工艺卫生对电池品质

1、电池片生产过程中工艺卫生要求 太阳 能电池用硅片是高纯材料，在工艺过程中，我们要避 免任何有害杂质进入硅片体内 . 半导体的主要特性之 一就是对杂质十分敏感，只要有百万分之一，甚至更 微乎的杂质就会对半导体的物理特性产生影响.应充分认识到管理和控制工艺卫生的重要性,建立各个环节的卫生管理制度，以满足工艺卫生的要求.工艺卫生控制好了，电池片的转换效率、合格品率才有保障 控制工艺卫生就是控制生产成本为厂房设备 1.建筑材料 2. 使用工具 工作人员 工艺使用水 工艺化学溶 液 工艺化学气体 普通空气中会有许多污染物，只有 经过处理后才能进入洁净室 目前，我们控制最严的 地方是扩散间，但与它相关的一

2、些工艺过程不合要求， 要改进： 硅片甩干区间工艺卫生要加强 石英管清洗 间工艺要加强PECVD装片区域工艺卫生要加强建筑 材料不能产生灰尘 设备运行产生的废气等要控制处 理 设备维修时要使用专用工具 设备维修人员要严格 按照工艺卫生要求，听从工艺人员的指导 设备维修 后要认真打扫卫生 洁净室内工作人员是最大的污染 源之一，每个工作人员每份钟可以释放100万500万个颗粒： 这些主要的来自： 脱落的头发和坏死的 皮肤 发胶，化妆品，染发剂，普通的衣服 人类的呼 吸，特别是由人体产生的钠(在汗及呼吸中)对半导 体器件更是杀手 因此，它根据洁净室不同等级，为 工作人员配备相应的工作服 在进行工艺操作

3、时，要 戴相应的手套 普通水含有大量洁净室不能接受的污 染物 溶解的矿物质 颗粒 细菌 有机物 溶解氧 二氧化 碳 这些杂质都要通水处理系统清除，最后成为去离 子水。一般要求，15MQ以上，这是从水管中测到的。如 果放入水池后不流动，水的电阻率会大大下降，因水 会吸附空气中的杂质。 因此不流动的去离子水已不 再是高纯去离子水，所以在硅片加工中，一定要保持 一定的换水量，否则，硅片就洗不干净。 化学药品 在半导体 制造过程中大量使用，与水不同的是，所 有工艺化学品都是采购来的，直接运到工厂使用。 工业化学药品一般分为： 一般溶剂 化学试剂 电子级 半导体级 前两种对我们来讲太脏，但在某些工序中也

4、可以使用，一 般应使用电子级化学品的主要污染是移动的金属离子， 通常必须限制在 0.01 (ppm P arts per million )级 或更低 即一亿分之一。 要防止工艺化学品的污染， 不仅要控制化学品本身的质量同时要控制在使用时由 外包装带来的污染，外包装给工艺带来的污染是不可忽视的 化学气体的质量由以下四项指标来衡量 纯度 水气含量 微粒 金属离子 气体在通过管道和接头时也 可能被污染，所有的管道，接头及密封件，在使用前 都必须严格的按工艺要求清洗，否则将对设备产生严 重的污染，特别是氧化，扩散系统，因是高温系统影 响特别严重，还有 CVD 系统会造成表面钝化不好 最忌讳的金属杂质

5、： 铁（ Fe） , 金（ Au） , 银（ Ag）, 钛（Ti）,钼（Mo）,锰（Mn）,钠（Na）等 制 绒： 工艺卫生基本点： 1.保证装片操作台面的清洁； 2.装片 时戴好一次性薄膜手套和口罩，保证遮住口鼻；3.一次性薄膜手套每 100 片更换一次，若有脏污需提前更换，确保不污染硅 片以至于影响制绒效果； 4.保证超声槽，水槽以及浓度梯度槽 以及各附槽等的洁净状态，及时更换。 5.工艺过程中看片必须 戴干净的丁晴手套，减少手指印的发生，看完后及时更换手套；6.工艺结束后片子及时投入清洗，或放入水槽待投。1. 全过程戴一次性手套和口罩操作； 2. 严禁甩干机敞开长时间暴露在 空气中； 3

