YAG系列常规产品通用标准(12页)

1、YAG系列常规产品通用标准 J/XX J ZG05-2012 第1版1 目的与适用范围本标准规定公司YAG系列圆柱形激光棒常规产品（以下简称“激光棒”）和圆柱形Cr4+:YAG调Q元件常规产品（含非民品，以下简称“调Q元件”）的技术要求、测试要求及检验规则。如果客户对产品有特殊要求，按照客户要求执行。如客户要求低于本标准的标准级产品要求，则按公司要求执行。2 参考文件下列文件中的有关条款通过引用而成为本标准的条款。凡注日期或版次的引用文件，其后的任何修改（不包括勘误的内容）或修订版本都不适用于本标准，但提倡使用本标准的各方探讨使用其最新版本的可能性。凡不注日期或版次的引用文件，其最新版本适用于

2、本标准。固体激光材料名词术语 GB 1129389公差与配合 GB/T 1800-96光学零件表面疵病 GB/T 1185-2006美国军用标准 MIL-PRF-13830B计数抽样检验程序 GB/T 2828.1-2003掺钕钇铝石榴石激光棒 GB/T 1384292掺钕钇铝石榴石激光棒规范 SJ 2013892掺钕钇铝石榴石激光棒尺寸系列 GB/T 14128-93激光棒波前畸变的测量方法 GB 11297.1-89掺钕钇铝石榴石激光棒消光比的测量方法 GB 11297.3-89掺钕钇铝石榴石激光棒长脉冲激光阈值及斜率效率的测量方法 GB 11297.4-89掺钕钇铝石榴石激光棒连续激光阈

3、值、斜率效率和输出功率的测量方法 GB 11297.5-893 激光棒要求及测量方法3.1 加工要求3.1.1 激光棒的尺寸系列及公差符合下列要求a直径系列推荐使用以下尺寸（单位mm）：2.0，3.0，3.5，4.0，4.5，5.0，5.5，6.0，6.35，7.0，8.0，10.0，12.0，15.0。 直径公差： -0.030b长度系列推荐使用下列尺寸（单位mm）：40，45，50，55，60，70，80，90，100，110，120，140，150，160，180，200。 长度公差： 00.5c激光棒尺寸组合推荐系列见附录1中被涂黑部分。3.1.2 两端面平行度（平面对平面）允许偏差不

4、大于10"。3.1.3 端面垂直度（平面对轴心）的允许偏差不大于3'。3.1.4 端面表面光洁度国家标准应达到;若要求为美国军用标准则为10-5。3.1.5 端面平面度（在全口径90%直径范围内）应不大于0.1（632.8nm）。3.1.6 端面倒角应在（0.1±0.05）mm×（45º±5º）范围内。3.2 棒轴取向棒轴与晶体生长方向(<111>或<100>)之差不得超过5º。3.3 镀膜要求3.3.1 常规膜系要求如下:膜 系要 求AR1064nm<0.2%HR1064nm>9

5、9.5% PR1064nm9599±0.5%9095±1%1090±3%3.3.2 镀膜后膜层端面表面光洁度国家标准应达到，若要求为美国军用标准，则为20-10。3.3 光学性能3.4.1 波前畸变激光棒的波前畸变PV值应符合下表要求（单位：英寸）：直 径（mm）标准级优选级60.10.03680.150.048100.250.0610150.350.103.4.2 消光比激光棒的消光比应符合下表要求（单位：分贝）：直 径（mm）长 度(mm)标准级（dB）优选级（dB）3480303580L16025304680263180L160253068120253012

6、0L16024298101202429120L160232810151202328120L16022273.5 激光性能3.5.1 长脉冲的斜率效率，长脉冲的输出能量。3.5.2 连续激光的阈值，连续激光的斜率效率，连续激光的输出功率。 3.5.3 激光棒静态脉冲激光能量，近场光斑，静态脉冲测试点具体要求见附录2。3.6 内部质量3.6.1 激光棒内部缺陷（主要指激光棒内部的散射及光迹）按YAG系列激光棒内部缺陷检验标准的“B”级执行。3.6.2 光斑质量按XXYAG系列产品光斑分级标准的“B”级执行。3.7 加工要求的测量3.7.1 分别使用检定合格的分度值不低于0.01mm的千分尺来测量激

7、光棒的直径、分度值不低于0.02mm的游标卡尺来测量激光棒的长度，尺寸公差应符合3.1.1的要求。3.7.2 使用内调焦望远镜测量两端面平行度，并符合3.1.2的要求。3.7.3 使用内调焦望远镜测量端面垂直度，并符合3.1.3的要求。3.7.4 使用白炽灯和10倍放大镜检验端面表面疵病，按照GB/T 1185-2006或MIL-PRF-13830B的要求判定，并符合3.1.4的要求。3.7.5 使用光学干涉仪或一级平晶测量端面平面度，应符合3.1.5的要求。3.7.6 使用倍率计检验端面倒角，并符合3.1.6的要求。3.8 棒轴的取向使用x射线衍射仪（精度不低于1º）测定棒轴的取向

