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文档简介
1、江西浩建环保有限公司十万级净化车间运行维护管理说明书(技术资料编制江西浩建环保工程有限公司2016 年 09 月;第一章洁净室管理的意义空气洁净技术是一门新兴的综合性科学技术,随着经济和科学技术的飞速发展,洁净技术在近30年发展十分迅速,各种规模、不同洁净度等级 的洁净室在电子、航天、冶金、牛物制药、医疗、食品、化妆品等行业发 展着日益重要的作用,为提高产品质量、开发高新精尖产品都做出了重要 贡献。实践已经证明,洁净室能否发挥预期的作用和为各类产品生产提供 一个预想的生产环境,与洁净室的正确的、合理的,施工建造是高质量的, 但运行中的维修管理不科学、不严格,必将使该洁净室的空气洁净度等级 逐渐
2、下降,生产环境不能满足产品的要求,从而使产品质量下降、产品率 降低,甚至不能做出合格的产品。所谓空气洁净技术,就是市处理空气的空调净化设备,输入空气的管路系统和用过进行生产的洁净环境洁净室三大部分构成。首先,由送风口向室内送入干净空气,室内产生的尘埃被干净空气稀释 后强迫其由回风口进入系统的回风管路,在空调设备的混合段和从室外引入的 经过过滤处理的新风混合,再经过空调机处理后又送入室内,室内空气此反复循环,就可以在相当一个时期内把污染控制在一个稳定的水平。因此,可以看出作为空气洁净技术主体的洁净室具有以下三大特点:a、洁净室是空气的洁净度达到一定级别的可供人活动的空间,其功能 是能控制微粒的污
3、染。这表明洁净室的洁净不是一般的干净,而是达到了一定的空气洁净度级别,在我国净化行业,最低级别是30万级,洁净室只能达到一定的洁净 度级别还不够,例如:经过很长时间才能达到就很难满足实用要求,必须 具有控制微粒污染,抵抗外界干扰的能力,体现在有一个合理的满足实用的自净时间及环境卫生管理。b、洁净室是一个多功能的综合整体,多功能体现在以下两方面:(1)多专业建筑、空调、净化、纯水、纯气(2)多参数空气洁净度、空气的量(风量)、压(压力)、声(噪 声)、光(照度)c、对于洁净室的质量来说,在重要性方面,设计、施工和运行管理各占1/3,也就是说洁净室本身也是通过从设计到管理的全过程来体现其质量的。空
4、气洁净度等级,提高产品质量,而且还是保证安全产所必须的;洁净厂 房的建造费用,大多洁净室内生产高新技术产品,产品价值高,有的还是响。加强洁净室的维护管理,管好、用好洁净室是本说明书的主要内容。国民经济的重要产品。因此,洁净厂房一旦因维护管理不善,致使空气洁净度等级下降或出现安全事故,其经济损失巨大,甚至造成严重的社会影响第二章洁净室的基本知识(1)洁厚度,即洁厚级别,划分是以其室内单位体积内空气含有一定大小粒径尘粒个数多少来确定的,级别越高,含尘量越少,目前采用的 洁净级别标准为含尘量上限浓度:(参考gb500732001洁净厂房设 计规范为准)空气洁净度等级(n)大于或等于表中粒径的最大浓度
5、限植(pc/m3)0.1pm0.2pm0.3pm0.5pm1pm5pm11022100241043100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000(2)温度t、湿度p,洁净室的温、湿度主要为满足二个要求,一是 一般的要求即操作人员的舒适感,二是工艺的要求即工艺所要求的特殊的 温湿度环境(包括减少静电荷)。(3) 正压,洁净室与周围的空间必须维持一定的压
6、差,并应按生产要求决定维持正压差或负压差,不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,应不小于5pa,洁净区与室外的压差应不小于10pa。(4) 照度,由于洁净室的工作内容大多有精细的要求,而且又都是密闭性房间,所以,对照明一向有很高的要求。这里有必要先说明一下无尘洁净室的照明方式:本无尘照明采用吊顶明装的方式,照明灯具为:2x40w无尘净化灯。i. 一般照明它指不考虑特殊的局部要求,为照明整个被照面积而设置的照明。ii. 局部照明这是指为增加某一指定地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明中一般不单独使用局部照明iii. 混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明,
