三沟式氧化沟工艺 毕业设计

1、罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁

2、袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅

3、蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿

4、羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄

5、螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈

6、羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅

7、袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿

8、蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃

9、袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈

10、螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂

11、羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆

12、袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁

13、肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇

14、袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂

15、螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆

16、羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀蚄螃肄膀蒇虿肃莂蚃肈肂蒄薅羄肂薇螁袀肁芆薄螆肀荿蝿蚂聿蒁薂羁膈膁螇袇膇芃薀螃膆蒅螆蝿膆薈虿肇膅芇蒁羃膄莀蚇衿膃蒂蒀螅膂膂蚅蚁芁芄蒈羀芀莆蚃袆芀蕿蒆袂艿芈螂螈芈莀薅肆芇蒃螀羂芆薅薃袈莅芅螈螄羂莇薁蚀羁葿螇罿羀腿蕿羅罿莁袅袁羈蒄蚈螇羈薆蒁肆羇芆蚆羁羆莈葿袇肅蒀 毕业设计说明书 题 目: 氧化沟法处理城市污水工程学院(直属系): 年级

17、、 专业: 姓 名: 学 号: 指 导 教 师: 完 成 时 间: 目录摘 要 . 41前 言 . 52设计总则 . 62.1设计范围 . 62.2设计依据 . 62.3设计原则 . 63工程规划概况 . 73.1工程设计资料 . 73.2污水厂设计污水量 . 74城市污水处理方案的确定 . 74.1 确定处理方案的原则 . 84.2 工艺比选 . 84.3 具体工艺流程的确定 . 155主要构筑物的设计计算 . 165.1 进水格栅间的设计与计算 . 165.2 污水泵房的设计与计算 . 195.3细格栅的设计计算 . 245.4沉砂池的设计及计算 . 265.5配水井的设计计算 . 305

18、.6 三沟式氧化沟设计计算 . 315.7消毒剂的选择及设计计算 . 395.8 接触池的设计及计算 . 405.9计量槽的选择及设计计算 . 416 污泥脱水工艺流程的选择 . 436.1 污泥处理工艺流程选择 . 432 6.2污泥泵房的设计计算 . 446.3 污泥浓缩池的选择及设计计算 . 446.4贮泥池及提升污泥泵 . 466.5 污泥脱水机房 . 476.6鼓风机房 . 486.7厂内给水排水以及道路 . 487 污水厂总体布置 . 487.1概述 . 487.2 平面布置 . 497.3 高程布置 . 498 电仪表与供热系统设计 . 548.1 变配电系统 . 548.2 仪

19、表的设计 . 549 工程概预算及运行管理 . 549.1 生产组织 . 549.2 人员编制 . 549.3 安全生产和劳动保护 . 559.4工程概算 . 559.5 污水处理成本计算 . 579.6 安全措施 . 589.7 污水厂运行管理 . 589.8 污水厂运行中注意事项 . 5810结论 . 60总结与体会 . 61谢辞 . 62参考文献 . 633 摘 要本设计是污水处理厂的初步设计。该处理厂处理城市污水。根据设计要求，该污水处理工程进水中氮含量偏高，在去除bod5和ss的同时，还需要进行脱氮处理，故采用当代水处理工艺中常用的三沟式氧化沟工艺。本设计采用了三沟式氧化沟主体工艺，

20、工艺流程简单，省去了初沉池和污泥消化系统，节省了基建投资和运行费用，同时曝气设备和构造形式多样，运行灵活，管理方便，保证出水达到污水排放标准，做到了水资源的合理利用。关键词：三沟式氧化沟；脱氮；达标排放abstractthe design is the preliminary design of the sewage treatment plantthe treatment plant to treat municipal sewage. according to design requirements, the high nitrogen content in the influent of

21、 the sewage treatment works, the removal of bod5 and ss at the same time, the need for nitrogen removal process, it is the contemporary water treatment processes used in three oxidation ditch process. this design uses three oxidation ditch the main process, the process is simple, eliminating the pri

22、mary sedimentation tank and sludge digestive system, investment in infrastructure and operating costs savings, while the aeration equipment and construction of various forms, flexible and easy management to ensure that the effluent can meet the effluent standards, so that a reasonable use of water r

