四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

1、实验七 四探针法测量材料的电阻率实验目的(1)熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理(2)掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法实验原理半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属 探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压

2、探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针(探针2和探针3)之间的电压V23。ba图1四探针法电阻率测量原理示意图若一块电阻率为的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I,由于均匀导体内恒定电场的等(1)(2)位面为球面，则在半径为处等位面的面积为2 r2 ,电流密度为j I/2根据电流密度与电导率的关系j E可得E 2 L_2 r22 r2距离点电荷r处的电势为V 二(3)2 r半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率

3、的公式可表示为(4)1111,式中，C 2(- - - )1为探针系数，与探针间距有关，单位为 cm。r12 r24 r13 r34若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S时，则被测样 品的电阻率为2 (1 1) 1?V23- 2 S?V23(5)S 2s 2S S II此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀 性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图 1(b)所示，此 时只需改变电阻率计算公式中的探针系数 C即可。四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品

4、电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率， 从而可 以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状 样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。 但由于该方法受到探针问 距的限制，很难区别间距小于 0.5mm两点间电阻率的变化。根据样品在不同电流(I)下的电压值(V23),还可以计算出所测样品的电阻率。3、 实验装置1） 四 探针组件或四探针电阻率测试仪2） SB118 精密直流恒流源（如四探针电阻率测试仪中已内置恒流源，此部分不用）3） PZ158A 直流数字电压表（如四探针电阻率测试仪中已内置恒流源，此部分不用）4、 实验步骤（1）预热：打开SB1

5、18恒流源和PZ158A电压表的电源开关（或四探针电阻率测试仪的电源开关） ，使仪器预热30 分钟。（ 2） 放置待测样品：首先拧动四探针支架上的铜螺柱，松开四探针与小平台的接触， 将样品置于小平台上， 然后再拧动四探针支架上的铜螺柱， 使四探针的所有针尖同样品构成良好的接触即可。（ 3） 联机：将四探针的四个接线端子，分别接入相应的正确的位置，即接线板上最外面的端子，对应于四探针的最外面的两根探针，应接入 SB118 恒流源的电流输出孔上， 二接线板上内侧的两个端子， 对应于四探针的内侧的两根探针，应接在PZ158A电压表的输入孔上，如图1（a）所示。（4）测量：使用SB118恒流源部分，选

6、择合适的电流输出量程，以及适当调节电流（粗调及细调） ，可以在 PZ158A 上测量出样品在不同电流值下的电压值，利用公式（5）即可计算出被测样品的电阻率。5、 注意事项（ 1） 在拧动四探针支架上的铜螺柱时，用手扶住四探针架，不要让它在样品表面滑动，以免探针的针尖划伤样品表面。此外，铜螺柱不要拧得过紧，以免探针的针尖划伤样品，只要保证针尖与样品有良好接触即可。（2）在连接SB118恒流源前或更换样品前，应先将其电流输出调节至零。PZ158A电压表可选择在0.2V或2V量程。（3）在切换SB118恒流源的电流量程时，应先将其电流输出调节至零，以 免造成电流对样品的冲击。（ 4） 在选择电流时，

7、对某些样品，最大的电流值对应的电压值一般不超过5mV,如果流过样品的电流过大，将会引起样品发热，影响测量结果。（ 5） 在某一电流值下，测量电压时，可分别测量正反向电压，取平均值后用于电阻率的计算。6、 实验报告要求（ 1） 简述实验目的、内容及过程；（ 2） 简述四探针法测电阻率的原理；（ 3） 记录半导体或金属样品的电阻率，分析电阻率的影响因素。SZT-2A 四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2A 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率， 测量扩散层的薄层电阻 （亦称方块电阻） 。四探针

8、测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中、低阻阻值。仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数。主机由开关电源，DC/D废换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由于采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针， 定位准确， 游移率小，使用寿命长。仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。本仪器工作条件为：温 度：23 3 相 对 湿 度：

