三维光学轮廓测量仪综述

1、中图仪器 三维光学轮廓测量仪综述三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。三维光学轮廓测量仪典型特点：1）使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析；2）台阶高度测量分辨率达0.1 nm ；3）可搭配黑白或彩色相机进行2D、3D显示和测量功能；4）配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用；5）采用双光源模式，适应特殊样品测量；6）测量范围1

2、00 x 100mm（可按客户定制尺寸）；7）配置低倍率物镜（2.5 x和5X倍率），可进行大面积3D测量；8）提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、 薄膜厚度及平面度；9）提供超过250多种各类参数（含 2D、3D ）计算；10）友好的人机界面，简便的图形化控制系统及3D图型显示;11）多种交换文件格式，可储存与读取多种3D轮廓文件格式；三维光学轮廓测量仪典型应用：对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。行

3、业领域应用对象备注材料、精密加工行业合成材料、柔软材料、易腐蚀材料蚀刻加工如硅纳米线样品化学蚀刻深度和面积测量非金属表面如玻璃、砂轮、有色金属如轴承钢球、轧制铝膜表面形貌特征测量分析汽车行业曲轴表面的粗糙度、腐蚀和磨损表面形貌、喷油嘴、机械密封特征测量分析液晶、平板显示行业液晶显示器、液晶间隔、液晶棱镜薄片、蓝宝石衬底、手机显示屏生物医学行业人造牙齿、人造皮肤、手术刀的表面粗糙度、腐蚀和磨损纹理等能源器件行业太阳能电池半导体、微电子行业薄膜和涂层厚度测量、晶元、大高深比硅通孔（TSV测量硅纳米线表面形貌、芯片、PCB电子元器件、LEDSMEM微机电行业微机电硬盘读头、微机电打印机喷嘴光学行业光

4、学镜片及镀膜、微透镜阵列、光学镜面激光抛光信息存储行业光盘、硬盘表面印刷造纸行业纸币印刷和纸张表面应用范例:材料、精密加工能源器件3中图仪器 IMIS 1 om#中图仪器 生物医学吧丫吕muz帀r-半导体、微电子莊表面蚀弼舞板分布“-hi-ii tn I. tIki F-.-r. T.啊亍：丁FZ' T'V； UK卜五障北酗kMEMS造纸印刷光学4中图仪器 #中图仪器 三维光学轮廓测量仪主要技术指标:光源白光LED;绿光LED影像系统1280X1024普通物镜IX、2.5 X、5X、10 X、20 X、50 X、100 X、150 X干涉物镜5X、10 X、20X、50 X、100X坡度小于42o物镜座电控5孔物镜转盘光学ZOOM1 X 或 0.5 XXY移动平台测量范围：100 X 100mm （可根据客户需要定制）精度：0.5卩m分辨率：0.01卩m负载：10kg控制方式：自动水平调整手动调整，土 4 °Z轴移动范围：100mm 分辨率：0.01卩mPZT扫描行程：100（1 m分辨率：0.8 nm重复性：5nm扫描速度：w 301 m/s测量模式与精度垂直扫描VS；准确度（4.43 im台阶高）：0.75%重复性（4.43 im台阶高）：0.1%