23、esources.key words: types of three ditch oxidizing ditch，nitrogen remvol，discharge to reach standard 4 1前 言水资源是经济可持续发展的基本保证，污水的任意排放或处理不彻底的排放，都会给水资源环境带来严重的污染问题。我国水体污染主要来自两方面，一是工业发展超标排放工业废水，二是城市化中由于城市污水排放和集中处理设施严重缺乏，大量生活污水未经处理直接进入水体造成环境污染。工业废水近年来经过治理虽有所减少，但城市生活污水有增无减，占水质污染的51%以上。本设计是在对某城市生活污水分析后，进行的一整

24、套污水处理厂的设计。其中，对进水水质、出水水质进行分析，对污水处理工艺流程的选择给予说明，对具体污水及污泥构筑物结构进行了详细计算。此次设计要求处理水量100000m3/d，其中工业污水和生活污水各占一半，利用三沟式氧化沟设计该污水处理厂。设计水质：bod5 100 mg/l，codcr 200 mg/l，ss 150 mg/l，氨氮 26 mg/l，总磷 10 mg/l。出水执行污水综合排放标准（gb8978-1996）一级标准。毕业设计对大学期间所学知识进行了综合运用和全面的总结，是教学计划不可缺少的组成的部分，也是大学学习的目标。通过毕业设计掌握贯通大学期间各科课程之间的联系。为毕业以后

25、从事污水处理方面的设计施工及管理打下一个良好的基础。由于缺乏实践经验，本设计书中有不当或纰漏之处，恳请各位老师及专家指出改正。并对在设计中给予我指导和帮助的各位老师表示衷心的感谢。 5 2设计总则2.1设计范围该污水处理厂是为了处理某城市生活污水和工业废水的。对污水厂的工艺选择、主要构筑物的尺寸做出详细的说明和计算，并选出主要的机械设备，确定构筑物的平面布置、高程布置。对厂区其他辅助建筑物只划定区域面积，提出建议性使用性能，不做具体设计，并对污水处理厂进行粗略进行人员定制和投资估算。2.2设计依据中华人民共和国水污染防治法(自2008年6月1日开始实施)地表水环境质量评估(gb 3838-20

26、02) (自2002年6月1日开始实施) 城镇污水处理厂污染物排放标准(gb 8918-2002)室外排水设计规范(gb 50101-2005)城镇污水处理厂附属建筑和附属设备设计标准(cjj 31-89)给水排水设计手册第五册污水处理厂工艺设计手册污水处理厂污泥处理处置最佳可行技术导则给水排水标准规范实施手册室外排水工程规范环境保护设备选用手册水处理设备2.3设计原则(1) 执行国家关于环境保护的政策，符合国家地方的有关法规、规范和标准；(2) 采用先进可靠的处理工艺，确保经过处理后的污水能达到排放标准；(3) 采用成熟 、高效、优质的设备，并设计较好的自控水平，以方便运行管理；(4) 全面

27、规划、合理布局、整体协调，使污水处理工程与周围环境协调一致；(5) 妥善处理污水净化过程中产生的污泥固体物，以免造成二次污染；(6) 综合考虑环境、经济和社会效益，在保证出水达标的前提下，尽量减少工6 程投资和运行费用。 3工程规划概况3.1工程设计资料该污水处理厂处理水量100000m3/d，其中工业污水和生活污水各占一半。 设计水质：bod5 100 mg/l，codcr 200 mg/l，ss 150 mg/l，氨氮 26 mg/l，总磷 10 mg/l。出水执行污水综合排放标准（gb8978-1996）一级标准。3.2污水厂设计污水量已知平均流量q=100,000 m3/d=1.157

28、m3/s=1157 l/s查gb500142006室外排水设计规范知： 1157s>1000ls则 总变化系数kz=1.3， 最大日污水量:33本次设计进出水水质如下表所示:表3-1 污水厂进出水水质 4城市污水处理方案的确定7 4.1 确定处理方案的原则确定污水处理方案的原则:(1)城市污水处理应采用先进的技术设备，要求经济合理，安全可靠，出水水质好；(2)污水厂的处理布局合理，建设投资少，占地少；(3)要求节能和污水资源化，并且最大限度的处理水能回用；(4)提高自动化的程度，为科学管理创造条件；(5)为确保处理效果，采用成熟可靠的工艺流程和处理构筑物；(6)污水采用季节性消毒；(7)