9、 50%70%工作室内应无强磁场干扰不与高频设备共用电源。二技术参数1 测量范围电阻率： 10 ?-10 5? -cm方块电阻 10 ?- 10 5? / 电阻 10-? - 10 5 ?2 可测半导体材尺寸直径： 15-100mm长（或高）度：10?（4） 最大分辨率:10区V（ 5 ） 点阵液晶显示过载显示。5 恒流源：（1） 电流输出：共分10区A,100uA,1mA,10mA,100m位挡可通过按键选择各挡均为定值不可调节电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后直接显示修正后的结果。（2） 误差： 0.5%2字。6 , 四探针测试头;(1) 探 针 间 距: 1mm

10、(2) 探针机械游移率: 1.0%(3) 探针材料： 碳化鸨，0.5mm(4) 0-2Kg 可调 , 最大压力约 2Kg7 , 电源:交流 220V 10%功耗 35W本仪器可以选配电动测试架， 手动测试架， 手持探险头或四夹子电阻测量输入线。1，电动测试架；电动测试架是用步进电机驱动测试头升降， 只要将被测工件放在测试平台中心位置，按一次启动按钮，测试头自动下降，直到针头和被测工件接触， 探头将自动以慢速下降一段距离压紧探针使针与工件接触良好并等待测量，稍候测量结束，探头上行并恢复到原来位置。所以电动测试架的操作简便， 探针对被测工件所施压力恒定， 测量结果稳定，建议优先选配。2，手动测试架

11、以其结构简单不用电源见长， 只要操作熟练， 测量精度和稳定性也很好。3,手持式四探针测试头，使用灵活可以对任意形状的半导体材料进 行测试，而且脱离了测试架尺寸的限止，可以对大尺寸单晶硅柱的任 意部位进行单点或多点测试，但由於探针对被测材料的压力是由手感 控制的，因此，测量时必须将探头持稳压紧，保证探针和被测工件接 触良好。4带夹四线测试头，是必配件，可以用四线法测量低阻值电阻。三，工作原理；1, 测试原理；直流四探针法测试原理简介如下；(1)电阻率测量；当1, 2, 3, 4四根金属针排成一直线时体材料上时，在1, 4两根探针间通过电流I ,则在2, 3探针间产生电位差V, 材料电阻率p =C

12、V ( ?-cm)(3-1)式中C为探针修正系数，由探针的间距决定。当试样电阻率分布均匀，试样尺寸满足半无穷大条件时2C= 111 (cm)S1S2 S1 S2 S2 S3(3-2)式中：S, S2 $ 分别为探针对1与2, 2与3, 3与4之间的距 离，探头系数由制造厂对探针间距进行测定后确定，并提供给用户。每个探头都有自已的系数。C=6.28 0.05,单位为 cm(a)块状或棒状样品体电阻率测量：由於块状或棒状样品外形尺寸远大於探针间距，符合半无穷大的边界条件，电阻率值可直接由(3-1)式求出。(b)薄片电阻率测量：薄片样品因为其厚度与探针间距相近，不符合半远穷大边界条件, 测量时要附加

13、样品的厚度，形状和测量位置的修正系数。其电阻率值可由下面公式得出p =CV G (W ) D (d) =p 0 G (W-) D (d)(3-3)式中P o 为块状体电阻率测量值G (W)为样品厚度修正系数，可由附录1A或附录1B查得SW样品厚度(pm) ;S探针间距(mrjnD： (d)为样品形状与测量位置的修正函数可由附录 S2查得。当园形硅片的厚度满足 W0.5条件时，电阻率为S_ W 1 d、p = p 0D (一)(3-4)S 2Ln2 S式中L n2为2的自然对数。当忽略探针几何修正系数时，即认为C=2兀S时,(3-5)VWdVWd、D(-) 4.53 D(-)ILn2SIS(?)