6、. 甩干后的硅片及时放入传递窗，不得停留暴露在外 面； 扩散： 扩散： 1、 各道工序的工夹具应保持在 各工位处，以免交叉污染。 2、 石英舟、石英档板（炉尾、炉口和外档板） 、石英管、石英钉、石英钉 套管等石英制品，更换型号时，当前使用的石英舟 冷却后放入净化保管柜中保存；取出的石英舟及其它需要清洗的石英制品按扩散间石英制品工艺卡中 的要求清洗。 3、 扩散间不允许存在带有纤维的物质 以及易锈的金属或粘有金属粉末的物品，比如纸盒、 纸箱、拖把等。 4、 任何人员进入扩散间必须风淋 30 秒，并且每次只能一人风淋。必须穿好洁净服， 戴好口罩、帽子、鞋套。 5、 非必要人员不要随便进 入扩散间。

7、 6、 扩散间员工不得穿洁净服进入清洗间 （清洗管子除外）。 7、 扩散间两侧的应急门平时严 禁出入。 8、 不准将袖口撩高、卷起，保持洁净服干 净。 9、 任何纸制品不得接触硅片、卸片盒保持干净。 扩散管清洗： 1、 清洗后的石英制品不可长时间暴 露在空气中，小物品放置在洁净柜中保存，炉管和 桨应及时装入炉体，并关闭炉门，持续以最大流量 通氮气。 方块电阻测量： 1、 整个过程佩带乳胶手 套和口罩，经常更换，保持洁净。TCA及换源：1、不使用的石英舟必须存放在净化柜内，待下次使用 前取出按要求清洗，并按要求做 TCA 和饱和。 2、 TCA及 POCL源瓶放在抽风橱内保存。33、更换源瓶时戴

8、好防毒面具及乳胶手套。以上规定务必严格遵守，一经发现违反处 50-100 元处罚， 重犯加倍 刻蚀： 、公司上下充分认 识到管理和控制工艺卫生的重要性。2、建立各个环节的卫生管理制度，以满足工艺卫生的要求：1）进入生产区的着装要求（工作服、鞋、帽、）2）生产区的保洁要求（吸尘器、拖地、）3） 5S要求4） 个人卫生要求（头发、化妆品、 ） 5） 设备、工夹 具的卫生要求 6）员工操作规范 3、结合生产工序， 划分卫生区域，并由专人负责。4、监督工艺卫生保持和改善的有效性。 5、控制工艺卫生就是控制 生产成本 工艺卫生 1、员工的着装要求。 （工作服、 鞋、帽穿戴整齐，必须佩带头套，无工作鞋的必

9、须穿 戴鞋套。工作服衣服领子必须扣好。 ）先律己后律人。 2、设备及工夹具的卫生。 （定期检查非不锈钢的包漆 花蓝是否破损、甩干机设备是否生锈、手套佩带要求 及更换周期、槽体的定期清洗、槽体外部是否有可能 存在各种杂质的引入、各槽是否很干净、承载盒是否 干净等等）。 3、设备工艺状态的确认：循环水槽的 的液位及溢流是否有问题，鼓泡是否有问题。喷淋槽 的喷淋有没有问题。清洗机的酸槽液位是否达到设定 液位。循环水槽的流量是否有问题。溢流口是否被堵 等。4、员工的规范操作：装片满 100 片就需要更换一次 手套、甩干每一筐硅片需要更换一次手套。不许不戴 一次性手套直接接触硅片。按工艺规程进行换液及清

10、 洗。在装片过程中，手和身体的任何部位不允许直接 接触硅片等 艺卫生 :首先我们需要介绍下生产环境对 电池质量生产的影响 . 这种影响主要的影响是 :直接对 硅片造成污染，影响硅片的电性能、优质品率、可靠 性及寿命 . 扩散间生产环境所涉及的范围 :1、人身 2、 空气 3、各种气体 4、工作环境 5、化学试剂 6 工夹 具 7、设备。 带整齐。另外进出扩散间必须风淋 30 秒。必须在插片和拿取硅片是佩带对应的手套。卸片 时佩带纸套。 以不得将传递窗两边窗同时打开，或 者非特殊原因打开各工序间安全门。各种洁净柜按要 求打开，定期检查洁净柜功能是否完好。 及时更换。 化学试剂：每次换源前必须检查