29、提高管理水平和保证运转中最佳经济效果；(8)查阅相关的资料确定其方案。4.2 工艺比选对几种常见的生物处理工艺进行比较：传统活性污泥法，a-b两段曝气法，a/o脱氮工艺，氧化沟，a2/o工艺，sbr法。（1）传统活性污泥法这是以传统活性污泥法处理城市污水的典型工艺。其特点是好氧微生物在曝气池中以活性污泥的形态出现，并通过鼓风机曝气供给微生物所需的足够氧量，促使微生物存在和繁殖，以分解污水中的有机物。a 工艺特点利用曝气池中的好氧微生物，来分解污水中的有机物质。混合液沉淀分离，活性污泥回流到曝气池中去，原污水从池口进入池内，回流污泥也同步注入，废水在池内呈推流形势流动至池的末端，流出池外至二沉池

30、。a 优点：该工艺对污水的bod和ss总处理效率均为90%95%，处理效果好； 运行可靠，出水水质稳定；适宜处理大量污水，所以多用于大中型污水处理厂。b 缺点：运行费用高，在曝气池的末端造成供氧的浪费，故提高了运行成本； 基建费用高，占地面积大，对水质、水量变化适应能力低；由于沉淀时间短和沉淀后碳源不足等情况，对于n、p的去处率低。8 b 适用条件：不要求脱氮除磷的大型和较大型污水处理厂。c 工艺流程见下图： 图4.1 传统活性污泥法工艺流程图 （2） ab曝气法ab法是吸附生物降解法的简称，是原联邦德国亚琛工业大学bohnke教授于70年代中期所开发的一种新工艺。该工艺不设初沉池，有机污泥负

31、荷率很高的a段和污泥负荷率较低的b段两极污泥系统串联组成，并分别有独立的污泥回流系统。a 工艺特点：a-b工艺由a，b两端串联的活性污泥法组成，a段在厌氧和兼氧的条件下，进行高负荷曝气，一般曝气时间为0.5h，去除bod5。b段在好氧条件下，进行低负荷曝气，曝气时间一般为26h。ab工艺对bod5和ss的去处率均为90%95%，对n，p的去除率取决于b段采用的工艺。a 优点：该工艺对污水的bod和ss总处理效率均为90%95%，处理效果好； 基建费和运行费用较活性污泥法低15%左右；运行稳定，出水水质好。b 缺点：与传统法相比，a-b法多了污泥回流系统，而且产泥量较大；由于泥量大，故增加了污泥

32、处理处置费用，同时运行管理较复杂；脱氮效果虽然有所提高，但由于污泥龄太短，仅靠吸附作用远不能达到脱氮除磷的要求。b 适用条件：适用于原水有机物浓度高并且不要求脱氮除磷的，或者需要逐步提高处理标准的大型和较大型污水处理厂。c 工艺流程见下图：9 图4.2 ab法工艺流程图 （3）a/o脱氮工艺a/o脱氮工艺的功能是去处有机物和脱氮。a 工艺特点：该工艺将曝气池分为前段缺氧和后段好氧段。缺氧段不曝气，采用浸没式搅拌，do不大于0.5mg/l。好氧段进行曝气充氧，do等于2 mg/l左右，在好氧段污水中的有机碳得到生物氧化降解，同时有机氮转变成nh3-n，并被硝化，将好氧段含大量nox-n的混合液部

33、分回流到前段缺氧段，在反硝化菌的作用下，利用进水中的bod5作为碳源，将nox-n还原成n2在水中溢出，从而实现脱氮，然后进入好氧段去除污水中的有机物和nox-n的硝化。a 优点： 该工艺对污水的bod和 ss总处理效率为90%95%，总氮的处理效率为70%以上； 流程简单，构筑物少，只有一个污泥回流系统和混合液回流；b 缺点： 主要缺点是对p的去处率很低；10 反应池和二沉池较活性污泥法大幅增加； 污泥回流量大，能耗较高； 用于中小型污水处理厂费用偏高。b 适用条件：该工艺一般适合于南方对出水水质要求脱氮的大中型城市污水处理厂。c 工艺流程见下图： 图4.3 a/o脱氮工艺流程图 （4）a/

