真空技术+真空设备型号编制方法

1、0ICS 23.160J 78备案号：348962012中华人民 共和国机械行业标准JB/T 76732011代替 JB/T 76731995真空技术真空设备型号编制方法Vacuum technologyMethods for compiling vacuum equipment models2011-12-20 发布2012-04-01 实施中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 76732011目次前言.II1范围. 12规范性引用文件. 13术语和定义. 14真空设备型号组成. 14.1通则. 14.2真空泵. 14.3真空泵机组. 24.4真空阀门. 34.5真空镀膜机. 45真空

2、设备型号示例. 65.1真空泵. 65.2机组. 85.3阀门. 85.4镀膜机. 9参考文献. 11表 1表 2表 3 表 4 表 5 表 6 表 7 表 8 表 9 表 10真空泵名称. 2真空泵特征. 2阀门使用的真空范围. 3 阀门结构型式. 3 阀门驱动方式. 4 阀门通道型式. 4 阀门辅助结构型式. 4 膜层沉积原理. 5 镀膜机结构特征. 5 镀膜机用途特征. 6IJB/T 76732011前言本标准按照GB/T 1.12009给出的规则起草。本标准代替JB/T 76731995真空设备型号编制方法，与JB/T 76731995相比主要技术变化如下：增加了前言；为了使用的方便增

3、加了目次；增加了第2章“规范性引用文件”；增加了第3章“术语和定义”；所有表增加了标题；增加了表1中的涡旋真空泵等的型号“WX、ZH、LC、LG、IQ、YK、SK”，表2中的真空泵特 征型号“F、P、Q、J”，表6中阀门通导形式“D”，表8中的镀膜原理型号“ZLF、LR、HYJ、 HF”，表9中的镀膜机特征型号“F、J、N”，表10中的镀膜机用途特征型号“B、I、E”；增加了表7阀门辅助结构型式，以后的表号依次顺延；修改了镀膜室内部尺寸表示法，用一个数表示；重新编制了表8中的溅射镀膜原理型号；删除了表1中的余摆线真空泵、单级多旋片式真空泵、汞扩散真空泵、回旋泵（弹道泵）、复合 式离子泵，表2中

4、的“D多式多元”、“C磁控”，表9中的镀膜机特征型号“P、T、A”，表10中 的镀膜机用途特征“Z、R”，3.1中的XD-63、YZ-150；修改了JB/T 76731995第3章“真空设备型号示例”中的编制内容，成为本标准的第5章。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司。 本标准参加起草单位：浙江真空设备集团有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所、台州环球真空设备制造有限公司、淄博真空设备厂有限公司。 本标准主要起草人：杨静、陈月增、范立群、王西龙、王晓虎、刘玉魁、赵计

5、春、赵伟胜、徐法俭。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：ZB J 78016780191989；JB/T 76731995。IIJB/T 76732011真空技术真空设备型号编制方法1范围本标准规定了真空泵、真空机组、真空阀门和真空镀膜机型号的编制方法。本标准适用于上述各种真空设备的型号编制。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 31632007真空技术术语3术语和定义GB/T 3163 界定的术语和定义适用于本文件。4真空设备型号组成4.1通则由

6、基本型号和辅助型号两部分组成，两者中间为横直线。4.2真空泵基本型号辅助型号代表真空泵级（极）数，以阿拉伯数字表示。不分级（极）或单级（极）者省略。代表真空泵名称，以构成名称的一个（或两个）关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按表 1 的规定。代表真空泵特征，以其关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按表 2 规定或自编补充代号，如无需表示可省略。代表真空泵使用特点（多指被抽气体性质），对于可凝性被抽气体，以印刷体大写字母“N”表示；对于腐蚀性被抽气体，以印刷体大写字母“F”表示。无特指者省略或自编补充代号。代表真空泵规格或主参数，以阿拉伯数字表示，按表