11、源是否纯净。 工夹 具：各类工夹具必须保持洁净，吸笔需要每班清洗。 舟叉上的舟叉套管要保持完好，损坏的及时更换。严 禁各种金属物体直接与硅片或其他载体直接接触。 设备：需要定期进行维护，清洗或更换软管，阀门等。 定期按规定对石英制品进行清洗。 太阳能电池生 产过程中工艺卫生的重要性强调： 各工序工艺卫生 要求 目前各工序存在的工艺卫生问题 仓库保管 减 少库存、海关式入库 供应商的包装方式 来料检验 抽 检比例过大 操作规范 手指印 清洗 插片手指印 产能 富余导致大量硅片的堆积 扩散 舟石英管源工夹具等 无人洁净度定期TCA吸笔印PECVD石墨舟的定期清 洗预处理 舟柜 丝印 浆料添加小量多

12、次 停机时间盖 住玻璃罩 温湿度影响印刷质量 分检 及时入库 目前 工艺卫生意识淡薄加强员工工艺卫生的教育和监督 着 装 规 范 承 载 盒 和 工 夹 具 的 污 染 风 铃 门 电池工艺卫生要求 插片：1、 整个操作过程中衣服，皮肤不可接触硅片。 2 、 自我监督，及时更换一次性薄膜手套。 3、 所有状态 必须戴好口罩。 4、 到楼下仓库领料必须换鞋，拉货 上来要风淋。 单晶制绒： 1、 全过程戴无纺布口罩， 完全遮住口鼻，戴纱布手套及乳胶手套。 2、 制完绒 自冲洗纯水中取出硅片观察表面绒面质量前,必须更换干净的乳胶手套，取片以干净的塑料镊子夹取。3、在该工艺过程中，严禁有金属及其他杂质

13、进入各槽内 , 否则更换槽液。 4、 花篮搬运操作时穿戴防酸碱围裙 , 双层乳胶手套 ,防止碱液沾染到衣服及皮肤上。5、及时将地面上滴落的碱溶液清除 ,防止滑倒 6、 严禁 将花篮直接放在地上或规定以外的地方。 多晶清洗 制绒： 1、 硅片承片盒：使用前从整理箱中取出干净 的相应型号的承片盒，放在工作台上备用。使用过程 中严禁不戴乳胶手套触摸承片盒。结束使用后，放入 干净的塑料袋，并放入整理箱保存。 2、 花篮：不使用时放置干净台面上。使用过程中损坏的花篮也放置 于另一个干净台面等待处理，严禁放在不洁表面。3、化学清洗机槽盖板：不使用时，冲洗干净。 4、 在该 工艺过程中，严禁有金属杂质进入水

14、槽内。 5、 交接 班以及清洗机异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长 时间放置硅片。 单晶清洗： 1、 操作过程中发现药 品瓶上有沾污，需擦洗干净再打开瓶盖，防止药品瓶 上污物进入槽中。 2、 换液前清洗槽的同时检查槽周 围，槽顶部以及机械手臂的卫生状况，做好清洁工作（纯水擦洗）。3、向槽中加HF和HCI时，注意开盖、 倒液等一系列工作必须在清洗机内抽风状态正常状态 下进行并做好一切防护措施。 4、 交接班以及清洗机 异常停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片。 甩干： 1、 全过程戴乳胶手套和口罩操作，严禁不 带乳胶手套触摸甩干机工作台面及甩干机内任何部位。 2、 甩干后的硅片及时放入传递

15、窗，关闭窗口，不向 传递窗中放入硅片或从传递窗中取出硅片后，保持其 处于关闭状态。 3、 注意工艺跟踪单及流程卡等纸类 不可与硅片及承片盒接触。 4、 甩干的硅片不可以在 空气中滞留，不允许把甩干后硅片放在非指定位置。5、绝对禁止手动关闭甩干机或提前关闭。 以上规定 务必严格遵守，一经发现违反处 50-100 元处罚，重 犯加倍 电池工艺卫生要求 电池工 艺卫生要求 刻蚀：1、 刻蚀夹具：不用时用无水乙醇擦洗干净，放置 于干燥的无酸性气体环境中保存。 2、 真空吸笔：使 用前和每 2 小时用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头。 硅片承片盒不可与身体任何部位接触，不使用时放入 干净的塑料袋并放入整理