14、扩散层的方块电阻测量当半导体薄层尺寸满足于半无穷大平面条件时R 京 3 4.5斗（3-6）SZT-2A型四探针测试仪电气部分原理框图仪器主体部分由单片计算机，液晶显示器、键盘、高灵敏度，高输入阻抗的方大器、双积分式A/D变换器、恒流源、，开关电源， DC-DC变换隔离电源。电动，手动或手持式四探针测试架（头） 等组成。四.使用方法本仪器适配三种测试架（电动，手动，手持测试头），还可使用 带有四个夹子的，四线法电阻测试输入插头，这四种输入插头虽然外 形相同，使用同一个输入插座，但使用方法略有不同，以下将分别于 以说明。1, 主机；面板：面板左侧为液晶显示器，显示器的第一行显示测量结果， 阻单位（

15、K?, ?, m?）和测量方式的符号（“-cm”电阻率，“- 口”方块电阻，“一”电阻）-在正常测量时第二行将以较小的字 号显示和第一行相同的数值，只有在超程时第一行显示四个横杠（-）,第二行则显示一个正在使用的测量方式可以显示的最大 数值，例如电阻率测量可以显示的最大值为 1256,方块电阻可以显示的最大值为9060,而电阻测量则可以显示的最大显示值为1999， （以上所示的值中小数点和单位均视测量当时所设量程而定，这里不作详述） 。面板右侧为指示灯和键盘， 第一行 5 个指示灯分别指示当前恒流源的工作状态， 这 5 个指示灯在任何情况下只有灯亮， 如左起第一个灯亮则代表目前恒流源正在可以输

16、出 100mA 恒定电流的工作状态。从左到右的 5 个指示灯分别指示了恒流源的“ 100mA ”“10mA”，“1mA”，“100心”，“104” 5 个工作状态。第二行三个指示灯，自左至右指示了三个电压量程（ 2V ，200mV,20mV） 。第三行三个指示灯，自左至右为测量方式指示（电阻率，方块电阻，电阻） 。指示灯下面为二行三列功能设置键， 上面一行为左移键， 第二行为右移键， 左起第一列为恒流源设置键， 第二列为测量方式设置键，第三列为电压量程设置键，最下面一个键为往复键，重复按键可以选择测量或保持二个状态， （必须注意！当使用电动测试架时，只能设定在测量状态） 。B ， 后侧板： 后

17、侧板的左侧装有带保险丝的电源插座和电源开关，右侧为七芯信号输入插座和 RS232 的九针插头座。2， 电动测试架；电动测试架是一个完整的组件，本身带有开关电源,和步进电机驱动电路，交流电源插头， 九芯插头座和七芯输入插头， 开关电源的 +5V 电源电压和七芯插头均通过一个九针插头和测试架连接， 所以在使用前首先将它插入测试架上的九针座上， 七芯输入插头插入主机后侧板上的输入插座中。接通主机和测试架的 220V 交流电源，测试架的探头就会复位，上升到规定位置。主机在接通电源后， 首先运行自检程序， 液晶显示器显示公司名称，网址，联系电话，同时指示灯循环点亮一次，最后电流指灯停在 1mA 位置上，

18、电指示灯停在2V 位置，测量模式指示灯停在电阻率测量模式，测量/保持键则选在测量位置，液晶显示器显示单位为 K?-cm， （电阻率测量）液晶显示器的最下面一行显示的 0.628是探头的修正系数。 这是仪器在开机后的优先先选择。 此时液晶显示器的第一行还没有显示任何数值， 因为现在测量还没有开始， 接下来可以将被测半导体材料放在测试架的园形绝缘板的园心上， 把探针保护套取下并保存好， 按一下测试架上的启动按键（小红键） ，随即测试头下降探针和被测工件接触稍后显示测量结果，测试头上升。如果测量结果显示“ ”则为超量程， 可以减小恒流源的设置值或升高电压量程， 如果电压量程置于最高， 恒流电流置于最

