干膜技术资料PPT学习教案

1、会计学1干膜技术资料干膜技术资料2021-12-112第1页/共84页2021-12-113第2页/共84页2021-12-114第3页/共84页到。但是这种工艺方法也不可能再继续提高其分辨率。2021-12-115第4页/共84页2021-12-116第5页/共84页2021-12-117第6页/共84页2021-12-118第7页/共84页2021-12-119第8页/共84页2021-12-1110第9页/共84页2021-12-1111第10页/共84页2021-12-1112第11页/共84页2021-12-1113第12页/共84页2021-12-1114第13页/共84页2021

2、-12-1115第14页/共84页2021-12-1116第15页/共84页2021-12-1117第16页/共84页2021-12-1118第17页/共84页2021-12-1119第18页/共84页2021-12-1120第19页/共84页2021-12-1121第20页/共84页2021-12-1122第21页/共84页2021-12-1123第22页/共84页低或时间过短，在曝光过程中底低或时间过短，在曝光过程中底版会沾在抗蚀剂涂覆层上，揭下版会沾在抗蚀剂涂覆层上，揭下来时底版易受到损来时底版易受到损 伤。伤。2021-12-1124第23页/共84页2021-12-1125第24页/

3、共84页底干净。2021-12-1126第25页/共84页2021-12-1127第26页/共84页2021-12-1128第27页/共84页2021-12-1129第28页/共84页2021-12-1130第29页/共84页2021-12-1131第30页/共84页2021-12-1132第31页/共84页2021-12-1133第32页/共84页聚合后的于膜抗蚀层应无表面发毛、渗镀、起翘和脱落现象。2021-12-1134第33页/共84页2021-12-1135第34页/共84页2021-12-1136第35页/共84页2021-12-1137第36页/共84页2021-12-1138第

4、37页/共84页2021-12-1139第38页/共84页2021-12-1140第39页/共84页2021-12-1141第40页/共84页2021-12-1142第41页/共84页2021-12-1143第42页/共84页2021-12-1144指标名称指 标一级二级透明度透明度良好，无浑浊。 透明度良好，允许有不明显的浑浊。色泽浅色，不允许有明显的色不均匀现象。浅色，允许有色不均匀现象，但不得相差悬殊。气泡、针孔不允许有大于0.1mm的气泡及针孔不允许有大于0.2mm的气泡及针孔，0.10.2mm的气泡及针孔允许20个平方米。凝胶粒子不允许有大于0.1mm的凝胶粒子。不允许有大于0.2m

5、m的凝胶粒子，0.10.2mm的凝胶粒子允许15个平方米机械杂质不允许有明显的机械杂质。允许有少量的机械杂质。划伤不允许。允许有不明显的划伤。流胶不允许。允许有不明显的流胶。折痕不允许。允许有轻微折痕。第43页/共84页2021-12-1145第44页/共84页2021-12-1146规格名称标称尺寸公 差一级二级厚度(um)聚酯片基光致抗蚀层聚乙烯保护膜总厚度25303325,38、 5025305253051075110105165宽度(mm)485,3005长度(m) 100第45页/共84页2021-12-1147第46页/共84页2021-12-1148第47页/共84页2021-1

6、2-1149第48页/共84页2021-12-1150第49页/共84页2021-12-1151第50页/共84页2021-12-1152一级二级最小曝光时间tmin(秒）抗蚀层厚度25m1020抗蚀层厚度38m1020抗蚀层厚度50m1224曝光时间宽容度tmax/tmin21.585深度曝光性（秒）0.25tmin0.5tmin第51页/共84页2021-12-1153第52页/共84页2021-12-1154溶液温度4024021无水碳酸钠溶 液显影时间(秒)抗蚀层厚度25m6090抗蚀层厚度38m80100抗蚀层厚度50m1001201无水碳酸钠溶液耐显影时间(分)53第53页/共84

7、页2021-12-1155第54页/共84页2021-12-1156第55页/共84页2021-12-1157第56页/共84页2021-12-1158第57页/共84页2021-12-1159第58页/共84页2021-12-1160第59页/共84页2021-12-1161第60页/共84页2021-12-1162第61页/共84页2021-12-1163第62页/共84页2021-12-1164第63页/共84页2021-12-1165第64页/共84页2021-12-1166第65页/共84页2021-12-1167第66页/共84页2021-12-1168参 数电解清洗微蚀刻钝化水平

8、速度(inmin)486048604860温度(T)90100901207590化学溶液(专用)SChercleanECSCheretchECCu PaSSivatlonGS电流密度(An)1525停留时间(s)202520261519第67页/共84页2021-12-1169第68页/共84页2021-12-1170第69页/共84页2021-12-1171第70页/共84页2021-12-1172第71页/共84页2021-12-1173第72页/共84页2021-12-1174第73页/共84页2021-12-1175第74页/共84页2021-12-1176第75页/共84页2021-12-1177级数差系数K级数差系数K11.12262.00021.25972.23931.41382 .51241.58592 .81851.778103.162第76页/共84页2021-12-1178第77页/共84页2021-12-1179第78页/共