34、o除磷工艺a/o除磷工艺的功能是去处有机物和脱氮。a 工艺特点：该工艺将曝气池分为前段缺氧和后段好氧段。缺氧段不曝气，采用浸没式搅拌，do不大于0.5mg/l。好氧段进行曝气充氧，do在2 mg/l左右，在好氧段污水中的有机碳得到生物氧化降解，同时聚磷菌释放磷，在二沉池中对剩余污泥进行排放，达到除磷的效果。a 优点： 去除有机物的同时可生物除磷； 污泥沉降性能好； 污泥硝化达到稳定； 沼气可以回收。b 缺点： 生物脱氮效果差； 沼气回收利用经济效益差污泥渗出液需化学除磷。b 适用条件：该工艺一般适合于南方对出水水质要求脱氮的大中型城市污水厂。11 c 工艺流程见下图： 图4.4 a/o除磷工艺

35、流程图（5）a2/o 工艺 a 优缺点 a 优点：本工艺在系统上可以称为最简单的同步脱n除p工艺；总的水力停留时间少于其他同类工艺；在厌氧（缺氧），好氧交替运行条件下，丝状菌不能大量增殖，无污泥膨胀之忧；厌氧、缺氧、好氧三种不同的环境和不同的微生物种群的有机配合，能同时去除有机物和除磷脱氮的功能；脱氮效果受回流液比大小的影响，除磷效果则受回流污泥中夹带的do和硝酸态氧的影响。 b 缺点：除磷效果很难提高，污泥增长有一定的限度，不易提高。脱氮效果有也难以进一步提高，内循环量一般以2q为限，不宜太高； 进入沉淀池的处理水要保持一定的do，减少停留时间，防止产生厌氧状态和污泥释磷现象的发生；但do浓

36、度不宜太高，以防循环混合液对缺氧反 应器的干扰；b 适用条件：要求脱氮除磷的大型和较大型污水处理厂。 c 工艺流程见下图： 12 图4.5 a2/o 工艺流程图（6）传统sbr工艺传统sbr工艺也叫间歇式活性污泥法。 a 特点: a 优点： 流程十分简单，管理方便； 合建式，占地省，处理成本较低； 有脱氮除磷功能，处理较好； 污泥同步稳定，不需厌氧消化； b 缺点： 间歇周期运行，对自控要求高； 变水位运行，电耗量高； 脱氮除磷效果不太高； 污泥稳定性不如厌氧消化。 b 适用条件：中小型污水处理厂。 c 工艺流程见下图：图4.6 传统sbr工艺流程图（7） 氧化沟根据构造特征和运行方式的不同，

37、常用的氧化沟系统有以下几种： （一）carrousel是氧化沟carrousel是氧化沟是一个多沟串联系统，在每一个沟渠安装一台表面曝气器，靠近曝气的下游为富氧区，而曝气器的上游为低氧区。外界还可能成为缺氧区，有利于形成生物脱氮的条件，脱氮除磷效果好。（二）orbal型氧化沟orbal型氧化沟由多个同心的椭圆形或圆形沟渠组成，污水与回流污泥均进入13 最外一条沟渠，在不断循环的同时，依次进入下一个沟渠，它相当于一系列完全混合反应池串联而成，最后混合液从主要技术参数出如表5-5所示：表4-1 氧化沟工艺主要技术参数表14 氧化沟氧化沟工艺流程图 d 适用条件：适用于大中型污水处理厂。通过以上比较

38、，本设计采用三沟式氧化沟工艺。 4.3 具体工艺流程的确定由于本设计的设计规模为100000 m3/d,，属于大型污水处理厂，按设计要求采用三沟式氧化沟工艺，具体流程图如下： 15 图4.8 氧化沟工艺流程图 5主要构筑物的设计计算5.1 进水格栅间的设计与计算格栅是由一组平行的金属栅条或筛网组成，安装在污水管道、泵站、集水井的进口处或处理厂的端部，用以截留较大的悬浮物或漂浮物，以便减轻后续处理构筑物的处理负荷。截留污物的清除方法有两种，即人工清除和机械清除。大型污水处理厂截污量大，以减轻劳动强度，一般应用机械清除截留物。因此，本设计选用机械清除。本设计采用两道格栅，一道粗格栅、一道细格栅。粗

