材料合成与制备技术65_第1页
材料合成与制备技术65_第2页
材料合成与制备技术65_第3页
材料合成与制备技术65_第4页
材料合成与制备技术65_第5页
已阅读5页，还剩26页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、1会计学材料合成与制备技术材料合成与制备技术652第第2页页/共共26页页3第第3页页/共共26页页激光分子束外延示意系统反射式高能电子衍射仪四极质谱仪和石英晶体测厚仪等原位监测的超高真空室（10-8Pa）脉冲激光源为准分子激光器（ArF或KrF），其脉冲宽度约20-40ns，重复频率2-3Hz，脉冲能量大于200mJ。可旋转的靶托架有4个靶盒850-900第第4页页/共共26页页5第第5页页/共共26页页6第第6页页/共共26页页7第第7页页/共共26页页8第第8页页/共共26页页9第第9页页/共共26页页10第第10页页/共共26页页11第第11页页/共共26页页12第第12页页/共共26

2、页页13第第13页页/共共26页页14第第14页页/共共26页页15第第15页页/共共26页页16第第16页页/共共26页页第第17页页/共共26页页18第第18页页/共共26页页19第第19页页/共共26页页20第第20页页/共共26页页21第第21页页/共共26页页22第第22页页/共共26页页23第第23页页/共共26页页24第第24页页/共共26页页25第第25页页/共共26页页26到很大程度的改善。到很大程度的改善。第第26页页/共共26页页27第第3页页/共共26页页激光分子束外延示意系统反射式高能电子衍射仪四极质谱仪和石英晶体测厚仪等原位监测的超高真空室（10-8Pa）脉冲激光源为准分子激光器（ArF或KrF），其脉冲宽度约20-40ns，重复频率2-3Hz，脉冲能量大于200mJ。可旋转的靶托架有4个靶盒850-900第第4页页/共共26页页29第第9页页/

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论