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文档简介
1、扬州华尔光伏科技有限公司lj0022010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名清炉日期 1 of 21.0 适用范围2.0 作业流程主要技术参数:2.0.11 三瓣埚 壁厚大于7mm ;2.0.8 用无尘纤维纸 或 毛巾缠 在长棒的头部 并用无水 乙醇浸湿 ,把缠 有纤维纸 的一 端伸入副室 ,从上往下慢慢沿着2.0.10 按照拆 炉的相反顺序安装 好热场部件。2.0.9 取下观察窗玻璃擦试干净 并重新 装好;用砂纸磨 掉保温 盖、导流筒支撑环 、导流筒等石墨件 上的 氧化物 ,并用无 尘纤维纸将 石墨件 擦拭干净 ;2.0.6 戴好一次性手套 和口罩,
2、取适量 无尘纤维纸 用无水 乙醇浸湿 ,把炉盖、炉 筒和小副室内 的粘污物擦除加热器 螺丝是否 拧紧;2.0.5 把取出石墨件 运 到清炉间进行冷却,戴好口罩对石墨件 进行清扫:用砂轮机磨 掉粘在石墨件 上的 大块硅点,作业指导书清炉doc.# 文件号:rev 版本 :reason(s) for update 更新原因:product 产品:customer 客户:work station 工序名称:page 页:规范单晶炉 清炉作业。2.0.2 确认已取出单晶 棒,抓牢取 出导流筒放到 拆炉车上,然后依次取出密封环、保温盖和导流筒支撑环 放到拆炉车上;2.0.4 取出三瓣埚 、托盘 以及中轴
3、加长放到 拆炉车上,用t型内六角扳 手将 埚杆内 的螺丝拧紧 ,用加热器 专用扳手检查2.0.1 穿好清炉服,准备 好拆炉车、t型内六角扳 手和加热器 专用扳手, 戴好防护 眼镜、口罩 、纱手套和石棉手套;2.0.3 上升埚位到埚 杆 上限,用老虎钳 取出石英坩埚放 入铁筐,注意 尽量保 证埚底料的完整性,将铁筐放到 指定地点;干净,直到擦拭 后纤维纸 不再沾有挥发物;副室内壁擦拭 ,注意小 心操作,不 要使重锤和钢丝绳碰 到副室壁 ,以免把钢丝绳碰出毛刺;2.0.12 导流筒壁厚大于12mm 。2.0.7 卸下排气口护盖用真空 吸尘泵吸干净 排气口管道及 护盖上的挥发物, 用无 尘纤维纸擦净
4、 护盖,装上护 盖;2.0.3 尽量使埚底料完整2.0.1-4 把拆下来的热场放到 拆炉车上2.0.7 清洗排气口护盖2.0.5 磨去大块硅点扬州华尔光伏科技有限公司lj0022010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名清炉日期 2 of 23.0 仪器 /工具 /材料4.0 注意事项4.0.1 检查加热器和 托 杆的螺丝是否松动, 核对平口, 检查加热器 与保温筒之间的间 距是否均匀;导流筒壁厚如有小 于12mm 的应更 换导流筒,三瓣埚 壁厚 如果有小 于7mm 的应更 换三瓣埚 ;4.0.3 清炉时塑料手套等 易烫化的物体不要碰到石墨件,不能 沾无
5、水 乙醇擦拭 观察 窗玻璃 ;4.0.4 处理石墨件 上的硅 点时, 操作要小心防止硅渣崩溅,伤人眼睛 ;4.0.6 大清后高温 1小时方可投料 。5.0 各种表单5.0.1 单晶 生产记录4.0.2 检查炉 底压片是否有 破损翘曲, 如有破损翘曲 应及时更换, 加热器是否 变形 ,保温筒是否有 裂纹 ,碳毡 是否 硬化,4.0.5 加热器 每四炉拿 出清扫,装料之前边充 氩气边抽真空 5分钟方可投料 ,每8炉对所有石墨件、 弯头、电磁阀、customer 客户:清炉doc.# 文件号:reason(s) for update 更新原因:3.0.1 无水乙醇、无尘纸 、砂纸;3.0.3 t 型