7、1 的规定。代表真空泵设计序号，以第一次改型设计开始，以字母 A、B、C、顺序表示。1654321654321JB/T 76732011表 1真空泵名称表 2真空泵特征4.3真空泵机组（以下简称机组）基本型号辅助型号代表机组，以“机”字的汉语拼音“ji”的第一个字母（印刷体大写）“J”表示。2154321代号关键字意义及拼音字母代号关键字意义及拼音字母W“卧”式“wo”T“凸”腔“tu”Z“直”联“zhi”F“风”冷“feng”，“复”合“fu”S“升”华器“sheng”X磁“悬”浮“xuan”P带“旁”路“pang”J“金”属密封“jin”I带“截”止阀“jie”G“干”式“gan”Q“气”

8、冷“qi”序号真空泵名称代号关键字意义及拼音字母真空泵规格或主参数相应单位1往复真空泵W“往”复“wang”抽气速率L/s2定片真空泵D“定”片“ding”3旋片真空泵X“旋”片“xuan”4滑阀真空泵H“滑”阀“hua”5罗茨真空泵（机械增压泵）ZJ“增”压“zeng”，“机”械“ji”6罗茨干式真空泵LC“罗”“luo”，“茨”“ci”7涡旋真空泵WX“涡”“wo”，“旋”“xuan”8爪式真空泵ZH“爪”式“zhua”9螺杆真空泵LG“螺”“luo”，“杆”“gan”10溅射离子泵L“离”子“li”11分子泵 aF“分”子“fen”进气口径mm12扩散泵K“扩”散“kuo”13扩散喷射泵

9、（油增压泵）Z“增”压“zeng”14升华泵S“升”华“sheng”15吸气剂泵XQ“吸”“xi”，“气”“qi”16锆铝吸气剂泵GL“锆”“gao”，“铝”“lü”17制冷机低温泵（冷凝泵）DZ“低”温“di”，“制”冷“zhi”18灌注式低温泵（冷凝泵）DG“低”温“di”，“灌”注“guan”19分子筛吸附泵FX“分”子“fen”，“吸”附“xi”分子筛重量kg20水喷射泵PS“喷”射“pen”，“水”“shui”抽气速率m3/h21空气喷射泵PQ“喷”射“pen”，空“气”“qi”22水蒸气喷射泵P“喷”射“pen”总抽气量kg/h23液环真空泵YK“液”环“ye”气量m3/

10、min24水环真空泵SK“水”环“shui”a 个别规格泵的进气口径相同而抽气速率不等，则可同时标出抽气速率，单位为 L/s。JB/T 76732011代表机组中主泵名称，以代号表示，按表 1 的规定。代表机组组合特征，如前级泵配置、挡油器形式等，以其关键字的汉语拼音字母（印刷体大写）表示，由制造厂编撰。通常可省略。代表机组中主泵的规格或主参数，以阿拉伯数字表示，按表 1 的规定。代表机组设计序号，从第一次改型设计开始，以字母 A、B、C、顺序表示。4.4真空阀门（以下简称阀门）基本型号辅助型号代表阀门使用真空范围，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印刷体大写）表示，按表 3 的规定。代表阀门结

11、构型式或功能类别，以其关键字的汉语拼音第一（第二、三）个字母（印刷体大写）表示，按表 4 的规定。表 3阀门使用的真空范围表 4阀门结构型式代表阀门驱动方式，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印刷体大写）表示，按表 5 的规定，手动式省略。代表阀门通道型式及使用方向，以其关键字的汉语拼音第一个字母（印刷体大写）表示，按表 6 的规定，直通式省略，双向阀省略。343代号关键字意义及拼音字母代号关键字意义及拼音字母D“挡”板“dang”Z“锥”形“zhui”C“插”板“cha”W“微”调“wei”F“翻”板“fan”U“球”形“qiu”M隔“膜”“mo”Y“压”差“ya”I“蝶”形“die”代 号C