7、其中,一般照明的照度应占总照度的10%15%o根据洁净厂房设计规范编制组的调查,对工作认为比较合适的最使室内气体沿一定方向,以防止死角及造成二次污染,不同的气流组织均低照度作了统计,其结果略鬲于150lxo因此,将一般照明的下限值为150lx是合适的,虽然在300ix时有更高的工作效率。(5)气流组织,即通过送风口、回风口位置、大小、形式的精心设计,直接影响施工的难度及工程造价。<6)新风尿.为满足室内人员的舒适度以及整个洁净室内设备排风.泄露风等能达到室内所需压力引进的室外风量,对于新风量的引入,整个设备应需设立专门的新风净化单元来限制补充新风中所夹带的尘埃粒子(7)系统的气密性,不仅
8、通风系统本身要求气密性好,对建筑各部件结合处、水暖电工艺管道穿越围护结构处亦应堵严,防止渗漏,维护室内所需的正压值,满足工艺要求。(8)排风口,净化空调系统中的排风口,是因生产工艺需要而设置的局部通风的排风口。为在系统停止运行时,不致使室外空气对系统内污 染,尤其是局部通风的排风口,往往是直接通到洁净室内,要重视在排风口设防止室外空气倒灌的装置。排风口的空气流通净截面积,也可按风速来确定,一般不宜小于15m/s。当然也不能太大,排风风速反映了出风口动 压损失。(9)回风口,洁净室的回风口往往被忽视,回风口上应设过滤器(层),最好是中效过滤器(层),对于有害粉尘,有时也设亚高效或高效过滤 器。室
9、内冋风口速度应2m/s,走廊冋风口速度应4m/so冋风口应有微调室内静压的可能,一般的百叶风口基本没有这个性能,因其叶片不便调节通分,它迫使空气按照所规定的路线流动。在集中式净化空调系统中,它 在(10)通风风道,是空气输送管路,也是净化空调系统的重要组成部警价中占有较大的比例。对风道的要求是能够有效和经济地输送空所谓“有效”表现在:严密性好、不漏气;不易发尘、不污染;有足够强度并且能耐火、耐腐蚀、耐潮湿。所谓“经济”表现在:材料价格低廉, 施工方便,降低工程造价;内表面光滑,具有较小的流动阻力,减少运行费用。由于净化空调系统的特殊性,对风道严密性和不易产尘有更高要 隶。净化空调系统内因增加了
10、三道过滤器,系统的阻力几乎比一般空调系统的大一倍,风道严密性尤其显的重要更为重要。(11)过滤器,我国标准将过滤器分为一般空气过滤器和高效空气过滤器两大类。一般性过滤器又可分为四类,即粗效过滤器、中效过滤 器、高中效过滤器、亚高效过滤器。高效过滤器又分为a:过滤效率99.9% (钠焰法),b过滤效率99.99% (钠焰法),c过滤效率99.999% (钠焰法),d过滤效率99.999% (微粒计数法)粗效、中效过滤器有平板式、袋式、折叠式等儿种形式。高中效过滤器有袋式、大管式、折叠式。a、初效过滤器,主要用于捕集5祈 颗粒灰尘及各种悬浮物。型号外形尺寸(宽x高x深)效率%初阻力pa材料外框滤芯
11、防护网板式600x600x21600x600x46>80<100铝合金镀锌板无纺布双面喷塑铁丝折叠式600x600x46>78<80纸铝合金无纺布双面镀锌丝网b、中效空气过滤器,主要用于捕集祈颗粒灰尘及各种悬浮物。型号外型尺寸(宽x高x深)袋数额定风量m3/h初阻力pa效率%材料外框滤芯595x595x500685铝合金镀锌板 外框宽度21, 46袋式592x290x60041500<10085玻璃无592x592x76083000<10085纺织布592x290x76042000<10085592x592x60052500<10085无纺布0.
