Rsoft软件说明介绍和使用

1、-/Rsoft简介Chapter 7 Tutorials 第七章 教程目录Tutorial 1: Ring Resonator 教程 1:环形共振器Device Layout:器件结构:Defining Variables 定义变量Drawing the Structure 画器件结构图Checking the Index Profile 核对折射率分布Adding Time Monitors添加时间监视（探测）器10Simulation: Pulsed Excitation 模拟：脉冲激发12Lau nch Field 激发场12Wavelength/Frequency Spectrum 波

2、长 /频率光谱12Increasing the Resolution of the FFT 提高 FFT 的分辨率14Simulatio n: CW Excitation 模拟：连续激发16Tutorial 2: PBG Crystal: Square Lattice 教程 2： PBG 晶体：四方晶格17Lattice layout 晶格布局17Base Lattice Gen eration基准晶格的创建17Lattice Customization 定制晶格18Checking the Index Profile 核对折射率分布18Inserting Time Monitors插入时间监

3、视器19Lau nch Set Up激发场设置20Simulation 模拟21Data An alysis数据分析22Switching Polarization 改变偏振为 TM 模23P eriodic Boun dary Con diti on Set Up24Tutorial 3: PBG Crystal: Tee Structure教程3: PBG晶体：T型结构24Tutorial 4: PBG Crystal: Defect Mode教程四：PBG晶体：缺陷模型24Rsoft简介包括 BeamPROP、FullWAVE、BandSOLVE、GratingMOD、DiffractM

4、OD、FemSIM,以及MOST软件。以下是 Rsoft各个模块的介绍:Beam PROP :是一个高度集成了计算机辅助设计和模拟仿真的专业软件，专用于设计集成光学波导元件和光路。此软件使用先进的有限差分光束传播法(fin ite-differenee beam propagation method)来模拟分析光学器件。用户界面友好，分析和设计光学 器件轻松方便。其主程序为一套完善的用于设计光波导元件和光路CAD设计系统，且可控制相关的模拟参数，如：数值参数、输入场以及各种显示、分析功能选项。另一功能为模拟程序，它可以在主程序内或独立执行模拟分析工作，以图形方式显示域的特性以及用户感兴趣的各种

5、数值特性。FullWAVE :是一高度整合之复杂光子组件仿真设计分析软件，它使用-有限差分时域之模拟分析方法，藉以分析一般光束传播法所无法建立模型分析的光子组件，例如光晶体与环状共振器等。因此，RSoft公司所开发的 BeamPROP与FullWAVE软体，两者实际上是具有互补之作用。其主控程序为Beam PROP之CAD Layout系统，用来设计光波导组件及光路，亦即 BeamPROP与FullWAVE 共享同一个 CAD Layout程序。BandSOLVE :是目前世界上唯一一套商用的光子晶体能带结构模拟分析设计软件。集成了 CAD和仿真功能，可以对所有光子晶体部件的能带结构进行自动的

6、计算，包括:二维或三维的光子晶片和波导，二维或三维的腔体结构问题以及光子晶体光纤。GratingMOD :用以设计并分析在光纤 /波导光栅元件之应用软件。体。其对于发展WDM与DWDM特别有助益。它适合用来分析已知光栅结构(Design)，亦可藉由量测或已它适合用来分析已知光栅结构(Design)，亦可藉由量测或已知频谱-决定该光栅之特性(Synthesis)。知频谱决定该光栅之特性(Synthesis)。 GratingMOD可以设计分析任何波导横向结构(Transverse GratingMOD可以设计分析任何波导横向结构(Transverse Profile)，因为它使用Beam PRO

7、P的CAD绘图界面设计光栅结构，并采用正交藕合模态理论(OrthogonalProfile)，因为它使用 BeamPROP的CAD绘图界面设计光栅结构，并采用正交藕合模(Orthogonal Coupled-Mode Theory)与转移矩阵法(Transfer Matrix Method)有效地分析光栅特性。 Coupled-Mode Theory)与转移矩阵法(Transfer Matrix Method)有效地分析光栅特性。GratingMOD GratingMOD 可定义周期性纵向微扰 (Periodic Longitudinal Perturbation)以产生纵向光栅结构。可定义周