39、格栅设于污水泵站前，细格栅设于污水泵站后。本设计设计两组组格栅。（1） 设栅前水深h=0.4 m，过栅流速取v=0.9 m/s，用中格栅，栅条间隙n= qmaxbhv16 b=0.02m，格栅安装倾角=60°。栅条间隙数;栅槽宽度;b=s(n-1)+bn式中：b栅槽宽度，m（栅槽宽度一般比格栅宽0.2m 0.3m,取0.2m）;s栅条宽度，m;b栅条间隙，15-35 mm;n格栅间隙数；qmax最大设计流量，m3/s；倾角；60度；h栅前水深，取1m;v过栅流速，m/s，取0.81.0 m/s，取0.9m; q1.504n=36 bhv0.02´1´0.9

40、0;2 设s=0.01，则b=s(n-1)+bn=0.01´(36-1)+36´0.02=1.07m 取b=1.1m（1）进水渠道渐宽部分的长度 l1=b-b12´tga式中： l1进水渠道渐宽部分的长度;m.b1进水渠道宽度，取0.8m其渐宽部分展开角度，取20°；l1=b-b11.1-0.8=0.41m 2´tg¶2´tg200（2）栅槽与出水渠道连接处的渐窄部分长度l2=l1/2式中：l2栅槽与出水渠道连接渠的渐缩部分长度，m。l0.41l2=1=0.21m 2217 （3） 通过格栅的水头损失设格栅为矩形锐边断面取k

41、=3h1=kh0 式中：h1过栅（设计）水头损失，m； h0计算水头损失，m；g重力加速度，9.81m/s2； k系数，一般采取3；s4阻力系数，与栅条断面形状有关，=()3,当为矩形断面时，bh0=xv22´gsina=2.42为避免造成栅前涌水，故将栅后槽底下降h1为补偿。 所以：0.92æsövæ0.01öh1=bç÷sin¶k=2.24´ç´sin60´3=0.0879 ÷´2´9.81èbø2´gè

42、;0.021ø43243（5） 栅后槽总高度h设栅前渠道超高h2=0.3m；h=h+h1+h2=1+0.0879+0.3=1.3879m 取1.4m（6） 栅槽总长度l，m：l=l1+l2+1.0+0.5+h tg60式中h1为栅前渠道深， h1=h+h2,mh=h+h2=1+0.3=2.3ml=l1+l2+0.5m+1.0m+h12.3=0.41+0.21+0.5+1.0+=3.44m tg¶tg600（7） 栅槽总宽度b0=3b=3´1.1=3.3m18 （8） 每日栅渣量q´w864001´ w = max kz式中：w每日栅渣量，m3/

43、d;w1栅渣量,m3/103m3污水，格栅间隙为16 25mm时，=0.103330.03污水；格栅间隙为30 50mm时，w1=0.030.10m/10m污水。本设计格333w1m/10m污水。栅间隙21mm,取=0.07（取0.1-0.01）； w1/10kz生活污水流量总变化系数。在格栅间隙为20mm每1000 m3污水产0.03 m3。86400´0.07´1.50433w=6.99m/d0.2m/d 1.3´1000采用机械清渣。通过以上计算，本设计选用回转式平面格栅，fh-2400，参数规格见下表：表5-1 fh-1400回转格栅参数 5.2 污水泵房

44、的设计与计算5.2.1.泵房设计及计算城市污水处理厂的运行费用大部分来自于电能，其中40%的电能为水泵消耗，所以，确定合理的水泵及水泵站是污水处理厂的关键所在。(1)污水泵站的特点及形式泵站形式的选择取决于水力条件和工程造价，其它考虑因素还有：泵站规模大小、泵站的性质、水文地质条件、地形条件、挖渠及施工方案、管理水平、环境性质要求、选用水泵的形式及能否就地取材等。污水泵站主要形式：合建式矩形泵站，装设立式泵，自灌式工作台，水泵数为4台或更多时，采用矩形，机器间、机组管道和附属设备布置方便，启动简单，占地面积大；合建式圆形泵站，装设立式泵，自灌式工作台，水泵台数不超过4台，圆形结构水力条件好，便