12、5祈以上微粒。广泛用于高等c、有隔板高效过滤器,用于捕集级的净化设备中及净化系统的末端过滤部件。型号外型尺寸(宽x高x深)额定风量几 m3/h初阻力pa效率%材料滤芯外框隔板密封胶有隔板484x484x2201000<220>99.97玻织滤纸夹层木板镀锌钢板不锈钢板铝合金板铝合金型胶板纸铝箔聚氨脂915x610x1501500第7页共21页附:1、空调净化系统原理图:空调净化系统原理图顶第三章洁净室的运行维护和管理(1)洁净室管理的原则:为了保持洁净室内的空气洁净度必须建立一套科学的、有效的维护管 理规定,对于具体的某一洁净室在制定维护管理规定的,必须按自身的特 点和具体的构造、
13、空气洁净度等级、生产工艺要求以及配置的系统、设备 情况确定,但是都应该以防止洁净室内尘粒、微生物的生产、滞留、繁殖 和安全生产为宗旨,通用的洁净室维护管理的原则大体如下。1、进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各 类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。2、操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制定、穿着和清 洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等。尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的生产、滞留、繁殖等。3、严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各产工艺设备和工器具等。以确保产品生产工艺
14、要求和空气洁净度等级。4、清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭菌以 及方法、周期和检查作明确的规定,防止、消除洁净室内尘粒、微生物的 产生、滞留、繁殖。(2)洁净室维护管理内容3)人员淨化:洁淨室内的尘源,主要来目生产工艺设备运转中发尘,严品和材料运送过桎中发尘,洁净室内建筑内表等的发尘和人员产尘。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染,人员在进入洁净区之前必须更换洁净服,有的还耍淋浴,消毒或者空气吹淋。工作人员不同动作时的发尘量动作>0.3pm的尘粒数/pc-min1动作>0.3pm的尘粒数/pc-min'1站立或坐者100 000以0.9m/s速度走动5
15、000 000手、前借、头、颈动500 000以1.5m/s速度走动7 500 000整个手臂、上身、头、颈动1 000 000以2.2m/s速度走动10 000 000坐者站起,站者坐下2 500 000注:试验者穿普通洁净服,在洁净生产环境内做各种标准动作。具体来说,平面上的“人净”包括以下几个部分:i. 更衣和级别的关系:工作服的选材、式样及穿戴方式应与生产操作和空气洁净度等级要求相适应,并不得混用,洁净工作服的质地应 光滑, 不产生静电,不脱落纤维和颗粒性物质,工作服必须包盖全部头发、胡须及脚 部,并能阻隔人体脱落物,即帽子应遮住头发、胡须,并塞进脖领中,戴口罩以避免唾液飞溅。应该穿经
16、过消毒的非强力橡胶或塑料手套和消毒 灭菌过的鞋,裤腿应塞进鞋中,袖了塞进手套。ii严格控制进入洁净室的人员数量,由洁净室专职管理人员、企业负责人共同确定洁净室的操作人员数量,一经商定必须严格控制;严格控制临时进入洁净室的维护、检测人员和其他人员,如参观者等,临时进入者必须办理申请、批准手续并佩带进出标志。iii对洁净服穿戴、清洗和整理的要求:人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服。若洁净服尚未开封,需仔细 切开包装拿出服装,不沾带包装料碎屑。穿衣时,不耍使衣服触及地板、 桌子、椅子等物品,不要玷污袖子和裤腿下摆,姿势要保持直立,按从上 至下顺序穿衣,必要时须设置专用的穿
