电子束蒸镀机原理与技术资料

1、E-Gun原理舆技循1资料Peva-600E/I/E0原理:在早期的IC裂程中，只有金日被探用在金薄膜裂程中，用加热的方式用来沉 稹金日金JB薄膜的方式也被廉泛的使用。18子束蒸系统的H彝就是悬了要沉稹高 度的金吕典其他金（1）Thermal Evaporation金日的熔黑占很低，大余勺是撮氏660度左右典其沸黑占悬撮氏25198都相常的低, 所以在低屋下就很容易招金目氟熊化。早期用热蒸的方式来沉稹金日金JB膜用以形 成神趣和逋之金U/U。如U （一）。ffin bofhijrwH XuyMn,（2）18子束蒸45 （E-Gun Evaporation）相敕於熟蒸45的方式18子束蒸45的方

2、法有其下列的僵黑占1.可聚焦的ft子束，能局部加温元素源，因不加熟其他部分而避免污染2.高能量ft子束能使高熔黑占元素（附金泉一）连到足别高温以崖生逾量的蒸氧屋（二）悬蒸的培 ,（三）悬整他I E-GUN的结情示意H。H（二）H（三）KLlhslrHt'iH（四）（四）悬ft子束ft位典培示意圄，一黜可建直流ft源供鹰给燎幺系，afiMB SW爰，在真空下的游离偿*B子便因埸的吸引而加速的射出来，如H （四）中 加速的H埸悬10KVDC,我伸号只要改建加速H埸的大小就可以改建ft子束射擎到 地的位置，假段典ft子束平行的位置悬 X事由方向，如果典交插ft子束的位置加 装一黜磁埸，我伸号

3、便能控制ft子束左右的方向，以此我伸号耦悬Y丽以H埸和磁埸的控制，我伸号便能控制ft子束揭描的癌域及面稹的大小。*常遇到金JB其熔黑占很高的畤彳爰，便要使用小CC数的勰金尚，以«（助热度的集中*常遇到金JB其熔黑占很高的畤彳爰，便要加辰其培金W8熟的畤典ft流。夫每次使用培金耻寺吉青把培装9分满。火悬防止培典蒸材化合的曲题，言青再加入新的蒸材之前先查明用何槿夫逾常典合用。夫常蒸ISIffi程完成畤言青碓定地上的金JB材料已冷郤,且看不到暗缸色的状况下才可以做 Venting chamber的S&作。夫常反鹰室打im爰，者青勿用手指碰斶地余股，以免造成手指部位的煲俱。二.膜厚械

4、的原理基本上膜厚械是使用crystal去量测蒸畤每秒的速率典控制 E-GUN 18子束 Emission Current的大小，以连到每秒所意:定的蒸45速率。如BI （五），在Crystal 上下方加上一黜5MHz的18源,其由膜厚械所提供，常下H趣的部位沉稹一些金 JB/W之彳爰，由於屋霜效鹰的原故，造成巾俞出信虢的改建，利用其建化量去折算目 前的率。vapor flux, JjH（五）附金泉（一）各金JB之熔黑占Ag Pellet Melting Point961.93 CAu PelletMelting Point :1064.43 C 0Pt PelletMelting Point

5、:1763 CPd PelletMelting Point :1552 CAl PelletMelting Point :660.37 CTi Pellet Melting Point : 1650-1670 CNi PelletMelting Point :1455 CCo PelletMelting Point :1493 CTa PelletMelting Point :2996 CCr PelletMelting Point :1860 CW PelletMelting Point :3370 CMo PelletMelting Point2617 CNiCr(80/20) Slug

6、Melting Point:1435 CZn PelletMelting Point :419.58 CIn PelletMelting Point :156.61 CSn PelletMelting Point :231.98 CITO(90/10) Slug Melting Point:1900 C附金泉（二）（fflS金阻率度1 （米）、截面稹a （米2）的均匀物K的雷阻卷：R=pl/a（ 0,）式中，P是物K的雷阻率*,罩位：K姆米（Q. m）。令0c畴的雷阻率卷 p。，100 c畴的雷阻率卷 pi。，即0C至11100 c之的平均温度系ao, 100 = （ pi00 po） /10

7、0 fo下表给出各槿金腐的雷阻率P和平均温度系数 犯100。温度橄中瓢数掳（的卷室温。金n温度（0 c）pOo , 10020X10-3M0-35.94.2(202.754.2函-781.64阿露美豳合金20331.2鳏038.75.4206.53.9金因08.25.1殷0752饿209.54.2207.44.2金甲206.95.1金丐204.63.3金202.44.0金艮201.624.1(2017镖斜合金（克露美1W）一70 110.11 .54金古a06.376.58康铜一50-.04 -1.01金告30494.0黄铜一571.4 2水金艮094.080.99水金艮2095.8金易201

8、1.44.5m030.33.5青铜一13 180.5金色20214.8201204.5金它20195金205.55.3金100035金3000123金-783.2金旦20153.5金 M温度（0 C ）P(xo , 100杜拉 «）一3.4金戴的）209.86.6金戴的）-784.9金戴询）一10 201.5 5金戴僦）一57 114铜（201.724.3铜（1002.28铜（-781.03铜（T830.3020182.4金内204.65.5m20214.2合金（不含金戴）20109.10合金（含金戴）2095 104.3 .5林合金一2745.2 .34a (207.246.7a (-783.9金白2010.63.9金白100043金白-786.7金白金老合金20221