8、期性纵向微扰(Periodic Longitudinal Perturbation)以产生纵向光栅结构。其使得Grati ngMOD其使得Grat in gMOD适用於2D/3D的模拟，且运算速度较Bi-Directio nal BPM更快速。适用于 2D/3D的模拟，且运算速度较Bi-Directional BPM 更快速。DiffractMOD :适用于绕射光学结构-例如:绕射光学元件、次波长周期性结构、光子能隙晶体的模拟设计软体。元件、亚波长周期性结构、光子能隙晶体的模拟设计软体。DiffractMOD运用包含快速傅立叶分解(fast Fourier factorization)与泛用传

9、输线公式 (generalized transmission line formulation)- 的严格藕合波分析(Rigorous Coup led Wave An alysis - RCWA)技波分析(Rigorous 洲 Coup led Wave An alysis -RCWA)技巧。它可以精确有效地模拟-具有任意网格结构它可以精确有效地模拟-具有任意网格结构与基本单元折射率剖面的2D/3D结构，并能分析介电(dielectric)、色散 (dispersive)与耗损(lossy)等与基本单元折射率剖面的 2D/3D结构，并能分析介电 (dielectric)、色散(dispers

10、ive)与耗损(lossy)等材料结构。 材料结构。 再者，使用者可弹性控 制入射方向(incident direction)与照度极化(polarization of再者，使用者可弹性控制入射方向(in cide nt direct ion)与照度极化(po larizati on of illu min ati on)以完成模拟。illu min ati on)以完成模拟。DiffractMOD 与其他 RSoft所开发-BeamPROP、FullWAVE、BandSOLVE、GratingMOD 等元件模拟软体共用 CAD 布局界面。软体共用CAD布局界面。此CAD界面提供任意轮廓的精确

11、定义与全参数化的设 计模型环境。DiffractMOD中的绕射结构布局，可直接选用FullWAVE (FDTD)进行时域响应 (time-domain response)模拟，或选用 BandSOLVE (PWE)进行能带结构分析 (band structure an alysis)。FemSIM :运用有限元素法(FEM- Finite Element Method)的泛用光子元件解模器 (mode solver)，透过非均匀网格(non-uniform mesh)可用来计算任意元件中的任何横切(transverse)与腔体(cavity)模态纪录。应用：可分析任何形状的元件-包含弯曲与罕见

12、的形状。高度混合型元件 -具高折射率对比(high index contrast)与small feature sizes的元件结构。耗损结构(Lossy structures)。硅晶元件(例如：绝缘层上硅晶-SOIs- Silicon on Insulator)。极化旋转器(Polarization rotators)。空心或实心光晶光纤(Air or solid core photonic fibers)。雷射与光能隙晶体之缺陷与腔体(Laser and PBG defect cavities)。MOST :用以优化设计分析光电元件之软体模组。以优化设计分析光电元件之软体模;对於元件制造组

13、。初阶的光子模型建立基本上牵涉到模拟，借以探究问题的相关物理特性;对于元件制造的设计周期的设计周期而言，了解系统完整的参数空间便显得不可或缺。性 而言，了解系统完整的参数空间便显得不可或缺。这可能牵涉到对合适范围参数空间的系统搜寻与多重维度的自动优化。空间的系统搜寻与多重维度的自动优化。做为RSoft光子元件模拟软体的自动优化模组，MOST可简化参数扫描与优化的定义、计算及分析。扫描与优化的定义、计算及分析。Chapter 7 Tutorials 第七章 教程所有的教程都在 Rsoft安装目录(EXAMPLESFULLWAVETUTORIA)下可以找到原型 实例。Tutorial 1: Rin

14、g Reso nator 教程 1:环形共振器Q值波长滤波本部分讨论环形共振器的创建与分析。环形共振器是一种应用广泛的高 器。首先介绍器件的布局与设置，然后讨论脉冲分析( a pulse analysis)。脉冲计算(Pulsed calculation )可以产生一个光谱响应，让分析器件的光谱特性，从而可以回避在连续模式下(CW)对整个波长的参数扫描，节省分析时间，提高分析效率。最后，我们对器件的某一共振波长进行连续模拟(CW simulation ）。Device Layout:器件结构:我们接下来要模拟的环形共振器为宽为0.2 m、折射率为3的波导，其共振波长约为 2 m。步骤:1、打开

15、 RSoft CAD-Layout :.II 呼低主鼻弹巴2已丘也更_ _ _ _:2、点击创建新结构按钮(New Circuit icon )3、设置如下参数(见下图)：Free Space Wavelength： 2; Waveguide Width : 0.2;Background Index : 1; Index Difference : 2 5t !*rT np I? ndnvALOH S?rrHGSW*眄-riH IViTBrofl 耳-hl|-$njFir 仃 f 喰內ir曲心 wbnt Pd'cafennI* a 3D厂I* TE Th-= iri4alon TM 厂