17、衣台。戴兜帽和帽了时要把头发全 部遮住,头部紧紧地包在兜帽内,直到连身式洁净工作服的拉链口。穿鞋 套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。洁净区所用衣服的清洁方式应不带 入附加的尘粒污染物,这些衣服应使用专用的清洗设施,不合适的清洗方 法能破坏纤维,从而增加尘粒脱落的危险,洁净服的清洗:洁净服在衣料生产、缝制和穿用过程中,不可避免会带上污染物,纤 维本身也会因摩擦脱落纤维。所以新洁净服在使用前或使用一定时间后, 都应进行清洗。根据实验和控制,采用不同清洗方法、不同的水质清洗, 清洗后的洁净服在使用过程具有不同产尘量。不同衣者、不同动作时的人体散发尘良/pc(人min-1)踏步起立抬臂普通服装3309
18、 (1706-5845)1998 (1788-2209)1652 (1119-2487)连体式洁净服770 (631-842)630 (626-634),对于更衣环境的要求:更衣室的设计应使之成为一个气闸,不同生产阶段使用的更衣室应隔开,以便使防护服的尘埃及微生物污染降低最低 限度,并应通过有效过滤的进入和离开洁净区应使用分开的更衣室。v.人员缓冲的要求:缓冲的目的是进一步补充人净措施,防止经人的进入而把污染带入,造成工作环境的影响,因此进入洁净室内人员应严格执 行人身净化制度、路线和程序,任何人不得随意更改,根据空气洁净技术 的原理,这种缓冲设施可以是气闸家,空气吹淋家或缓冲室,空气吹淋家
19、是利用喷嘴吹出的高速气流使洁净服抖动起来,从而把衣服及洁净工作帽、 鞋等表面沾的尘粒吹掉的设备,吹到衣服上的气流速度不小于20m/s,才能 起到抖动衣服的作用,因此要达到洁净的要求,需将吹淋时间调至30s以 ±;其次风淋室严格按照风淋过程程序进行(一扇门打开的同时另一扇门 不能同时打开,形成双门互锁),进门吹风的同时不应强行开关门。vi. 人员的身体健康及心态要求:由于可能影响洁净度的第一因素是 人产生的尘埃,所有入室人员在精神状态和身体状态上都必须是健康的, 而且对于他们的管理有必要进行充分的教育,提高在洁净室工作的责任感。更重要的是加深工作人员对洁净室本身的实质性的理解。”1甘i
20、lls中的行力及殆作要求:作盘人丹在他内工作a作要轻,严格执行操作规程,不允许跑跳、打闹,不作不必要的动作,不 作易发尘和大幅度的动作和聚集等一切与影响洁净级别有关系的活动。严 网肃在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。不能穿洁净服上厕所 (洁 净厕所除外),上厕所按上面出入洁净室的注意事项处理。b)物料净化:各种物料在送入洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。物料净化路线与人员路线应尽可能分开,且考虑物料净化的同时,应 充分考虑物品的性质,注意区分:i.允许带入的,如:生产制品、生产工具等ii.控制带入的,如:易发尘的生产辅助材料等,需要多少就带入多少,勿堆积在净化室内不准带入的,如:工
21、作人员带入的食品及一切与生产不相关的物品同时注意物品的携带方法(如薄膜包裹)、保管及存放措施 等要求。物品运输应充分利用其原有设备合理运输路线,且物料传递窗的使用 方法应适当,严禁同时打开传递窗的两扇门。风淋室、传递窗在人、材料 进出时为了防止与外部非洁净室相遇、缓冲,必须使连锁装置适合于实际 和养成连锁的习惯、即在一面开启的情况下,不能强制打开另一面,以免 影响风淋室、传递窗的整体结构及室内的洁净级别。如果不采用传递窗, 应充分保持室内外足够的气压差,则必须采取其它措施:a、能减少传递洞口面积,或用垂帘加以遮挡,以最大限度地减少维持 一侧正压的风量。b、增加洁净室的新风送风量。c、必要时在传
