电阻应变片传感器,扭矩传感器,拉压力传感器原理

1、第4章应变式传感器4.14.24.34.44.5工作原理应变片的种类、林料 电阻应变片的特牲应变式传感器的測量及粘貼电路应变式传感器的应用I应变式传感器是利用电阻应变效应做成的传感器，是常用的传感器之一。应变式传 感器的核心元件是电阻应变计（应变片）OI应变式传感器结构简单，尺寸小，重量轻，使用方便，性能稳定可靠，分辨率 高，灵敏度高，价格又便宜，工艺较成熟。因此在航空航天、机械、化工、建筑、医 学、汽车工业等领域有很广的应用。各种电子秤s鬲精度电子汽车衡革秤机械秤包裝机?4.1电阻应变片的工作原理当金属丝在外力作用下发生机械变形时，其电 阻值将发生变化，这种效应称为电阻应变效应一个长度为Z，

2、截面积为A，电阻率为Q的导体金属丝电阻E占当电阻丝受到拉力F作用时，将伸长人横截面积相应减小电阻率因材料晶格发生变形等因素影响而改变了dQ,从而引起电阻值相对变化量为dR _ dl dA dp|n轴向应变R I A p dl£ =dA c dr dr dln径向应变=2；= = _圧式中，p为电阻丝材料的泊松比，负号表示应变轴向方向相反。得：dR生K = - = 1 + 2ll + - £e通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电 阻丝的灵敏系数。其物理意义是单位应变所引起 的电阻相对变化量。dR即K = A = 1 + 2jll + R灵敏系数K的影响蘇：£n个是

3、应变片受力后材料几何尺寸的变化，即1+2 p ；n另一个是应变片受力后材料的电阻率发生的变化，即 (dp/p ) / £。n对金属材料来说，电阻丝灵敏度系数表达式中1+2“的 值要比(dp/p)/e大得多，n半导体材料的(dp/p)/e项的值比1+2u大得多。n大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变 化与应变成正比，即K为常数。半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导 体材料的压阻效应。压阻效应是指半导体材料，当某一轴向受 外力作用时，其电阻率。发生变化的现象。当半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变化为dRdpR = (1 + 2|ll) + Ree式中dp

4、/p为半导体应变片的电阻率相对变化量，其值与半导体敏感元件在轴向所受的应变力有关，其关系为如=兀o =兀E£晋=（1 + 2卩+兀E）£实验证明,JiE比1+2“大上百倍，所以1+2“可以忽略，因而半导体应变片的灵敏系数为dRk = R=兀EE半导体应变片的灵敏系数比金属丝式高5080倍，但半导 体材料的温度系数大，应变时非线性比较严重，使它的应 用范围受到一定的限制。三、应变测试原理用应变片测量应变或应力时，根据上述特点，在外力作用下，被测对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变 化，同时应变片电阻值也发生相应变化。当测得应变片电阻值变化量为时，便可得到被测对象的应变

5、值。dRK= R =兀£e根据应力与应变的关系，得到应力值。为o =E4.2应变片的种类、材料及粘贴4.2.1金属电阻应变片的种类4 金属丝式应变片金属丝式应变片有回线式和短接式二种，如图2.3所示。a、c回线式b、d短接式制作简单，性能稳定，成本低，易回线式最为常用， 粘贴，但其应变横向效应较大。短接式应变片两端用直径比栅线直径大510倍的镀 银丝短接。优点是克服了横向效应，但制造工艺复杂。常用材料：康铜、银铅铝合金、铁铅铝合金以及钳、钳乌合金等。2 金属箔式应变片它是利用照相制版或光刻技术将厚约0.0030.01m m的金属 箔片制成所需图形的敏感栅，也称为应变花。优点:Sill

6、 可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅，其栅长/可做到0.2mm,以适应不同的测量要求； 与被测件粘贴结面积大； 散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度； 横向效应小。 蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长。缺点：电阻值的分散性比金属丝的大，有的相差几十欧姆，需 做阻值调整。在常温下，金属箔式应变片已逐步取代了金属丝 我应变片nr;3 金属薄膜应变片它是薄膜技术发展的产物。釆用真空蒸发或真空沉 积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1 p m以下 的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范 围广，可达一 197317°C缺点：难于控制电阻与温度