16、BganRDF用f f GralncpIODBPM*"卄加 f* MmpFDTO 口prmrDispfligirv /Urrihay-中怖 -Fl(f Sc£QL?/ElE 乩讪"Jrf目Iht 恒 Bad-gfsud 血h Incu-i C 佝曰UHGC =1幅I*?cjick Wid-i"白4出HgpJ*.厂 2歴Inlidd-.ftnfceJvPA-isr?bapcW" U_ VIEV/IHG lblUErJG.ID5XhifIZMh ZUm ijmNdSlaiku-or皿Defining Variables 定义变量单击 Edit Sy

17、mbols按钮Gap = 0.2 L = 0.5R = 1.7 R1 = R-width/2 R2 = R+width/2.ol Ta.bl&EditorKaiiie :Expression.:1 alpha|oGap02AO.E二17R1R-width/2R2R+曲1吕th/2alpJiaL0 b a ckg roiincl_ i ndex1 =cadaspectratio1del ta=2fdtd1f I- ee_space_ va ve Leng t h2height=0 一kO(2*pi)/free space 、prof Lle_typePROF stepih5es20 i

18、m f nn1=ET FITTT r.TiVF_< «>Current Value:iccept SymbolReject SymbolNev SymbolDelete SymbolCKCancelDrawing the Structure 画器件结构图我们将作圆形的波导（环）：首先画个圆盘，然后在其中间挖个洞。步骤:1、从菜单中选择 Options/lnsert/Lens :2、设置 Waveguide Width : 2*R2 , Front Radius : R2 , Back Radius :-R2 ; Pr opert res far Lens 津1Vertex

19、 Informationr Additional Intornration3、X:0Reference Type: 由 Nri?L DHset广 ArigleParrr»eter Value;Reference To:Component: 7Vertex:F10Inden >ifJerence:I ncle« in的 part）: Wa'gLjide Width； Waveguide Height: 丫 PositionReference Tppe: a Nris 广 OffsetC AneleReference T : Componerit: p!Verte

20、JCLens Shape:|0Fronl Radius:Back Radius:Center Thickness：:Angle:Cornirior InfofmtionStiuctuie Type:Prefile Type:Combine 旳虫;Symbols.中心挖洞：Select Mode icon,左击画好的圆盘（Lens #1）DefaultI DefaultI DehultrCancel，左击 Duplicate Selection按钮，右击圆盘（Lens #2）.设置 Waveguide Width : 2*R1, Front Radius : R1,Back Radius: -R

21、1 and the Index Differenee : 0;点击对话框中的 More 按钮， 设置Display Color : Yellow, Priority Level : 1, Background Index :backgro und_in dex+delta.Addit ioit 鱼 1Display Color.Mask L曲艺Priorily Level:Ref Background I rtde«:Simulated Bend:Simulated Bend Radius:Elecifode/I-Ieater Type:E/H Corhol Parameter：Ca

22、Bponerrt Proper+ies1-14、接下来部分做一个 bus waveguides:点击Segment Mode按钮，在右边画个段状波导，参数设置如图所示:HI FropectLes £oiz Seg巳rrt A3SliuctuieTvpe:Pwfik Tjipe; CciTibine Wode;D efault10肘凯ItWidth MeesLireiDebult Fl ID efhult 匚Seg OrenlatiorLz AhisPosition Taper: None I nd品 T 即引;I None Width Taper： None Heighl T ap曰

23、:Y Pd怎 T Aper:Uvers,CancelTpsfs.Arc Dab.Prafilfts.WoreSiimbols.None二J；OK !M| IIIJFII+EndirgVerteH5 tai ting Vert SHI ixiex Difference: IrideK 向ag prl): V/aveguido Widtli Waveguide Height: Y Position;IdeltdI alphaI MdthI heit fo乙IndcK Difference: indeH (imag part):Waveguide Width:Waveguide Height： y

24、Posilion;X;I deltaalphawidthheight0|R2+Gap+widthy2Reference Type： 冷 NoneC Dlfsel广 JungleParameter Value：|oReference ToeComperient: fET"Vermeil； oReference Type: 金 NoneC OffsetAriglePaM meter Value：FSefererioe To:Componsrit? Vertex- FPeterertce Type. None宵 Offset 宀 Angle Patanneter Valuer foRefe