22、递洞口高压一侧另设送风竖井或气幕等装置,以形成空气幕封住传递洞口。c)生产工艺设备净化:在洁净室内产品生产过程屮生产设备的尘粒污染是不可 忽视的,据资料介绍,在大规模集成电路生产过程中生产设备的网发尘量要 占总微粒污染量的龙 30%左右,可见其影响之大。污染的类型,除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染,虽然有的 是生产工艺固有的污染,但是还有源于设备制作材料、生产过程的原辅材 料(包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等),工器具使用不 当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。还有在产品生产过程中由于操作
23、失误也会造成不应有污染。从各种洁净室内产品的实践表明,加强洁净室 内产品生产过程中生产工艺和设备的管理,确是降低室内污染程度,提高 产品质量的重要措施。要十分认真细致地观察洁净室内的生产设备在运转 过程中可能发尘的情况,特别是运输装置、运动部件、机械手等可能成为 污染源;还有各类泵、风机等电动机内部轴承之间摩擦的发尘情况等,并 针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策。d) 净化空调系统设备的管理:净化空调系统是确保洁净室内空气洁净 度等级的主要设备,包括各类空气过滤器、洁净工作台、层流罩、空气吹淋室、传递窗、空调装置等的正常维护、定期检查和规定的检测认证等。生产设备的日常维护及保养
24、,粗效过滤器一周清洗一次,中效过滤器一月清洗-次,高效过滤器应根据洁净度所发生的不稳定性、进行清扫或更换。回风格栅的清洗。净化无尘地面的日常清扫,每周用洗涤剂擦洗。在下列 任一情况下,应更换高效过滤器。j吉净的生弋蠶删蒿噩證节龍蟲亂温帛述巡蠶盘啓流速度仍不能增大;2、高效过滤器的阻力达到初阻力的1.5-2倍;3、高效过滤器出现尢法修补的渗漏。e)洁净室内旳节能,在洁净室内生产,单位能粧大,这是因为要保持止污染和交叉污染,洁净室内应根据产品生产过程的耍求排除生产过程中 产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全室或局部排风装置,与此同时需 向洁净室内送入相应的或必需的室外新鲜空气;根据不同的空气洁净度
25、等 级的要求需要有必须的换气次数/送风量。为进行正常的产品生产,洁净室 内的生产工艺设备需按产品的特点供应电力、纯水、纯气、高纯化学品等, 这些也需消耗大量的能源,伴随着电力等能源的消耗,在洁净室内产生的 第14页共21页各种形式的发热量还需进行冷却,有时这种需进行冷却的热负荷量是不可 忽视的。在洁净室的空调系统中,高效过滤器、中效过滤器、初效过滤器 随着运行时间的延长,吸附在过滤器上的尘埃量逐渐增多,使其压力损失 上升,风量减少。因此必须经常清洗中效和初效过滤器。高效过滤器也应 根据实际情况及时进行更换等工作。f) 设备和人身安全方面的管理:按规定记录各类设备的运转状态及有 关参数,记录和分
26、析定期检查、维修、清洗状态,尤其注意定期检查转动 部件、通信和安全报警装置以及自动装置等的完好状态。建立各类设备技术状态、运行档案,将设备、仪器仪表说明书、产品资料以及图纸资料等分类编号妥善保管;设备维修和仪器仪表校正的记录;设备、仪器等的故 障或事故记录;运行记录等均应分别汇编成册保管,以便掌握设备、仪表 的完好状态和即时分析可能出现的各类问题,确保洁净室的正常、安全运 行。g) 洁净室内布局及变更:洁净室内所有已建设施,均以按设计要求设计施工,为此,在生产过程当甲,个宜轻易更改、移动其圳有室内设施及 布局。叶龙如:a、对于高效送风口的封堵,应充分考虑其净化级别,在设施不变及不 影响乞产工艺
27、的情况下,尽量采用挪动牛产工艺设备及操作方向。b、回风口的封堵,为了达到洁净室内净化等级的要求,室内所有回风口均以按照合理的开启度处理。c、净化门的合理使用及开启度,净化洁净室为密闭的洁净小区,因此, 应做到随开随关,保证室内的工作生产环境以及窣内能源的合理利用,净 化门的合理使用表现在:人货分离,上下班分开,否则影响工作环境及门的使用年限。h)室内要素的控制方法:i. 温度t,通过空调主机及加热装置的温度设定;ii. 湿度(p,通过空调主机及加湿机的自动配备;湿度控制方法:加湿器仅需调节控制面板上的三个档位控制器(湿度 档位控制器严格按照洁净室内要求的湿度范围,不得随意更改、调动湿度 范围。