7、和时间的变化关系。4.2.2金属电阻应变片的材料Sill对电阻丝（敏感栅）材料应有如下要求: 灵敏系数大，且在相当大的应变范围内保持常数； Q值大，即在同样长度、同样横截面积的电阻丝中具有 较大的电阻值； 电阻温度系数小，否则因环境温度变化也会改变其阻 值； 与铜线的焊接性能好，与其它金属的接触电势小； 常舫醐强度高，具有优良的机械加工性能。康铜、镰钻合金、铁辂铝合金、铁镰悟合金、贵金属 （钳、钳磚合金等）材料应变片的选择使用要求：灵敏度、温度、寿命 敏感栅和基底材料的选择：温度影响 敏感栅长度的选择n电阻的选择n敏感栅结构型式的选择应变计附件接线端子应变粘接剂贴片用辅助料具：锡铅焊料、镀银紫

8、铜丝、导 线、砂纸、专用银子、烙铁、棉签4.2.3金属电阻应变片的粘贴应变片是用粘结剂粘贴到被测件上的。粘结剂形成的胶层必须准确迅速地将被测件应变传递到敏感栅上。选择粘结剂时 必须考虑应变片材料和被测件材料性能，不仅要求粘接力强， 粘结后机械性能可靠，而且粘合层要有足够大的剪切弹性模 量，良好的电绝缘性，蠕变和滞后小，耐湿，耐油，耐老化， 动态应力测量时耐疲劳等。还要考虑到应变片的工作条件，如 温度、相对湿度、稳定性要求以及贴片固化时加热加压的可能 性等。4.2.3金属电阻应变片的粘贴应变片粘贴步月|：5n检査：外观、电阻值、修整n试件表面处理：光洁度要求、划定位线n粘贴：厚度、方法固化处理n

9、粘贴质量的检查：电阻值和绝缘电阻值接线端子的焊接、导线的固定n防潮处理4.3电阻应变片的特性4.3.1弹性敏感元件及其基本特性物体在外力作用下而改变原来尺寸或形状的现象称为变形，而当外力去掉后物体又能完全恢复其原来 的尺寸和形状，这种变形称为弹性变形。具有弹性变 形特性的物体称为弹性元件。弹性元件应变片力、力矩或压力一f应变或位移一f电阻值。弹性元件的基本特性有:1.刚度刚度是弹性元件受外力作用下变形大小的量度，其定义是 弹性元件单位变形下所需要的力，用C表示，其数学表达式为0C = hm =ArdFdx2.灵敏度通常用刚度的倒数来表示弹性元件的特性，称为 弹性元件的灵敏度，一般用S表示，其表

10、达式为dxdF4.3.2灵敏系数AR/R式中,££为应变片的轴向应变。U它表示安装在被测试件上的应变在其轴向受到单向应力时,引起的电阻相对变化SRIR）与其单向应力引起的试件表面轴向 应变（£）之比。U因一般应变计粘贴到试件上后不能取下再用，只能在每批产品 中提取一定百分比（如5%）的产品进行测定，取其平均值作为 这一批产品的灵敏度系数。这就是产品包装盒上注明的灵敏度4.3.3横向效应(2)横向效应：直线电阻丝绕成敏感栅后，虽然长U)应变片及踰向受力图;应变片的權向效应图丝式渣式IS最明显的是在e=/2垂直方向的微段，按泊松比关系产生压应 变七y。该微段电阻不仅不