6、内六角扳 手(参照螺丝 尺寸)、加热器 专用扳手、卡尺、100cm 直尺、拆炉车、吸尘器、砂轮 角磨机;3.0.2 清炉服、防尘帽 、一次性口罩 、石棉手套、一次性手套;电子阀、波纹管 等进行大清;rev 版本 :product 产品:work station 工序名称:page 页:作业指导书扬州华尔光伏科技有限公司lj0032010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名装料日期 1 of 21.0 适用范围2.0 作业流程主要技术参数:work station 工序名称:2.0.4 检查待投料 石英坩 埚外观有无异常(检查 裂纹、附着物、划伤、表 面沾
7、污、波纹、气泡、黑点等是否与坩埚2.0.2 抽真空 期间充氩气 1-2次,抽至极限真空 后关闭球阀和真空泵开关进行检漏,漏 气小于1帕每3分钟, 如检漏不合格通知维修班检修;2.0.3 用装料车将硅原料从存料间 拖至装料单晶炉 旁边,检查 原料重量、电 阻率和母合金是否 与随工单一致;作业指导书装炉doc.# 文件号:rev 版本 :reason(s) for update 更新原因:product 产品:customer 客户:2.0.11 用沾有无水乙醇的无 尘纸将 炉筒的密封面接合部位污物除 去;page 页:规范 拉晶装料作业。标准相符), 若无异常 将它放入三瓣埚 内,在三瓣埚 拼缝
8、 处垫上碳纸,将石英坩 埚放平 ,即高出三瓣埚的 石英2.0.5 首先放置好 保温盖,确认母合金无异常后,再 放入石英坩 埚内,取较小的材料约2-3kg平铺于埚底,然后再放入2.0.1 将单晶炉 盖好后点动 真空泵开关 ,打开球阀抽真空 ,点动 真空泵时注意 真空泵是否发 出异常 响声,如有异常通知维修班进行检查;2.0.12 检查 确认以上述操作无误后合上炉盖和炉 筒,在快 合上的时候应点动慢 合拢;2.0.13 填写 装料记录。坩埚高度要均 匀且石英坩埚与三瓣埚间的间 隙要均 匀,若有异常 通知当班班 长;2.0.7 放入中等块料,大 约为大块料的 2/3 左右 ,将剩下的小块料尽量填在缝
9、隙中;2.0.8 装完料后, 降下石英坩埚(18寸系统降 到下限位 ,20寸降到平口与限位 之间),转动石 英坩 埚,查看是否平稳2.0.10 用无 尘纸将 籽晶擦拭干净 ,安装 到籽晶夹头上,注意 将籽晶位置摆正;一些大块料;2.0.6 为了让 大块料稳固 须再放入一些直径小于5的小硅料平 铺在石 英埚的中部;2.0.9 用吸尘器吸净周围 的硅粉,石英埚停止转动,依次放置好导 流筒支撑环 、导流筒、保温盖和密封环;2.0.4 检查石英坩埚2.0.5-7 划开口袋2.0.6 中部装料2.0.7 顶部装料2.0.9 硅料不要碰到导流筒扬州华尔光伏科技有限公司lj0032010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名装料日期 2 of 23.0 仪器 /工具 /材料4.0 注意事项4.0.3 检查重锤上方200mm 以内的钢丝绳是否有 毛刺和散开现象, 若有应通知维修组维修或更 换;4.0.4 炉盖和上炉室快合拢时应该点动慢 合拢;4.0.5 尽量避免细小的料接 触石英坩埚上 部埚壁,以防挂边,避免大块料的 尖角指向埚壁以免戳坏石英坩埚。5.0 各种表单5.0.1 单晶 生产记录3.0.2 白大褂、一次性口罩 、汗布手套、一次性手 套、剪刀 ;4.0.2 检查硅料位置 ,使其不要碰到导 流筒;custo
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