45、于沉井施工法，可降低工程造价，水泵启动方便。19 对于自灌式泵房，采用自灌式水泵，叶轮（泵轴0）低于集水池最低水位，在最高、中间和最低水位都能直接启动，其优点为启动及时可靠，不需引水辅助设备，操作简单。非自灌式泵房，泵轴高于集水池最高水位，不能直接启动，由于污水泵水管不得设蝶阀，故需设计水设备，但管理人员必须能熟练的掌握水泵的启动程序。由以上可知，本设计因水量大，并考虑到造价、自动化控制等因素，以及施工的方便与否，采用自灌式半地下式矩形泵房。(2) 泵站的布置该污水泵站设在污水处理厂内，与其它构筑物统一布置，为防止噪声污染，应用绿化带和公共建筑隔离，隔离宽度一般不小于30米。泵站进出口比室外地

46、面高0.2米以上。每台泵应设置单独的吸水管，这不仅改善水力条件，而且可以减少杂质堵塞管道的可能性。(3)泵房内部的排水由于泵房较深，采用电动排水。(4)泵房的通风设施自然通风、机械通风。自然通风：采用全部自然通风布置特点，要有足够自然通风要求，适用于地面泵房或埋深较浅的低下式或半地下式泵房。机械通风：采用全部机械通风和部分机械通风。 部分机械通风机械将电机排出的热风抽出，冷空气自然补充。机械排风可以分别是为电机分别排风。也可以多台电机组成排风系统。使用较广泛，一般用于半地下式泵站。(5) 污水泵站选泵应考虑因素 选泵机组泵的总抽升能力，应按进水管的最大时污水量计，并应满足最大充满度时的流量要求

47、； 尽量选择类型相同和相同口径的水泵，以便维修，但还须满足低流量时的需求； 由于生活污水，对水泵有腐蚀作用，故污水泵站尽量采用污水泵，在大的污水泵站中，无大型污水泵时才选用清水泵。(6) 选泵具体计算泵站选用集水池与机器间合建式的矩形泵站。 流量的确定qqmax=1504l/s本设计拟选用7台泵（5用2备），则每台泵的设计流量为：20 q=qmax/4=1504/5=301.00l/s 集水池容积va 泵站集水池容积一般取最大一台泵56分钟的流量设计v=301.0´5.5´60¸1000=99.33m3 取v=100m3，b 有效水深h为3 m，则水池面积f为:

48、v100=33.3m2h 3.0 f=（3）扬程的估算h= h h 静 + 2.0 + 1.0式中：2.0水泵吸水喇叭口到沉砂池的水头损失；1.0自由水头；h静水泵集水池的最底水位h1与水泵出水管提升后的水位h2之差； h1=进水管底标高+ h 集水池有效水深=279.413+3.4-3=279.813 mh2=接触池水面标高+沉砂池至接触池间水头损失=286.5+4.5=291.0m 沉砂池至接触池间水头损失为3.54.5米，取4.5 m则：h2 =286.50+4.5=291.00mh静= h2 - h1=291-279.813=11.20则水泵扬程为：h=h静+2.0+1.0=11.20+2.0+1.0=14.20 m 取15 m。通过以上计算，本次设计选择的污水泵参数如下：由q=304.25l/s=1095.3m3/h ，h=14 m，可查手册 给水排水快速设计手册04给水排水设备 得：选用250wdl型立式污水泵，其各项性能如下：表5-2 泵的选择参数 5.2.2水泵机组基础的确定和污水泵站的布置（1） 水泵机组基础的确定机组安装在共同基础上，基础的作用是支撑并固定机组，使之运行稳定。不致发生剧烈震动，更不允许发生沉降，对基础的要求： 坚实牢固，除能承受机组静荷载外，还能承受机械振动荷载。21 要浇制在较坚实的地基上，以免发生不均匀沉降或基础下沉。