16、箱保存。 3、 石英钟罩可据 具体情况，用净洁布拭酒精檫拭，酒精挥发干净后再 使用。 4、 全过程戴无纺布口罩，完全遮住口鼻，戴 纱布手套及乳胶手套 去 PSG： 1、 全过程戴口罩及乳 胶手套。 2、 工作过程中腐蚀机门应关闭，以避免气 态 HF 外泄和硅片受光。 3、 交接班以及清洗机异常 停止时水槽以及喷淋槽中不允许长时间放置硅片。 4、 甩干的硅片不可以在空气中滞留，不允许把甩干后硅 片放在非指定位置。 5、 绝对禁止手动关闭甩干机或 提前关闭。PECVD 1、整个PECVD生产过程中， 要戴好口罩和一次性手套。 2、 插片过程中承载盒和 硅片不可与身体任何部位接触。 3、 使用前和每

17、 2 小 时用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头。保证吸笔头 干净。 4、 全过程戴无纺布口罩，完全遮住口鼻，戴 纱布手套及乳胶手套 背电极： 1、 整个背电极印刷 生产过程中，必须戴好口罩和乳胶手套。 2、 台面要 经常清理，如有片碎现象，更要及时清理干净。 背 电场： 1、 整个背电场印刷生产过程中，必须戴好口 罩和乳胶手套。 2、 台面要经常清理，如有片碎现象， 更要及时清理干净。 3、 载片盒每天清除碎屑，并以 酒精擦拭干净。 4、 每罐浆料必须分多次加料，不允 许一次加很多，网版刮刀两侧不允许有大量残留铝浆。5、 返工的片子擦拭要彻底干净，不允许有任何铝浆 粘附。 正电极：1、 整个正面

18、电极印刷生产过程中，必须戴好口罩 和乳胶手套。 2、 卸片台处的片子不得暴露在空气中 或长时间给予滞留。 3、 行走臂上的铝粉等杂物要及 时清理。 分类检测 1. 必须戴好口罩和乳胶手套。 2. 对有铝苞或铝珠的电池片，拿取要轻拿，每次 30 片 以上规定务必严格遵守，一经发现违反处 50-100 元 处罚，重犯加倍。 扩散工序工艺卫生要求 1. 任何人员进入 扩散间必须穿好洁净服，戴好口罩、帽子、鞋套，然后进入风 淋室进行 30 秒风淋（每次只能一人风淋） ；非必要人员不要随 便进入扩散间；扩散间的应急门平时严禁出入。 2. 各道工序的 工夹具应保持在各工位处，以免交叉污染。 3. 石英舟、

19、石英档 板（炉尾、炉口和外档板） 、石英管等石英制品在更换型号时， 当前使用的石英舟冷却后放入净化柜中保存；取出的石英舟及 其它需要清洗的石英制品按扩散间石英制品工艺卡中的要求清洗。4.扩散间不允许存在带有纤维的物质以及易锈的金属或粘有金属粉末的物品，比如纸盒、纸箱、拖把等。5.不准将袖口撩高、卷起，保持洁净服干净。6.任何纸制品不得接触硅片、卸片盒保持干净。7.保持装片和卸片工作台面及周围地面清洁。8.拿取清洗间传递窗内的硅片时必须戴完整干净的乳胶手套（内汗布手套），9.在插片时只允许舟叉（含舟叉套管）和真 空吸笔接触石英舟和硅片。破损的舟叉套管及时更换。10.测方块电阻时需使用干净的乳胶手套等距离取6片（每舟3片）扩散面朝炉口的硅片。11.接触硅片以外其他物品后再接触硅片时，必须更换干净的乳胶手套。12.空气：严格控制扩散间高洁净度环境与其他各工序低洁净度环境直接连通。不得将传递窗两边窗同时打开，或者非特殊原因打开各工序间安全门。 各种洁净柜按要求打开，定期检查洁净柜功能是否完好。13.各种气体：主要是软管等载体的污染检查软管是否干净，如果出现发黑等问题。及时更换。14.化学试剂：每次换源前必须检查源是否纯净。可以分析出生产过程中片子受到了污染包括原材料存在污染和电池片生产过程存在污 染电池片生产过程中存在污染的可能1硅片检验、装片