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文档简介
1、PMOS 、NMOS 版图设计尺寸参考说明:数字1、2、3 代表画版图时,第一层、第二层、第三层或说成第一步、第二步、第三步,一步一步做下来。一、 PMOS 版图有关尺寸参考1、THIN (薄氧化层):与DIFF (扩散区/有源区)等价,在画版图时可以用 DIFF 代替。长度 3.4 宽度 1.2 (默认单位 um)2、 GPOLY:多晶硅导电层做 mos管的栅极,可以用POLY1代替,也可以做互 连线。长:2.4宽:0.4 离有源区(即上面的THIN)左边缘1.5u,比有源区上下各长出 0.6u3、CO NT :引线孔,连接金属与多晶硅 /有源区 ,第一层金属的接点 。 大小 0.4*0.4
2、 离有源区上边缘 0.4 左边缘 0.34、METAL1 :第一层金属,用于水平布线,如电源和地 ,器件之间的连接必须 依靠它 。大小:0.8*0.8 离 CONT 各 0.25、THIN (或 DIFF): 大小 1.0*1.0 离 CONT 各 0.3 ,或离 METAL1 各 0.16 PPIMP (或PIMP): P型注入掩膜。长:4.0宽:1.8离有源区上边缘0.3, 离有源区左边缘 0.37、NWELL : N阱,不仅用在制造P型器件,常在隔离的时候也看到它 。长6.5宽 5.7 ,离 PPIMP 左边缘 1.2 ,离 PPIMP 上边缘 2.78、再另外做一个节点: CONT(0
3、.4*0.4) , METAL1 (0.8*0.8) , THIN (1.0*1.0) 在已经画好图形的上方, CONT 离 PPIMP 上端 1.35 ,离 NWELL 左端 1.89、在新节点上加一个 NPIMP (或 NIMP): N 型注入掩膜 ,大小为 1.7*1.7 ,离 THIN 各0.35NMOS版图有关尺寸参考1、THIN :长 3.4 宽 0.42、GPLOY :与 PMOS 相同离有源区(即上面的THIN)左边缘1.5u,比有源区上下各长出0.6u3、CONT :0.4*0.4,离有源区上边缘 0.3,左边缘0.34、METAL1 :与 PMOS 相同5、THIN :与 PMOS 相同& NPIMP :长4.0宽1.6离有源区上边缘0.3,离有源区左边缘 0.37、再另外做一个节点:CONT(0.4*0.4), METAL1(0.8*0.8),THIN ( 1.0*1.0)在已画好图形的下方,CONT离NPIMP下端1.15,离NPIMP左端0.68、在新节点上加一个 PPIMP: 大小1.7*1.7离THIN 各0.35第三部分:画一个反相器时要做一个输入引脚1、GPOLY:大小为1.6*1.6 (大小可以随意),离PMOS的NWELL下边缘0.7u(距离可以随意),此线框进入PMOS与NMOS相连的GPOLY深度为0.2 。2、
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