25、rence To: 匚onnpohertt: g VeiteK： oR eferencG Type:Mone f* Dlf汨tL Angle Parameter Value:(RZtLlReference IdComponerit: (3VeiteK：5、复制一个条形波导，参数设置如下图所示:Proper-t les -for SegB-cnt£eg Orientation:r Slarling Vertex|DekUt DefaultTsDeM jJDekiJtVidth Heasuie:S true lure Tjpe:Fefi 宙 Type;Combine Mode;Poiit

26、ionTarei:|More lndeK7aper|None WiJh T aper wne 屮 Taper: None YPosTapei：|Horer Eridrg vertexIndex Dlfwence:Index (imag partj;Waveguide Width:V/eveguide Heigh匕Y Poaitiar:I-R2-G ap-wiclh/2I delta alphaI vjid(hheiglit DZ:RrITReference Type: f* NoneC C恤t广 AngleParameter Value:Reference To:匚omponenLVerleM

27、： 币ReFeience Type:Monei Offset4ngleParameter Value：fsRefeien 匚 e To：Component: |o V ertex:qIndex Difference:Index irmag pa":Waveguide Width:Waveguide Height 丫 Position.I deltaI 内idthJ height )0z：Fteferenoe Type:C None直 OffsetAngleParameter Value:foFSeference To：ComponenL 可Vertex:0Reference Type

28、: 广 NoneOffset 广 Angle Parameter V-alue: |rR2+L)Heference T o: 匚omponent: 4 VerteK： fgChecking the Index Profile 核对折射率分布为了查看器件各部分折射率分布，点击Dis play In dex P rofile按钮M,选择显示模式Dis play Mode为Co ntourMa p( XZ)，设置参数如图所示:SxBulation Paraieter? - CoMpute IndcK Profiletd1 "叶 RLfi Help2G'-2CO-2X IpmiSg-

29、r口ggtiPfiOP - CmiipLdElkJHCLHtipkjLodYZCurrentDefault U吉s匚urreritUseCurrentDefault U輯ValueValue DefsValue Value DefsValueValue Def$Domain Win1-2.7-5.19 厂ffPI-22B|2旦FDomairi WdK J2 7518 r|2.23|3.；S¥Compute StepL |0.020.01 厂F r 圧|0.02 1|o.o2 rSlice Step;)0 02SB厂Ff r 中卩101厂Mcnibr 51已口0?020.02 FEst

30、imated Time:Dispby Mode: utput Fite Prefix:QOOC ruinSymbols| |ConbiirMap 0£ J Settings 1XOKi Display.C-ancel更高）：点击Ok按钮后，出现下图描述的折射率分布情况（第二个圆盘优先级别Addi ng Time Mon itors 添加时间监视（探测）我们将用两个监视器来测量接下来将在器件中插入时间监视器，为后面分析做准备。场透射和衰减（transmitted and dropped）情况。步骤:1、选择菜单 Options/lnsert/Time Monitor : Pjopert

31、ies for TImc lonltdePodtion/S iac/0 risiMoftion lnwririotior>WidtFiHeight:LengthPhi:1 betaY內歸ion;I defaultCAD Display;I defaultTirw Monilor Type广 Defadt Field Ey)r Em r Hkr Ey r Hi)r Ez r Hirime Average:ilonitot Fmm&t：广Pq百91E Den&炒 r H Oenslj) 揮 Overlap|AuEI Default2Frequency Analysis: 广

32、NoneX:7:|ol'=Rderence Type:Reference Type;C None广 Nonei* UhsetW Utfeel1 AngleC AngieParameter Value:P aiametef Value:|o11-0.5Releiflnce To:Re(*rence To:Cotnf»nent 4Coriponent |4Veitex:pVereK：|110IEnacle hr Pcwjei/D*nsitv moritas r DFTStarting-requeticv：Ertdirtg Freciuency:而硕Frequency Spacin

33、g:pZfZuirSpatial Oli(pl*:厂 DefaM Field F厂E敦厂 厂內厂 厂匕厂iFfequencieJ are iZc in unts of 1 /um|HmHy缶PowerE DensityH DefiMyPoyrting VectorSpatial Fowat|Deraj|rstorage bid:LJ(X:叶；两iDZ： I defaultdefaultSjmihrilsHnrRflKrripRl2、选择监视器，复制一个，设置参数如下图所示: Properties for TiAe Ionitee#6rxPosHon/S ize/0 rientelion Inf