19、小， 仍显示超量程则可能是被测工件电阻太大，已超出了本仪器的测量范围，当测量的结果为 0则可以增大恒流电流或减小电压量程， 调整电流或电压量程， 直 至测量结果可以显示三位以上的读数为最好的量程组合。在选择量程时必须注意的是，如已知被测工件是半导体并且阻 值大于10?时，不要使用10mA以上的恒流源，原因是10mA以 上的恒流源使用较低的工作电压，而半导体材料表面的接触电阻 又较大，会使恒流源工作不正常。3, 手动测试架，手持测试头，四端子电阻测试夹使用比较简单，只要将七芯输入插头插入输入端，仪器就会连续测量，将探针 和工件良好接触，就可在显示器上读出测量结果。附录：测量时，预估的样品阻值范围

20、应该选择相对应的电流范围， 关系如下表：电阻率范围（Q cm）电流档80010uA附录1A样品厚度修正系数G （m）样品厚度较薄： =0.0011 见表5W:样品厚度（m） : S:探针间距（mm）W/SW01234567890.000.000.001.001.002.003.004.004.005.006.0060.0110.007.008.009.009.010.011.012.012.013.0140.0220.014.015.016.017.017.018.019.019.020.0210.0330.022.022.023.024.025.025.026.027.027.0280.04

21、40.029.030.030.031.032.032.033.034.035.0350.0550.036.037.038.038.039.040.040.041.042.0430.0660.043.044.045.045.046.047.048.048.049.0500.0770.051.051.052.053.053.054.055.056.056.0570.0880.058.058.059.060.061.061.062.063.063.0640.0990.065.066.066.067.068.069.069.070.071.0710.10100.072.073.074.074.075.

22、076.077.077.078.0790.11110.079.080.081.082.082.083.084.084.085.0860.12120.087.087.088.089.089.090.091.092.092.0930.13130.094.095.095.096.097.097.098.099.100.1000.14140.101.102.102.103.104.105.105.106.107.1070.15150.108.109.110.110.111.112.113.113.114.1150.16160.115.116.117.118.118.119.120.120.121.12

23、20.17170.123.123.124.125.126.126.127.128.128.1290.18180.130.131.131.132.133.133.134.135.136.1360.19190.137.138.139.139.140.141.141.142.143.1440.20200.144.145.145.146.147.148.149.149.150.1510.21210.151.152.153.154.154.155.156.157.157.1580.22220.159.159.160.161.162.162.163.164.164.1650.23230.166.167.1

24、67.168.169.170.170.171.172.172W/SW01234567890.24240.173.174.175.175.176.177.177.178.197.1800.25250.180.181.182.183.183.184.185.185.186.1870.26260.188.188.189.190.190.191.192.193.193.1940.27270.195.195.19.197.198.199.199.200.201.2010.282803202.203.203.204.205.205.206.207.208.2080.29290.209.210.211.21

25、1.212.213.214.214.215.2160.30300.216.217.218.219.219.220.221.221.222.2230.31310.224.224.225.226.227.227.228.229.229.2300.32320.231.232.232.233.234.234.235.236.237.2370.33330.238.239.239.240.241.242.242.243.244.2450.34340.245.246.247.247.248.249.250.250.251.2520.35350.252.253.254.255.255.256.257.257.

