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文档简介

整理课件Semiconductor：半导体MFG (Manufacture)：制造部 Wafer ：晶片Boule：晶锭Ingot：晶棒As cut wafer：毛片 Particle：含尘量/微尘粒子Pod ：晶盒 Cassette： 晶片夹Clean Room：洁净室（Class 100000 以上）MO（ Miss Operation）：误操作 Process Engineering：制程工程师，简称为P.E.简单称为制程。 Equipment Engineering：设备工程师，简称为E.E.简单称为设备。 Recipe： 程式PM（Prevention Maintenance）： 预防保养Alarm ：警讯 OI (Operation Instruction) :规定的标准的正确操作机台的方法的文件半导体专业词汇汇总1整理课件2整理课件3整理课件4整理课件5整理课件6整理课件7整理课件8

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