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文档简介
1、LOGO 硬硬质质合金涂合金涂层层目录目录u定义定义u涂层工艺涂层工艺u涂层材料涂层材料u涂层结构涂层结构u基体基体u发展发展定定义义:硬:硬质质合金涂合金涂层层是在是在韧韧性好的硬性好的硬质质合金合金基体上涂覆耐磨性高的硬基体上涂覆耐磨性高的硬质质涂涂层层。目的:使刀具能抵抗各目的:使刀具能抵抗各种种特定的耐磨机理特定的耐磨机理 ,显显著提高刀具的功能和刀具的使用著提高刀具的功能和刀具的使用寿寿命命 ,并并可大幅度提高刀具的加工效率。可大幅度提高刀具的加工效率。定义及目的定义及目的涂层工艺涂层工艺uCVD技术主要用于硬质合技术主要用于硬质合金车削类刀具的表面涂层金车削类刀具的表面涂层,涂层刀
2、具适用于中到重,涂层刀具适用于中到重型切削的高速粗加工。型切削的高速粗加工。uPVD技术适用于硬质合金技术适用于硬质合金精密复杂刀具的涂层处理精密复杂刀具的涂层处理。涂层工艺涂层工艺 物理气相沉积物理气相沉积u 工艺过程工艺过程涂层工艺涂层工艺 真空电弧蒸镀法真空电弧蒸镀法u真空电弧蒸镀真空电弧蒸镀法是使金属、法是使金属、合金或化合物合金或化合物在真空中电弧在真空中电弧蒸发、离子化蒸发、离子化、溅射并沉积、溅射并沉积在基体上的一在基体上的一种涂层方法。种涂层方法。涂层工艺涂层工艺 离子镀法离子镀法u离子镀离子镀(IP)法是法是采用离子和具有采用离子和具有能量的中性原子能量的中性原子轰击溅射净化
3、后轰击溅射净化后的基体的基体(沉积前沉积前)并在沉积过程中并在沉积过程中控制涂层成核和控制涂层成核和生长过程。生长过程。涂层工艺涂层工艺 溅射法溅射法u溅射法是在高真溅射法是在高真空充入适量的氩空充入适量的氩气,氩气发生电气,氩气发生电离,氩离子被阴离,氩离子被阴极加速并轰击阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶极靶表面,将靶材表面原子溅射材表面原子溅射出来沉积在基底出来沉积在基底表面上形成薄膜表面上形成薄膜。涂层材料涂层材料涂层结构涂层结构u 单层及多元涂层单层及多元涂层u 多层涂层多层涂层u 梯度涂层梯度涂层涂层结构涂层结构u TiN-TiCN-TiN-Al2O3-TiN涂层基体涂层基体发展发展u (1)涂层工艺温度越来越低涂层工艺温度越来越低, 尽量减少了涂层过程中产生的应尽量减少了涂层过程中产生的应力集中。力集中。u (2)为满足不同的切削加工需求为满足不同的切削加工需求, 涂层成分更加复杂、更有针涂层成分更加复杂、更有针对性。对性。u (3)复合涂层中各单一成分涂层的厚度越来越薄复合涂层中各单一成分涂层的厚度越来越薄, 并逐步趋于并逐步趋于纳米化。纳米化。u (4)涂层硬质合金刀具将采用复合表面处理技术涂层硬质合金刀具将采用复合表面处理技术, 实现成分、实现成分、组织结构的梯度过渡组
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