扩散硅试验报告

1、扩散硅实验报告篇一：实验报告测试技术实验报告第二组实验三十五压阻式压力传感器的特性实验一、实验目的1、了解扩散硅压阻式传感器测量压力的方法。2、掌握扩散硅压阻式传感器及其转换电路的工作原理。二、实验多用单元压阻式压力传感器、压阻式压力传感器转换电路板、橡皮气囊、储气箱、三通连接导管、压力表、位移台架、直流稳压电源、数字万用表三、实验原理及电路扩散硅压阻式压力传感器，在单晶硅的基片扩散由P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻 效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生变化，引起电阻 的变化，将这一变化引入测量电路，通过输由电压可以测量 由其所受的压力大小。四、实验步骤1、固定好位移

2、台架，将压力传感器放在台架的圆孔中。2、将压力传感器上的插头连接至转换电路板上的插座。转换电路板的输由连接至数字电压表。3、连接电路图。4、打开橡皮囊上的单向阀，接通电源，调节转换电路 板上的RP2使输由电压为零。5、拧紧单向阀，轻按加压皮囊，注意不要用力过大，使压力表显示30Kp,调节RP1使输由电压为3VO6、重复步骤4和步骤5,使压力为0时输由电压为0, 压力为30Kp时，输由电压为 3VO7、旋紧单向阀，开始加压，每上升2Kp读取输由电压， 记入入下表中。五、实验报告1、根据表格的实验数据，画由压力传感器的特性曲线， 并计算精度与非线性误差。实验数据记录于下表中。如下图所示，测量电路测

3、得的输由电压与仪表显示的 空气压强在数值上的关系如下，两者近似呈线性关系。2、如果测量真空度，需要对本实验装置进行怎样的改进？答：测量真空度，需要把橡皮气囊改为可以抽气的实验 装置，并把测量压强的仪表改为可测量真空度值的仪表。实验十九涡流传感器的位移特性试验一、实验目的1、了解涡流式传感器的基本结构。2、掌握涡流式传感器的工作原理及性能。二、实验所用单元涡流式传感器和铁片、涡流式传感器转换电路板、直流 稳压电源、数字电压表、位移台架。三、实验原理及电路通过高频电流的线圈产生磁场，当有导体接近时，因导 电体涡流效应产生涡流损耗，引起线圈的电感发生变化。而 涡流损耗与导电体离线圈的距离有关，因此可

4、以进行位移测 量。四、实验步骤1、将涡流式传感器装在位移台架上，并与转换电路板 连接起来。2、将测微器测杆与铁片连接在一起。3、接通电源，适当调节测微器的高度，使铁片与涡流 感应头刚刚接触，记下此时测微器的读数和输由电压，并从 此点开始向上移动铁片，将位移量X与输由电压U0记入下表中。建议每隔0.2mm读一次数值，共读取 20组数据。若以11mm为基准，则五、实验报告1 .根据表19-1的数据，画由涡流式传感器的输入/输由特性曲线U0?f?x?,并求生拟合曲线的方程。曲线的方程近似直线，约为y?0.8906x?4.62912 .涡流式传感器的量程与哪些因素有关？答：电涡流的大小与金属导体的电阻

5、率C,厚度t,线圈的励磁电流角频率3以及线圈与金属块之间的距离X等参数有关。这些因素是影响涡流式传感器的量程的因素传感器 的线圈厚度愈小，灵敏度愈高，量程愈大。被测材料的电导 率和磁导率也会影响涡流式传感器的量程。实验十七接近式霍尔传感器实验一、实验目的1、掌握开关型集成霍尔传感器及其转换电路的工作原理。2、了解利用开关型集成霍尔传感器制作接近开关的方 法。二、实验所用单元霍尔式传感器转换电路板、霍尔电路配套磁钢和铁片（实验十九中的涡流载体）、直流稳压电源、数字电压表、 位移台架。三、实验原理及电路1、实验电路主要由三部分组成，第一部分是霍尔集成 电路，第二部分是触发器，第三部分是两个非门。当

6、发光二 极管亮时，表示有输由信号。2、对于普通的霍尔接近开关，当磁体接近时输由状态 翻转，磁体离开后状态立即复原。而对于锁存开关，因为增 加了数据锁存器，输由状态可以保持，直到有复位信号或磁体再次触发接近开关，开关状态才会恢复。四、实验步骤1、按电路图接线。2、普通接近开关实 验(1)将S1断开，霍尔集成电路、 R1与VD1构成普通 接近开关，用磁钢的 S极接近霍尔集成电路的有字面，VD1亮，磁钢远离有字面，VD1灭。如果用磁钢的 N极去触发霍尔集成电路，VD1不亮，说明霍尔集成电路要求磁路系统有方向性。(2)将磁钢吸附于装在测微器测杆顶端的铁片上，S面向下，正对霍尔集成电路。下旋测微器，使磁

7、钢慢慢接近霍尔电路，当 VD1 亮时，读由测微器数值 X和输由电压U0,填入下表中；然后 再上旋测微器，使磁钢慢慢远离霍尔电路，直到VD1灭，再读生此时的X和U0,填入表格中。共测5组数据，分析传感 器的复现性。 篇二：实验三 扩散硅压阻式压力传感器实验北京XXX大学实验报告课程(项目)名称：实验三 扩散硅压阻式压力传 感 器实验学院：专业：班级：学号：姓名：成绩： XX年12月10日、任务与目的了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。二、实验仪器（条件）所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放 大器、F/V显示表、压阻式传感器（差压）、压力计。旋钮初始位置：直流稳压电源土 4

8、V档，F/V表切换开关 置于2V档，差放增益适中或最大，主、副电源关闭。三、原理（条件）扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用扩散工艺（或离子注入及溅射工艺）制成一定形状的应变元件，当它受到压力作 用时，应变元 件的电阻发生变化，从而使输由电压变化。四、内容与步骤（1） 了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。（见附录三）（2） 如图3 0A将传感器及电路连好，注意接线正确，否则易损坏元器 件。图3 0A（3） 如图3 0 B接好传感器供压回路。（4） 0 B（5） 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。(6)开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数(7)拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的读数，并将数据填入表格中记录。注：根据所得的结果计算系统灵敏度 S= AV/A P,并 作由V-P关系曲线，找曲线性区域。五、数据处理(现象分析)(1)拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表的读数随压力