11、增加，反而减少。在圆弧的其他各微段 上，感受的应变是由+ £ X变化到 £ 丫的。这样，圆弧段的电阻变化， 显然将小于同样长度沿X方向的直线段的电阻变化。丝式渣式4.3.3横向效应解决方式：短接式应变片理论分析和实验表明：对丝绕式应变计，纵栅愈长，横栅厂愈小，则横向效应愈小。因此，釆用短接式或直角式横栅，可有效地克服横向效应的影响4.3.4绝缘电阻和最大工作电流应变片绝缘电阻是指已粘贴的应变片的引线与被测件之间 的电阻值通常要求在50100 MQ以上。绝缘电阻下降 将使测量系统的灵敏度降低，使应变片的指示应变产生误差。取决于粘结剂及基底材料的种类及固化工艺。最大工作电流是指

12、已安装的应变片允许通过敏感栅而不影 响其工作特性的最大电流人和。丝式渣式435机械滞后实用中，由于敏感栅基底和粘结剂材料性能，或使用中 的过载，过热，都会使应变计产生残余变形，导致应变计输 出的不重合。这种不重合性用机械滞后（引来衡量。它是指粘 贴在试件上的应变计，在恒温条件下增（加载）、减（卸载）试件 应变的过程中，对应同一机械应变所指示应变量（输出）之差值 ,见图2.6所示。通常在室温条件下，要求机械滞后ZjV3 10u e o实测中，可在测试前通过多次重复预加、卸载，来 减小机械滞后产生的误差。436蠕变(0)和零漂(P。)已寸'可I当试件初始空载时，应变计示值仍会随时间变化的现

13、象称为零 漂。如图中的P。所示。HiI粘贴在试件上的应变计，在恒温恒载条件下，指示应变量随时 间单向变化的特性称为蠕变。如图中e所示。I蠕变反映了应变计在长时间工作中对时间的稳定性，通常要求 0<315uso引起蠕变的主要原因是，制作应变计时内部产 生的内应力和工作中出现的剪应力，使丝栅、基底，尤其是胶层 之间产生的“滑移乃所致。选用弹性模量较大的粘结剂和基底材 料，适当减薄胶层和基底，并使之充分固化，有利于蠕变性能的 改善。4.3.7应变极限应变计的线性（灵敏系数为常数）特性，只有在一定的应 变限度范围内才能保持。当试件输入的真实应变超过某一限 值时，应变计的输出特性将出现非线性。在恒

14、温条件下，使 非线性误差达到40%时的真实应变值，称为应变极限eIimo 如图28所示。应变极限是衡量应变计测量范围和过载能力的指标，通 常要求£ limSOOOu £。影响的主要因素及改善措施， 与蠕变基本相同。OHV4.3.8应变片的动态响应特性电阻应变片在测量频率较高的动态应变时，应变是 以应变波的形式在材料中传播的，它的传播速度与声 波相同，对于钢材v5000 m/So频率响应特性与应变片的基长和应变波在试件材料 中的传播速度有关。应变波幅测量的相对误差e为“迂鼻=1 一沁王心2(p_-_66绻S)（a）应变波为阶跃波；（b）理论响应特性；（c）实际响应特性应变片有

15、最高工作频率，与基长有关=0-44V4.3.6应变片的温度误差及补偿1.应变片的温度误差由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差， 称为应变片的温度误差。产生应变片温度误差的主要因素有下述两个方面。1）电阻温度系数的影响 2）试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响III线膨胀系数：温度每变化1度材料长度变化的百分率。固体物质的温度每改变4摄氏度时，其长度的变化和它在OC 时长度之比，叫做“线膨胀系数”。单位为1/开。符号为。2.电阻应变片的温度补偿方法0电阻丝阻值与温度关系:R t = R 0 (l + 0C/A/) = R 0 + i? Ooc r A f0温度变化时电阻丝的电阻变化

16、ARt = Rf R° = RocifAt0因试件使应变片电阻产生附加形变造成的电阻变化ARt = R°K (pg - p Ja?0总的附加应变量为ARt / Ro _ aAt+(u&1)桥路补偿法7/丿心一工作应变片心一tt偿应变片(b)U0=A式中，为由桥臂电阻和电源电压决定的常数。当尽和几为常数时，冃和尽对电桥输出电压。的作用 方向湘反n当被测试件不承受应变时，妁和/?b又处于同一环境 温度为/的温度场中，调整电桥参数使之达到平衡，此时有Uo=A(RR4-RbR3) = 0(3-30)工程上，一般R1=Rb = R3 = R4选取桥臂电阻。当温度升高或降低仁仇