8、，应符合3.2的要求。3.9 镀膜要求的测量3.9.1 用低反射率测量仪测量增透膜的剩余反射率；用分光光度计测量高反膜，部分反射膜的透过率，并符合3.3.1的要求。3.9.2 使用白炽灯和10倍放大镜检验镀膜后端面表面疵病，按照GB/T 1185-2006或MIL-PRF-13830B的要求判定，并符合3.3.2的要求。3.10 光学性能的测量3.10.1 按GB11297.1-89的测量方法测量波前畸变，按3.4.1的要求进行分级。3.10.2 按GB11297.3-89的测量方法测量消光比，按3.4.2的要求进行分级。3.10.3 仅当波前畸变和消光比均为优选级时，该产品为优选级。3.11

9、 激光性能的测量3.11.1 按GB11297.4-89的测量方法，对3.5.1规定的参数进行测量。3.11.2 按GB11297.5-89的测量方法，对3.5.2规定的参数进行测量。3.11.3 按J/XX ZG07-2011静态脉冲激光性能测试的测量方法，对3.5.3规定的参数进行测量。 3.11.4 当产品为非民品或有特殊要求的民品时进行测量。3.12 内部质量的测量3.12.1 用He-Ne激光束通过被测激光棒肉眼观察的方法， 对3.6.1规定的要求进行检测。3.12.2 用激光照射距激光器输出镜约10cm处相纸的方法，对3.6.2规定的要求进行检测。4 调Q元件要求及测量方法4.1

10、加工要求0.5632.8nmD/0.10±0.05mm×45°4.1.1 直径公差：民品：0.100mm；非民品：0.030mm。4.1.2 两端面平行度（平面对平面）允差：民品：不大于20"；非民品：不大于10"。4.1.3 端面表面光洁度：民品：国标III级，美军标40-20；非民品：国标II级，美军标20-10。4.1.4 端面平面度（在全口径90%直径范围内）不大于0.5（632.8nm）。4.1.5 端面倒角：民品： 0.150.25mm×（45º±5º）。非民品： 0.100.15mm

11、5;（45º±5º）。4.1.6 崩边：6.5mm，崩边尺寸0.1mm；6.5mm，崩边尺寸0.2mm。4.2 晶轴取向晶轴与晶体生长方向（<100>或<111>）之差不得超过5º。4.3 镀膜要求4.3.1 镀减反射膜，在中心波长1064nm处，剩余反射率应小于0.2%。4.3.2 镀膜后晶体的表面光洁度：民品：国标BIV级，美军标60-40；非民品：国标BIII级，美军标40-20。4.4 光学性能4.4.1 弱光透过率T0用红外分光光度计，在1064nm中心波长处，测量Cr4+:YAG晶体的弱光透过率T0。其公差应符合如下要

12、求：民品：T030%，=±1%； T030%，=±2%。非民品：T030%，=±1%；30%T050%，=±1.5%；T050%，=±2%。4.4.2 弱光透过率不均匀性T0用红外分光光度计、1.0mm光阑、1064nm中心波长处，在Cr4+:YAG晶体的整个通光面上任意选取5个不同位置点，测试每个点的弱光透过率T0，其最大值与最小值之间的差值应达到以下要求：直径合格标准民品非民品9mm1.0%0.59mm1.2%4.5 激光性能4.5.1 激光动态调Q脉冲的阈值电压，坪宽电压；4.5.2 激光动态调Q脉冲的输出能量、动静比，激光近场光斑；4.

13、5.3 激光动态调Q脉冲的脉冲宽度。4.6 内部质量4.6.1 线状缺陷9.56.0，在有效通光口径区域内不多于3条； 6.0，在有效通光口径区域内不多于2条； 9.5，在有效通光口径范围内不多于5条。4.6.2 点缺陷9.56.0，在有效通光口径区域内不多于8个； 6.0，在有效通光口径区域内不多于5个； 9.5，在有效通光口径范围内不多于10个。4.7 加工要求的检验4.7.1 使用计量检定合格的分度值不低于0.01mm的千分尺测量Cr4+:YAG晶体的直径。尺寸公差应符合4.1.1的要求。4.7.2 使用双管光学比较测角仪测量两端面平行度，应符合4.1.2的要求。4.7.3 使用白炽灯和

14、10倍放大镜检验端面表面疵病，按照GB/T 1185-2006或MIL-PRF-13830B的要求判定，应符合4.1.3的要求。4.7.4 使用光学干涉仪或一级平晶检验两端面的平面度，应符合4.1.4的要求。4.7.5 使用倍率计检验端面倒角，应符合4.1.5的要求。4.7.6 使用倍率计检验端面崩边，应符合4.1.6的要求。 4.8 晶轴取向的测量用精度不低于30的x射线衍射仪测定晶轴的取向，应符合4.2的要求。4.9 镀膜要求的测量4.9.1 用精度不低于万分之二的光学低反射率测定仪测量膜层剩余反射率，应符合4.3.1的要求。4.9.2 使用白炽灯和10倍放大镜检验镀膜后端面表面疵病，按照