34、oimationWidih-Height:Length:PHrTbelac¥ Position:width height0000CAD DispI刖: (defaultdefaultTime Mondor Type:C DeFault Field (Ey f Ek < Hk 广 Ey L Hy r EsHsTime Aveijge:Monitw Fwmol：X:Reference Type;L None席 OffsetC AnolpP aram 已 ter Vml*:heference Type: 厂 None 柑 Ofher AdqIrP arameter VaUe;5pat

35、id output:厂 DefaJt Fielcl 厂 n Ek r Hx 厂 厂Ey厂Hy厂 厂Lz厂也厂P ewer t UensilyH Density OverlapTuio3I "MultPziLrE DensityH DensityPanting VectorSpatiflJ Foima*:jpefaullV|Reference To：Camponent- R Verlen:oReference TaCQmponprhVeitejt. |03、最后器件的结构如图所示:Syintols. More.Frequency Analiisis:C Nonefi卜卜I厂 Enabl

36、e for Po*ief7Dentity moriitcMS 广UhlStarting FrequencyI defaultEndir*g Frecency:| 后匚皿Frequency Specif;IFrequenciet are f/c in imu of 1 /umstorages rid:DX: defaultDY;D2: I defaultpebdFOKCancel ISimulati on: P ulsed Excitatio n模拟：脉冲激发/频率光这部分讨论环形共振器的模拟和分析。我们将首先计算该共振器的一个波长 谱，然后模拟器件工作在共振波长下场的分布情况。Launch F

37、ield 激发场设置激发场的空间特征和时间特征。点击Edit Pathways按钮一,点New Pathway按钮闻己 I,左击左边条状波导，它的颜色变成亮的绿色，点击OK。此时，我们已经建立一个Pathway #1,单击Edit LaunchField按钮埋，注意设置 Launch Pathway序号为1. Launch Type为Slab Mode，点击 0K，返回CAD窗口。点击 Perform Simulation 按钮Wavelength/Frequency Spectrum 波长 /频率光谱，设置模拟参数.时间步长Time Step设置足够小以满足柯朗稳定性条件(Courant s

38、tability condition ),在空间网格尺寸(Grid Size )为0.02呵，我们可以设置时间步长为0.0135。*Lurfent /alueYZCurrent7 dueDefauir UseDefaultVdusUse Def?CufrenJVdueDefut ValueVdueD办Domain Min:FHrID|o FFz28Doman Man;1.27厂|o|or|220匕茨Grid Sbs：|0.D2|O厂|1hR|0.0210-0PM L Width-las|0 5|05PML RML:lie 008|1s-OOS|1e00SP a 匸 geteusUseDukR厂

39、Q FullTAVE SxKuIat ionline GridTime Gtep:-Dfa 山 LaunchEKcilation;Slabilty Limit:Stop Tiime：S lies Time;Upd弓烧 Tine;Monitor Tine:Jo di 4142 3562 01 計 dtcLti 证二IfdldHtoptine|1 Tfdtdjimstetfdtd lime stepRamp?Pulse rime.Source Offset:Launch .Syrnbols.P Jsed|hmLida |0Output Ptefe:E琳irnaUd Time：0.576 minEg

40、timaiEdMenft：11.2MBSave SettingsAdv weed.OutpM-,.i CK rB igil times are cT in unis of urn)Cluster SeHings.DtepUiJ.Caric&l接下来，点击 Out put按钮，在FDTD Out put Op tio ns窗口设置输出选项，确认meMonitor 和 Wavelength Monitor，和 Frequency Monitor 设为 Yes，然后点击 OK 按钮关闭窗口。 FDTD OiM-tputSlice OulpiM:Field Output:SPW Field O

41、ffset:BPW Field Oulput:MoOp-fc ionsTirift Mionitci)：Far Field Output:FFT NirPowS FactorFnequercy MonitorWavelength Monilor:FFT HauPcMfZ Factor:jdeFaullCancelr'oK1ill LHM "JU接下按Dis play按钮，设置 Outli ne Color为黑色Black。按下OK后，最后开始模拟。模拟结束后，结果如下图所示，其中下方曲线图为来自time monitors 的结果。二叵冈- CQwput atipn Cv/pl