17、。时，两个应变片因温度而引起的电 阻变化量相等，电桥仍处于平衡状态，即uo = A(R + ARJRa-(Rb + RM = 0n若此时被测试件有应变£的作用，则工作应变片电阻$又有新的增量 gRK £ ,而补偿片因不承受应变，故不产生新的 增量，此时电桥输出电压为U。= ARRKe由上式可知，电桥的输出电压/仅与被测试件的应变£有关, 而与环境温度无关。应当指出，若要实现完全补偿，上述分析过程必须满足以下4个条件： 在应变片工作过程中，保证心曲4 心和/?B两个应变片应具有相同的电阻温度系数Q、线膨胀系数0、应变灵敏度系数K和初始电阻值仇。 粘贴补偿片的补偿块材

18、料和粘贴工作片的被测试件材料 必须一样，两者线膨胀系数相同。两应变片应处于同一温度场。2）应变片的自补偿法这种温度补偿法是利用自身具有温度补偿作用的应变片（称之为温度自补偿应变片）来补偿的。根据温度自补偿应变片的工作原理，可由式（4-37）得出，要实现温度自补偿，必须有学+(» Pg) = O (4-37)ao = -Ko(pg -卩$)(4-38)上式表明，当被测试件的线膨胀系数0黑已知时，如果合理 选择敏感栅材料，即其电阻温度系数Q。、灵敏系数以及线膨 胀系数0s，满足式（4-38）,则不论温度如何变化，均有 从而达到温度自补偿的目的。当电桥平衡时，t/o=0,贝IJ有RlR4=

19、R2R为电桥平衡条件。这说明欲使电桥平衡,其相邻两臂电阻的比值应相等，或相对两臂电阻的乘积应相等。2.电压灵敏度I Ri为应变片当受应变时，若应变片电阻变化为卜R,其它桥臂固定不变，电桥输出电压/H0,则电桥不平衡，输出电压为U°=E'&+M&、R、+ A/?! + 7?2 R3 + R4+ A/?j + R2)(R3 + 7?4)设桥臂比n=R2/Rv由于 ARi«R” 分母中 RIR 可忽略，并考虑到平衡条 件R/R讦R/R3,则可写 为：=E尺3 &一 2+堂电桥电压灵敏度定义为K _ U。_%rM (1 + H)2 电桥电压灵敏度正比

20、于电桥供电电压，供电电压越 高，电桥电压灵敏度越高，但供电电压的提高受到应变片允许 功耗的限制，所以要作适当选择； 电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值的函数，恰当地选择 桥臂比"的值，保证电桥具有较高的电压灵敏度。当E值确定后，取何值时才能使最高。由dK/d = O求瓦的最大值，得dKy _ -rTdn (1 + n)3求得=1时，K"为最大值。这就是说，在供桥电压确定后，当Ri=R2=R3t=R4 时,电桥电压灵敏度最高，此时有U从上述可知，当电源电压E和电阻相对变化量Ri/Ri定时， 电桥的输出电压及其灵敏度也是定值，且与各桥臂电阻阻值大3.非线性误差及其补偿方法略去分母中的

21、项，电桥输出电压与电阻相对变化成 正比的理想情况下得到的。实际情况则应按下式计算，即n1U° = E1 + n)l + n + 5与卜心冬的关系是非线性的，非线性误差为KR、 氏1+如R如果是四等臂电桥，7?1=1?2=3=4,即则A7?12FYj =!L 1+当27?对于一般应变片来说，所受应变&通常在500011以 下，若取K=2,则A鸟/?1=0.01,代入式计算得非线性 误差为0.5%；若K=100, e =1000n 时，龟/?1=01, 则得到非线性误差为6%,故当非线性误差不能满足测克服非线性误差方法:4 半桥差动电路 为了减小和克服非线性误差，常采用差动电桥如