12、GD关键字意义及拼音字母“超”高真空阀“chao”“高”真空阀“gao”“低”真空阀“di”216543215432JB/T 76732011代表阀门规格公称通径，单位为毫米（mm），以阿拉伯数字表示。带辅助结构型式的阀门应在数字之前添加相应的印刷体大写字母，按表 7 的规定。代表阀门设计序号，以第一次改型设计开始，以字母 A、B、C、顺序表示。表 5阀门驱动方式表 6阀门通道型式表 7阀门辅助结构型式4.5真空镀膜机（以下简称镀膜机）基本型号辅助型号代表膜层沉积原理，以其两个或三个关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按表 8 的规定。代表镀膜机结构特征及所用主泵形式，以主

13、要特征关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按表 9 的规定或自编补充代号。代表镀膜机用途特征，以其关键字的汉语拼音第一（或第二）个字母（印刷体大写）表示，按表 10 的规定或自编补充代号。代表镀膜室内部几何尺寸，圆筒形为内径，箱式为箱体内宽。以阿拉伯数字表示，单位为毫米（mm）。代表镀膜机设计序号，以第一次改型设计开始，以字母 A、B、C、顺序表示。注：对二极、三极或四极溅射的镀膜设备，以相应的阿拉伯数字表示，标记于型号的首位。4654321654321代 号QLB关键字意义及拼音字母充“气”“qi”水“冷”“leng”“扁”阀“bian”代 号SJD关键字意义及拼音字母“

14、三”通式“san”直“角”式“jiao”“单”向阀“dan”代 号DCQY关键字意义及拼音字母“电”动“dian”“磁”动“ci”“气”动“qi”“液”动“ye”65JB/T 76732011表 8膜层沉积原理表 9镀膜机结构特征5结构特征代号关键字意义及拼音字母卧式W“卧”式“wo”连续式L“连”续“lian”半连续式B“半”连续“ban”卷绕式J“卷”绕“juan”多室式D“多”室“duo”箱式（圆形不表示）X“箱”式“xiang”主泵为分子泵F“分”子泵“fen”主泵为冷凝泵N冷“凝”泵“ning”设备按膜层沉积原理的分类代号关键字意义及拼音字母蒸发电阻加热蒸发ZZ“蒸”发“zheng”

15、，电“阻”“zu”电子束加热蒸发ZS“蒸”发“zheng”，电子“束”“shu”高频感应加热蒸发ZG“蒸”发“zheng”，“感”应“gan”激光束加热蒸发ZJ“蒸”发“zheng”，“激”光束“ji”兼有电阻蒸发源及电子束蒸发源ZZS“蒸”发“zheng”，电“阻”“zu”， 电子“束”“shu”离子辅助蒸发ZLF“蒸”发“zheng”，“离”子“li”，“辅”助“fu”溅射平面溅射JP“溅”射“jian”，“平”面“ping”同轴溅射JT“溅”射“jian”，“同”轴“tong”倒锥式溅射JA“溅”射“jian”，“倒”锥“dao”对靶溅射JU“溅”射“jian”，“对”靶“dui”吸附溅

16、射JX“溅”射“jian”，“吸”附“xi”离子束溅射JS“溅”射“jian”，离子“束”“shu”离子沉积电阻蒸发离子镀膜LZ“离”子“li”，电“阻”“zu”电子束蒸发离子镀膜LS“离”子“li”，电子“束”“shu”高频感应蒸发离子镀膜LG“离”子“li”，“感”应“gan”空心阴极离子镀膜LK“离”子“li”，“空”心“kong”溅射离子镀膜LJ“离”子“li”，“溅”射“jian”多弧阴极离子镀膜LD“离”子“li”，“多”弧“duo”热弧离子镀LR“离”子“li”，“热”弧“re”簇团离子镀膜LC“离”子“li”，“簇”团“cu”化学气相沉积低压化学气相沉积HD“化”学“hua”，