26、258.2590.36360.260.260.261.262.263.263.264.265.265.2660.37370.267.268.268.269.270.270.271.272.273.2730.38380.274.275.275.276.277.278.278.279.280.2810.39390.281.282.283.283.284.285.286.286.287.2890.40400.288.289.290.291.291.292.293.293.294.2950.41410.296.296.297.298.298.299.300.301.301.3020.42420.303

27、.303.304.305.306.306.307.308.308.3090.43430.310.311.311.312.313.314.314.315.316.3160.44440.317.318.319.319.320.321.321.323.323.3240.45450.324.325.326.326.327.328.329.329.330.3310.46460.331.332.333.333.334.335.336.336.337.3380.47470.338.339.340.341.341.342.343.343.344.3450.48480.346.346.347.348.348.3

28、49.350.351.351.3520.49490.353.353.354.355.355.356.357.358.358.3590.50500.360.360.361.362.363.363.364.365.3653.68W/SW01234567890.51510.367.368.368.369.370.370.371372372.3730.52520.374.375.375.376.377.377.378.379.379.3800.53530.381.382.382.383.384.384.385.386.386.3870.54540.388.389.389.390.391.391.392

29、.393.393.3940.55550.395.396.396.397.398.398.399.400.400.401056560.402.402.403.404.405.405.406.407.407.4080.57570.409.409.410.411.411.412.413.414.414.4150.58580.416.416.417.418.418.419.420.420.421.4220.59590.422.423.424.425.425.426.427.427.428.4290.60600.429.430.431.431.432.433.433.434.435.4350.61610

30、.436.437.437.438.439.439.440.441.442.4420.62620.443.444.444.445.446.446.447448.448.4490.63630.450.450.451.452.452.453.454454.455.4560.64640.456.457.458.458.459.460.460461.462.4620.65650.463.464.464.465.466.466.467468.468.4690.66660.470.470.471.472.472.473.474.474.475.4760.67670.476.477.477.478.479.4

31、79.480.481.481.4820.68680.483.483.484.485.485.486.487.488.488.4890.69690.489.490.491.491.492.492.493.494.494.4950.70700.496.496.497.498.498.499.500.500.501.5010.71710.502.503.503.504.505.505.506.507.507.5080.72720.508.509.510.510.511.512.512.513.514.5140.73730.515.516.516.517.517.518.519.519.520.520

32、0.74740.521.522.522.523.524524.525.525.526.5270.75750.527.528.529.529.530.530.531.532.532.5330.76760.533.534.535.535.536.537.537.538.538.5390.77770.540.540.541.541.542.543.543.544.544.545W/SW01234567890.78780.546.546.547.547.548.549.549.550.550.5510.79790.552.552.553.553.554.555.555.556.556.5570.808

33、00.558.558.559.559.560.561.561.562.562.5630.81810.564.564.565.565.565.567.567.568.568.5690.82820.569.570.571.571.572.573.573.573.574.5750.83830.575.576.576.577.577.579.579.579.580.5800.84840.581.581.582.583.583.584.584.585.585.5860.85850.587.587.588.588.589590.590.591.591.5920.86860.592.593.593.594.

34、594.596.596.596.597.5970.87870.598.598.599.599.600.601.601.602.602.6030.88880.603.604.604.605.605.607.607.607.608.6080.89890.609.609.610.610.611.612.612.613.613.6140.90900.614.615.615.616.616.617.617.618.618.6190.91910.619.620.621.621.622.623.623.623.624.6240.92920.625.625.626.626.627.628.628.628.62

35、9.6290.93930.630.630631.631.632.633.633.634.634.6350.94940.635.636.636.637.637.638.638.639.639.6400.95950.640.641.641.642.642.643.643.644.644.6450.96960.645.646.646.647.647.648.648.649.649.6500.97970.650.651.651.652.652.653.653.654.654.6550.98980.655.656.656.657.657.658.658.658.658.6590.99990.660.66

36、0.661.661.662.663.663.663.664.6641.001000.665附录1B样品厚度修正系数G （意）样品厚度较厚：WS =0.013.49见表W:样品厚度m）: S:探针间距（mm）W/S0.000.010.020.030.040.050.060.070.080.090.000.00000.00720.01440.02160.02890.03610.04330.05050.05770.06490.100.07210.07940.08660.09380.10100.10820.11540.12260.12980.13710.200.14430.15150.15870.16

37、590.17310.18030.18750.19480.20200.20920.300.21640.22360.23080.23800.24520.25240.25960.26680.27400.28120.400.28840.29560.30270.30990.31710.32420.33130.33850.34560.35260.500.35970.36680.37380.38080.38780.39480.40180.40870.41560.42240.600.42930.43610.44290.44960.45630.46300.46960.47620.48270.48920.700.