22、图所示，在试件上安装两个工作应变片,一个受拉应变，一个受压应变接入电桥相邻桥臂，称为半桥差动电路,如图（a）所示。半桥差动电桥全桥差动电桥7该电桥输出电压为Uo = E"i+KA7?| + R + R° AZ?若/?=R讦R2,人3=人4，贝U得E AR由式可知，/与ARi/妁成线性关系，差动电桥无非线 性误差，而且电桥电压灵敏度血旳2,是单臂工作时 的两倍，同时还具有温度补偿作用。2 全桥差动电路若将电桥四臂接入四片应变片，如图(b)所示，即两个受拉应变，两个受压应变，将两个应变符号相同的接入相对桥臂半桥差动电桥全桥差动电桥若/?二 AR?二 43 二 ARy 且 &am

23、p; 二 A?二人3 二人4，贝 U5此时全桥差动电路不仅没有非线性误差，而且电 压灵敏度为单片工作时的4倍，同时仍具有温度补偿作 用。4.5应变式传感器的应用物理量I弹性元件 値变 竺片电阻变化4.5.1应变式力传感器被测物理量为荷重或力的应变式传感器时，统称为应变式力 传感器。其主要用途是作为各种电子称与材料试验机的测力元件、 发动机的推力测试、水坝坝体承载状况监测等。应变式力传感器要求有较高的灵敏度和稳定性，当传感器在受到侧向作用力或力的作用点少量变化时，不应对输出有明显的 影响。力传感器的弹性元件有：柱式、梁式、环式、轮辐式等:1.柱式力传感器有空心（筒形）.实心（柱形） 在圆筒（柱）

24、上按一定方式粘贴应变片，圆柱（筒）在外力F作用下产生形变，实心圆柱因外力作用产生的应变为:(a)柱式传感器（a）圆柱;（b）圆筒;（C）外形AZ o F£ =I E SE式中：L为弹性元件的长度,S为弹性元件的横截面积F外力；o为应力，（J二F/S;E为弹性模量03nup2ACi说明：艮和只3尺2和R4分别串联，放在相对臂内。当一方受拉时，则另一方受压。由此引起的电阻应变计阻值的变化 大小相等符号相反，从而减小 弯矩的影响。U R5和只6尽和只8,横向粘贴 的应变计作为温度补偿片。曙2 (朋1 M 肚3 |讯疋(&+/?2)八 K 凡 凡 R4R、= R° = RA

25、/?严 A/?- = A/?AT? A7?3 = |l1A7?5C2 RFL2.梁式力传感器 v等截面梁：0悬臂梁的横截面积处处相等，所以称等截面梁。0当外力F作用在梁的自由端时，固定端产生的应 变最大，粘贴在应变片处的应变为：式中：厶是梁上应变片至自由端距离,b.力分别为梁的宽度和梁的厚度。等强度梁.1:10悬臂梁长度方向的截面积按一定规律变 化，是一种特殊形式的悬臂梁。0当力作用在自由端时，力距作用点任何截 面积上应力相等，应变片的应变大小为：6FIbh2E等强度梁式力传感器因为应变片的应变大小与力作用的距离有关, 所以应变片应贴在距固定 端较近的表面，顺梁的方 向贴上下各贴两只。0四个应

26、变片组成全桥。上面两个受压时下面两个 受拉。0这种传感器适用于测量 500Kg以下荷重。3环式力传感器(d)心R4(a)为拉力环(b)为压力环环式常用于测几十千克以上的大载荷，与柱式相比，它的4轮辐式测力传感器（剪切力）2轮辐式传感器（a）结构示意图；（b）外形轮辂1、轮圈2、轮 辐条3、承压应变计4 、拉伸应变计50）在传感器中实测的不是剪应变V，而是在剪切 力作用下,轮辐对角线方向的线应变。这时，将 应变计在与辐条水平中心轴线成±45。角的 方向上粘贴。八片应变计分别贴在四根辐条 的正反两面拼组成全桥电路，以检测线应变。4.5.2应变式压力传感器应变式压力传感器由电阻应变计、弹性元件、外壳及补偿电阻组成