42、吕tud02S2-21 0M-1.0X(nrn)406080100tT (pn)X: 011551y：-5.9330Increasing the Resolution of the FFT 提高 FFT 的分辨率，选择 nng_puIse.pwm 文件，显示如下I*要分析波长光谱，可以 View Graphs按钮U图,Monitor Type.Locabon.Overlap.Overlap, (-2 1.0/ E)42Wavelength (iim)2 0 8 6 4 2 0+ T - - * 1 1 O O O O O(TrE)曲二-eA b4!UQIAl谱线态粗糙了，可以通过设置更大的st

43、op time值来提高谱线光滑度。下图为StopTime 设为 215*fdtd_time_step 时的结果。CXrerlap,Overlap.Monlor Typ?, Lccslion:(弓.邑 an 一 12> 5土UQ 乏Simulatio n:CW Excitatio n模拟：连续激发通过脉冲激发模拟,我们可作出环形共振器的波长光谱。在连续激发下，我们将分析共振器在波长为1.977m的情形。D点击 Edit Global Sett in gs 按钮；81,设置 Free Space Wavelength：1.977。点击Perform Simulation按钮，将激发模式Exc

44、itation设为CW，同时将 Stop Time设为 2A14*fdtd_time_ste p，输入一个新的输出文件前缀Out put File Prefix，女0 rin g_cw。模拟结构如下图所示。20-2E zLNFzle0Fti1IIAVB - C(*put a.t i on Cowplet edT2=221.131.0o100cT (叭3,192V;2,1S33上图连续激发CW模拟结果与脉冲激发所预言相一致。我们看出在波导中电场能量 渐增强，最后电磁场几乎全部传输到输出波导。因此，通过利用脉冲激发和连续激发两种 类型的模拟计算，我们容易能获得器件的光谱响应及其工作在共振波长的电场

45、场传播情 形。Tutorial 2: PBG Crystal: Square Lattice教程2： PBG晶体：四方晶格（P BG: phot on ic-ba ndga p 光子带隙）FDTD方法分析这这个教程主要介绍光子晶体晶格（四方晶格为例）作图，然后利用 些晶格的光学性质。 我们将计算此光子晶体的光谱响应，从而揭示存在光子带隙。分析过程采用时间响应谱的傅立叶变换来获得系统的频率响特性。整个模拟过程将进行两次计算，分别对应于两种边界条件：完美匹配层边界条件PML ;周期性边界条件。Lattice layout 晶格布局建立晶格的方法有多种，接下来我们采用Array Layout XZ

46、utility 工具来创建所需的四 方晶格。Base Lattice Generation基准晶格的创建菜单 Utility/Array Layout XZLayout File 区OKCancelLattice Customization 定制晶格点击 Edit Global Sett in gs 按钮,设置背景折射率 Background Index为1，折射率差Index Differenee 为 2.4 (GaAs)，偏振 Polarization 为 TE,自由空间波长Free SpaceWavelength 为 Period/0.45。按 OK 关闭窗口。VlndoGLOBAL S

47、ETTINGSWaveguide Model Dbieriscin:Addid Calculation.Elfectivie Index Cakd日tRrr3DCovcf IndeK$1訪Ind斜;Shb Height:Atib已r卯沁EFM Options:Vectof Mode: f* MoreEidirectional Calculation:FDTD Options:D persion/N cnii nearity;3D Struclure Tiipe:CancelFiber1广 SeinirFullbdL.i.g iLiuific in ri ,PEdit Layers .Edit

48、Tensor.(设置变量 Period= 0.6 m , Radius=0.18 )Checking the Index Profile 核对折射率分布点击 Dis play In dex P rofile 按钮 H,设置 Dis play Mode 为 Co ntourMap (XZ) , ComputeStep in X and Z 为 0.02, Slice Step in both X and Z 为 Compute Step。CurrentDdauit UseCurrent Default UseCurreritD已怡uF UseValueValue DefsValue Value

49、DefsValueValue DefsDomain Hm:|-fc<xjnd厂|oJoR1 Cental1 111回厂Domain Naw丽希r|0(0R|Certefi；1刃5 rCompute Step: |0 020.02厂IpP F|002LIID2 rSlice Step-J0.02局厂rii r F丽厂|ou rMonibf Step：|0.02 1|0.027X¥Dis pl 01)Mode:Output File F吃fix;Estreated Tihne；0. OOQ iTiiri I翳 Simulation F社raMeters - Copirt吕 Index FrcrfileSymbolE .|CoritourMap (>Z)FSave SettingsDi耳limy.OUput.UK匚 ancfll点击OK后，结果见下图。CjDeaaTMF - CgpiitalMn Co叩letei - K; -4- 10