15、GB/T 1185-2006或MIL-PRF-13830B的要求判定，应符合4.3.2的要求。4.10 光学性能的测量4.10.1 按4.4.1的要求，使用计量检定合格的红外分光光度计测量Cr4+:YAG晶体的弱光透过率T0值。4.10.2 按4.4.2的要求，使用计量检定合格的红外分光光度计测量Cr4+:YAG晶体的弱光透过率不均匀性T0值。4.11 激光性能的测量若用户提出性能检验要求时，对4.5规定的参数进行检验，具体要求按Cr4+:YAG调Q元件激光性能检验规范执行。4.12 内部质量的测量若产品为非民品或要求高的出口产品时，采用20-50W聚光卤素灯（溴钨灯）透射光和8倍放大镜下在全

16、口径范围，对4.6.1和4.6.2规定的参数进行检验，并符合其要求。5 质量保证规定5.1 检验分类a) 质量一致性检验b) 检定检验5.2 检验条件除另有规定以外，各项检验均在下列环境条件下进行：温 度：1525相对湿度： 5080%大 气 压： 86106kPa5.3 质量一致性检验5.3.1 检验项目及要求见附录3或附录4。5.3.2 检验方案a) A组检验为100%检验；b) B组检验每年6月及12月各进行一次；c) C组检验分为两种情况： 对镀增透膜的棒（片），包括单点和双点增透，每一圈抽取1支YAG棒（片），用该片的剩余反射率反映本圈的剩余反射率情况。 对于镀全反或半反膜的棒（片）

17、，用每一圈陪镀1片YAG片作为监控片，用该片的剩余反射率反映本圈的全反或半反膜的剩余反射率的情况。d) D组检验每批进行一次，以每次生产的总数为一批次。参照国家标准计数抽样检验程序，采取正常检验二次抽样方案，并规定使用一般检验的水平，具体抽样方案如下：批量样本样本大小累计样本大小接收质量限（AQL）Ac Re28-226.50 1915第一第二22246.50 21 21625第一第二33366.50 21 22650第一第二555106.50 21 25190第一第二888166.50 33 491150第一第二131313266.51 34 5注：1. Ac-接收数； Re-拒收数2. 批

18、量28采取正常检验一次抽样方案判定方法：以样本大小为26-50为例说明：每批随机抽取5支/片样品，若5支/片全部合格则认为本批次全部合格；若有 2支/片或2支/片以上不合格时，则判定该批次全部不合格；如有1支/片不合格，进行第二次抽检。第二次抽检方案：再取出5支/片，如果抽检样本累计不合格数大于或等于2支/片，则认为全部不合格；如果抽检样本累计不合格数小于或等于1支/片则判定该批次全部合格。如果判定该批次合格，则除两次抽检不合格的晶体外，其余作合格处理；如果判定该批次不合格，则所有晶体除已检验合格的外，其余作不合格品处理。其它大小的样本判定方法参照上述方法。5.4 检定检验5.4.1 在以下情

19、况时进行检定检验：a. 新产品或老产品转场生产的试制定型检定时；b. 正式生产后，如材料、工艺有较大的改变，可能影响产品性能时；c. 顾客或第三方要求时。5.4.2 检定检验内容由晶体生长部、光学加工部、质量管理部共同制定，并且必须满足本标准第三节和第四节的要求。6 交货准备6.1 包装对产品进行包装时应使用专用包装盒，包装盒应满足长途运输及多次转运的要求，并具备防压、防潮、抗震和抗冲击的能力。6.2 储存应在无腐蚀、干燥通风的条件下储存。6.3 运输应用冲击振动小的运输工具或在采取抗冲击防振动的措施下运输。6.4 标志6.4.1 产品的专用包装盒上，发货标志应注明下列内容a 公司全称及企业标

20、识b 产品名称（材料）c 产品规格型号d 发货数量e 发货日期6.4.2 包装盒内应有产品合格证。6.4.3 所有激光棒和厚度尺寸2mm的晶体元件应用激光标刻机标记出厂编号。7 附录附录1：激光棒尺寸组合推荐系列附录2：静态脉冲测试点对照表附录3：激光棒质量一致性检验项目 附录4：调Q元件质量一致性检验项目制订：质量管理部本规定由质量管理部负责解释。附录1： 激光棒尺寸组合推荐系列（单位：mm） 长度 直径405055607080901001101201401501802.03.03.54.04.55.05.56.06.357.08.010.012.015.0附录2：静态脉冲测试点对照表直径（mm）长度（mm）产品特性输入能量测试点（第一点）折合能量（J）输入能量测试点（第二点）折合能量（J）475-15F*700V3.