17、“低”压“di”等离子化学气相沉积HL“化”学“hua”，“离”子“li”有机金属法化学气相沉积HYJ“化”学“hua”，“有”机“you”，“金”属“jin”多种方法复合式HF“化”学“hua”，“复”合“fu”光化学气相沉积HG“化”学“hua”，“光”“guang”复合式兼有蒸发源及溅射源FZJ“复”合“fu”，“蒸”发“zheng”，“溅”射“jian”兼有不同原理沉积源Fa“复”合“fu”，“”意义见注a 表中分别表示几种不同沉积原理关键字汉语拼音的第一（或第二）个字母（印刷体大写）。JB/T 76732011表 10镀膜机用途特征5真空设备型号示例真空泵示例 1：W 35 B5.1

18、第二次改型设计抽气速率为 35 L/s往复真空泵示例 2：2X I 15 A第一次改型设计抽气速率为 15 L/s 带截止阀 双级旋片真空泵示例 3：WX 8抽气速率为 8 L/s涡旋真空泵示例 4：ZJ 600抽气速率为 600 L/s罗茨真空泵（机械增压泵）示例 5：ZH 30抽气速率为 30 L/s爪式真空泵示例 6：3L 160抽气速率为 160 L/s三极溅射离子泵6用途特征代号关键字意义及拼音字母塑料镀膜S“塑”料“su”制镜镀膜J制“镜”“jing”硒鼓镀膜、钢板镀膜、高频G硒“鼓”“gu”、“钢”板“gang”、“高”频“gao”晶体镀膜、陶瓷镀膜T晶“体”“ti”，“陶”瓷“

19、tao”刀具镀膜D“刀”具“dao”玻璃镀膜B“玻”璃“bo”装饰镀膜H装“饰”“shi”光学镀膜U“光”学“guang”集热管镀膜I“集”热“ji”电气元件镀膜Y“元”件“yuan”冷反光碗镀膜E“冷”反光“leng”JB/T 76732011示例 7：FF X 160/1 200抽气速率为 1 200 L/s进气口径为 160 mm磁悬浮 复合分子泵示例 8：K T 800进气口径为 800 mm凸腔 扩散泵示例 9：Z 400进气口径为 400 mm扩散喷射泵（油增压泵）示例 10：S 400进气口径为 400 mm升华泵示例 11：GL 100进气口径为 100 mm锆铝吸气剂泵示例

20、12：DZ 160进气口径为 160 mm制冷机低温泵示例 13：IF 3装入分子筛重量为 3 kg分子筛吸附泵示例 14：3 P 40/50 6.3/0.6ZG高架式安装直冷式冷凝器 工作蒸气压力 0.6 MPa 额定吸入压力 6.3 hPa 额定抽气量 50 kg/h 不可凝气体量 40 kg/h 水蒸气喷射泵三级注：有关水蒸气喷射泵型号的内容、含义及说明可参照 JB/T 8540。7JB/T 76732011机组示例 1：JK 4005.2主泵进气口径为 400 mm扩散泵机组示例 2：J3L 320主泵抽气速率为 320 L/s三极溅射离子泵机组示例 3：JF 250主泵进气口径为 2

21、50 mm分子泵机组示例 4：JZJ 2H 600 2 4 A第一次改型设计配比代号（中间泵抽速 300 L/s，前级泵抽速 70 L/s） 配比代号（主泵抽速 600 L/s，中间泵抽速 300 L/s） 主泵抽气速率为 600 L/s双级滑阀真空泵（前级泵） 罗茨泵机组（中间泵为罗茨泵）注：有关罗茨泵机组型号的内容、含义及说明可参照 GB/T 69212004。5.3阀门示例 1：G D Q J 320公称通径为 320 mm直角式 气动 挡板高真空阀示例 2：D D C J Q 50公称通径为 50 mm带充气 直角式 磁动 挡板低真空阀示例 3：G I 50公称通径为 50 mm蝶型 高真空阀8JB/T 76732011示例 4：D W 2 A第一次改型设计公称通径为 2 mm微调 低真空阀示例 5：C D J 25公称通径为 25 mm直角式 挡板 超高真空阀示例 6：C C Q 100公称通径为 100 mm气动 插板 超高真空阀示例 7