28、避免湿度设定过高,风管出现漏水的现象;湿度设定过低,不出现 加湿的情况。第二个档位应拨至外接状态,因传感器属于外接状态,严禁拨至本机状态。第三个档位一般调至100%的位置,具体操作详见广东宏远加湿机说明书),以后禁止非专业人员随意调动。iii. 洁净度,室内环境运行工况,以及风机的运转情况,过滤器的容尘能力等方面;iv止以.词节和城卜充10:以及祐睜区城内传翅谢等生严改备阳什启度,经常清洗、更换各类过滤器,经常观察过滤器的出风堵塞情况以及 浮化冋旳门窗升启情况、各种物料传递口的仇洞大小、以及排废气风机的 运转情况。龙i)室内环境保持的必要方法:充分考虑以上人员、物料、生产工艺设备以及净化设备的
29、各项措施。第四章净化设备的操作方法及控制(1)空调机、水泵、冷却塔等参照有关设备用户手册。先开启水泵、冷却塔,再开启空调主机,关机程序相反。非专业人员不能开启此设备。送风机、回风机:先开启送风机,在开启回风机,关机程序相反,勿相反操作,使洁净室内保持正压是非常重要的。(2)加湿器参照有关设备用户手册,非专业人员不能随意开启此设备。(3)净化系统操作与调控方法:洁净室的洁净度的维护管理最重要的是不让尘埃进入洁净室内,不让尘埃产生、残留为原则。管理对象与管理内容管理对象基本原则管理内容设备灰尘带入洁净室、保证房间正压和高效的效率,防止二次飞扬、地板、室内装置和处理,进行空气吹淋等。人员、材料0不要
30、产尘、室内的清扫与清洗,空调系统的清扫。、注意对进出洁净室及工作人员状态的管理,穿洁净服。装置不要使灰尘残留、合理的平面布置。com(4)操作程序净化系统开机程序(关机程序相反)冷却塔一冷却水泵一送风机一空调机一加湿机第五草洁存室注意事呗洁净室的一般清扫必须在生产工艺操作结束后进行,若有必要在生产前清扫,则工艺生产必须在净化空调系统开机运行时间达到自净耍求后方可开始运行。为了防止交叉污染,清扫洁净厂房设备的工具均应按产品特点、工序要求、空气洁净度等级的不同分别专用。洁净室的清扫工具一般采用集中固定式或便携移动式真空清扫设备,以确保在定期清扫时能去除微粒污染;也能有效地、适时地清除某些不适 合在
31、洁净室外进行工作带来的污染。当设置集中固定式真空清扫系统时, 其排风风机应安装在洁净室外;洁净室内的连接插座在不使用时应严密封 盖,以免危及洁净室内的压差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备时,应配置有排风过滤器,其过滤效率应至少与所在洁净环境的等级相同;还第17页共21页应注意在使用时对洁净室内气流的影响。若洁净室不具备上述清扫条件时,也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭,一般每天1次或数次。对于高级别的洁净室,擦拭用水应使用过滤后的水;有特殊要求的场所,也可采用符合要求的有机溶剂进行擦拭。当洁净室内产品工艺要求不能进行擦拭时,应采用真空清扫设备进行清扫。一般对于小面积的洁净室宜采用移动式真空清扫机,而大面积或高级 别的洁净室宜采用集中或真空吸尘系统。集中或真空吸尘系统的设置要求如下:coma、吸尘装置宜布置在靠近负荷的中心,并要考虑隔声隔振措施。b、洁净室内吸尘口位置和数量,要根据软管作用半径(一般为6 12m)确定,使洁净室内各处都得到清扫。c、集尘器要设置在真空泵的吸入端,集尘器可采用布袋除尘器等。d、吸尘系统的管道材料要选用耐磨、气密性好、有一定强度的材质, 如无缝钢管或硬塑料管,管道弯头的曲率半径为管道直径的46倍,三通夹角一般为30°,最大不超过45。水平管道要有一定的坡度,坡向立管 或集尘器。联龙a)吊顶围护材料:此净化室吊顶、围护
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