonville, 加州加州Montreal, 加拿大加拿大总部(销售，市场，制造，研发)Middlefield, 美国康涅狄格州美国康涅狄格州Zygo 公司分支机构公司分支机构Middlefield, 美国康涅狄格州美国康涅狄格州Montreal, 加拿大加拿大Costa Mesa, 美国加州美国加州Tucson, 美国美国Richmond,美国加州美国加州4高速，非接触测量，各种尺寸的样品都能提供高分辨率三维数据结果： 优势在0.1nm到150微米的范围上使用一种

4、测量方式，一种算法。 对于样品不同的表面结构，只用一种算法分析测量。可以测试0.1nm的超光滑表面粗糙度 提供最长可达70mm工作距离，数值孔径最大0.85的镜头。（数值孔径决定了最大可以测量的坡度） 分析软件提供可视化2维或者3维结果。结果符合ISO4287 和25178标准可以通过自动平台实现拼接功能，测试更大的范围。提供开放的脚本编程语言工具，使用者可自行设置让设备全自动运行的程序，可以组合自己特殊的测量结果。 可选自动的4位塔台Zygo 扫描白光干涉仪 5白光干涉扫描轮廓仪的工作原理白光扫描干涉测量法是一种非接触的测非接触的测量方式量方式，通过干涉条纹，来比较样品测试表面跟理想参考面的

5、偏差。通过显微镜物镜的垂直扫描测试样品表面，得到整个视场区域的测试结果-整幅的三维数据地图，而不是只有一条剖面线的结果。SWLI 垂直方向的分辨率与放大倍率无关，垂直方向的分辨率与放大倍率无关，无论使用无论使用1倍镜头，或者倍镜头，或者50倍镜头时，倍镜头时，其视场范围每个像素点的纵向分辨率都其视场范围每个像素点的纵向分辨率都是是0.1nm，而基于共聚焦方式光学检测，而基于共聚焦方式光学检测设备的纵向分辨率是基于设备的纵向分辨率是基于NA的。的。SWLI 是一种被公认的非接触表面轮廓测试计算方法，收录在基于3D数据地图的全新国际粗糙度计量标准，ISO/DIS 25178-604 Part D

6、里面6白光干涉扫描对于测量粗糙，不连续表面很有帮助。因为白光扫描的测试结果是基于每个像素点上的光强信号单独分析，其结果是基于绝对物理高度的结果。单波长激光干涉系统在测量粗糙样品时，就没有这样的优点，移相法在处理每个像素的数据时候会结合邻近像素相位结果，并且得到的原始结果是基于相位的而不是物理距离。这使在测量处理粗糙样品表面的数据时候，白光干涉扫描具有很大优势，能测量粗糙或者有台阶跳跃结构的表面；而在测量光滑样品表面时，单色光移相法则相对具有速度快的优势。白光干涉扫描轮廓仪的工作原理信号包络条纹信号-505 光强扫描距离 (microns)Nexview 典型的干涉条纹信号7Nexview 白光

7、干涉扫描轮廓仪的工作原理正如上图所示，每条信号线代表了每个像素在扫描过程中光强信号的变化。每条信号线包络的峰值即为这个像素的完美等光程点。每个像素点的物理绝对高度都是以这个等光程点为参考的。如图把等光程点连接起来就形成了样品表面的面形。8超光滑样品粗糙度测量超光滑样品粗糙度测量可以测试0.1nm粗糙度的超光滑样品。同时以3D和2D的方式评价粗糙度。符合ISO4287 和25178标准。可以通过自动平台，实现多点自动测量9平面度测量平面度测量单次测量即可测量9.5mmX7mm范围内的平面度10平面度测量平面度测量使用自动平台的拼接功能，能实现在大尺寸范围的平面度测量。11平面度测量 大尺寸拼接。12ZYGO为工业应用提供广泛的物镜选择标准工作距离2.75x 5x5.5x10 x20 x50 x100 x长工作距离1x(8mm)2x(20mm)5x(20mm)