38、49570.50210.50850.51480.52100.52730.53340.53960.54560.55160.800.55760.56350.56940.57510.58090.58660.59220.59780.60330.60870.900.61410.61940.62470.62990.63510.64020.64520.65010.65510.65991.000.66470.66940.67410.67870.68330.68770.69220.69650.70090.70511.100.70930.71340.71750.72150.72550.72940.73330.73

39、710.74080.74451.200.74820.75180.75530.75890.76220.76660.76890.71220.77540.77861.300.78170.78480.78790.79080.79380.79670.79960.80240.80520.80791.400.81060.81320.81580.81840.82090.82340.82580.82820.83060.83291.500.83520.83750.83970.84190.84410.84620.84830.85030.85240.85441.600.85630.83820.86010.86200.

40、86390.86570.86750.86920.87090.87261.700.87430.87600.87760.87920.88080.88230.88380.88530.88680.88831.800.88970.89110.89250.89390.89520.89650.89780.89910.90040.90161.90 0.9029 0.9041 0.9053 0.9064 0.9076 0.9087 0.9099 0.9110 0.9121 0.9131W/S0.000.010.020.030.040.050.060.070.080.092.000.91420.91520.916

41、20.91720.91820.91920.92020.92110.92210.92302.100.92390.92480.92570.92660.92740.92830.92910.92990.93070.93152.200.93230.93310.93380.93460.93530.93610.93680.93750.93820.93892.300.93960.94020.94090.94150.94220.94280.94350.94410.94470.94532.400.94590.94020.94700.94760.94820.94870.94930.94980.95030.95092

42、.500.95140.95190.95240.95290.95340.95380.95430.95480.95530.95572.600.95620.95660.95710.95750.95790.95830.95880.95920.95960.96002.700.96040.96080.96120.96160.96190.96230.96270.96300.96340.96372.800.96410.96440.96480.96520.96550.96580.96610.96640.96670.96712.900.96740.96770.96800.96830.96860.96890.969

43、20.96940.96970.97003.000.97030.97050.97080.97110.97130.97160.97180.97210.97240.97263.100.97280.97310.97330.97360.97380.97400.97420.97450.97470.97493.200.97510.97530.97560.97580.97600.97620.97640.97660.97680.97703.300.97720.97740.97760.97780.97790.97810.97830.97850.97870.97883.400.97900.97920.97940.9

44、7950.97970.97990.98000.98020.98030.9805如需所测值更精确，请查下表附录2样品形状和测量位置的修正系数 D (号)(1)圆形薄片探针5 mm位置直径d (mm)距圆心位置距边缘位置2 mm0mm1/4 d4 mm3 mm200.97880.96330.96330.95080.92630.8702230.98390.97190.96620.95380.92950.8739250.98630.97610.96770.95530.93120.8758270.98820.97940.96880.95650.93250.8773300.99040.98320.9702

45、0.95800.93420.8793320.99160.98520.97090.95880.93510.8804350.99290.98760.97180.95980.93620.8817380.99400.98940.97250.96060.93710.8829400.99460.99040.97290.96100.93770.8835420.99510.99130.97330.96140.93820.8841450.99570.99240.97380.96200.94880.8849500.99650.99380.97440.96270.94970.8859550.99710.99190.97490.96330.94030.8868570.99730.99520.97510.96350.94060.8871600.99760.99570.97520.96380.94090.8875630.99780.99610.97550.96400.94120.8879650.99790.99630.97570.96410.94140.8881700.99820.99680.97600.96450.94180.8886750.99850.99720