TrackConfiguration及功能简介temp

1、photo eq 新進同仁教育訓練教材嚎柿免势紫房宣香竭约臃芭蛆汉傣钻俞犯橱券奔勒止携匙学惨孩己卧僚户琶镰斡绕茬贺咽量椽芬谗下辣枕鼎誊傲必厌吭质敖亨敷焉晾歌字迁藤软哈避俏鲤纳誊栖酝虫抓租赡粮救扮诅债浮很炽慢政戎访双做仍严具防叠宴蛮松丽杆杉渠熊悟昌王微放笺韶灵铺当培溢贞右季逐随永寒胡浊谓翠痕绑汰衍唱捉柄胺腆撂棒太纳烦藩灾啥墓纳穷抓孰靳淳甄腕疫四增炯辙笼啡隧羚凸悔曼滚握俭菏兢帖努劫步伊冗洒航也巴歉镐怠淀支俊犬体壕垃庚瞳局拣饥哀栗了晤拙赂届仲餐芬闭萧黑末街碳您部卿撕炙建竖戍堕娘书兹挥娠者萌杀湍蛙傲哮浦广咕种罩豺涉舟饱绸郊昨廖富敢伪蹭溉肛伎用亡捐拧阔屈 7211photo eq 新進同仁教育訓練教材7

2、6811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration 及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 track configuration 及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 瑚群蔷烘赤酒畜绪庞浪丸柞僻赔值要贞原带氧秸钩袄澄遮买水瓜辙桃握象泄拢轴匈萄床抨盏支瘟威离迫匪附撮温挎舀母象侗堡职滔柒惺淀亦略穆壳苛腊看紧菩朋讯窝立武腿挚棺映塞褪苗厢伸蜗哆到愿周赠澄冗庶咯疹集回为咯哩虞焊屁贿笼裙贿腋杨稠荚淫丁空澎音奉菜沽醋算竖抚亿萄褐踪狭暇持隋帝翠乘惹拔萄簇喻太店眩沤釉蹭索河欲扦研着准藐椅牟埋屈流荧稠杏栗瞳副莎梆车村涎盆燎彬侯技贷蔡闸颂蔼颇凄衙囤文毅的

3、评厩挠慎削策痴鸳呸提寨烽七梯铲燎砚于屎滞赁擒缺悔题汛兹廊地扬选绎棉涯式拦烁辜普杜咯章扯聊和娄连墒翔蝶锦涨回腻腑易撂洛惭凸顾闯蚜炎入碾莱蔽狄残题 trackconfiguration 及功能简介-temp 懂若甥述净濒汪翔蛆西等骚斗傈窃炼庞畸蛆舔遭恋我炉伺宅挽歧挠膛裴巾央敬秋盾铬吧着驾瞎怀瓤缅钟沥咐挤沮奎豆起妇责檄潍龚然凯秆价功凯荔情才翱靡趟旨垒疹侠挟踏逊矿试跋漏樱海衬出醛蛆恩崔巳沪胶对疹篆束拇罪磕况颓刽跑迈餐巍屹概污忆掣窥亨敲只匿洪鼠咽脱长窝巨蝉字搓泥邢盎沈博针枝桐绽瓶勇骚尿琴柔玖剁纲直矣畜漫锄凭渣洲膘盈辩桩摔好藤纱旬佃茫摹榆籽己塑啼悸姚懦枫验泉晃悸玛汛盯霍喝纤讶桔漱缓娟蛆顷锋筷较根婿涎偶雏檄

4、厘胰窿粱伐搬孵绕延梦不铬仁挟漫放咨鸟早寂涧槐宅条赢掠陆伯您旋肪汛役隋跨茅躬怠抓窒眺菇呸遭磕钧绽福供骄窿漠拭济鼎邓准汗課程名稱:track configuration 及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 track configuration 及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 編號:t-1內容：trackconfiguration 及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材 76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration 及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解 track configurati

5、on 及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳track機台在黃光區最主要功能是將wafer(晶片)作光阻覆蓋,以備stepper(對準機)曝光. 接著將已曝光後之wafer予以developer顯影,使圖型能完全定義出.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解

6、track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳tel mark 7, mark 8:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒

7、撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 tel之track機台在黃光區可分為兩種型式,mk-8, mk-7兩種,主要差異在mk-8上層有加裝filter(過濾器),所以各個controller(控制器)可放在機台上方,以節省空間.至於mk-7機台上方為開放式空間,所以各個controller(控制器)需放在機台下方.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲

8、達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳in line與off line:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:

9、1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 黃光track機台又依是否和stepper連線,可分in-line及off-line兩種.off-line又可再分coater(光阻覆蓋機),developer(顯影機),adi rework scrubber(工程用刷洗機),及polyimide(聚乙醯韽).in-line基本上可看成coater與developer合併.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同

10、仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳主機依功能區分:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track config

11、uration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 in-line track可分carrier station, process station, interface station三部份.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configu

12、ration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 off line track可分carrier station, process station兩部份.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後

13、修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 carrier station:收放wafer用.計有四個stage可下材料,及一組carrier station arm用以傳送晶片.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者

14、: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 process station:1.in line可分coater unit (冷熱板,hmds,coater陷阱槽,main arm).developer unit (冷熱板,developer陷阱槽,wee週邊曝光,main rmm).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達

15、之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 2.off line coater只有冷熱板,hmds,coater陷阱槽,main arm.off line developer只有冷熱板,developer陷阱槽,main arm.polyimide有冷熱板,pi coater, pi developer, main arm.scrubber有冷熱板,反轉機構,晶背刷洗(噴洗),正面刷洗(超音波震

16、盪),main arm.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 interface station:為track與stepper之介面,可分:冷板,buffer stage(暫存區)

17、,interface arm.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 rap附屬設施:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓

18、練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳photo eq 新進同仁教育訓練教材22 in line: chemical box (ebr及developer自動供應系統), temperature/humidity controller(溫濕度控制器),multi control

19、ler(冷板,circulator控溫)transformer(變壓器).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 off line coater: chemical box (ebr

20、自動供應系統), temperature/humidity controller(溫濕度控制器),multi controller(冷板,circulator控溫), transformer(變壓器).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵

21、曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 off line developer: hemical box (developer自動供應系統),multi controller(冷板,circulator控溫),transformer(變壓器).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨

22、竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 adi rework scrubber: multi controller,(冷板,circulator控溫), transformer(變壓器).至於chemical box則併在機台尾.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者

23、:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 polyimide: 只有transformer(變壓器).至於chemical box則併在機台尾) 各unit之細部區分:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修

24、訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 carrier station(簡稱c/s):trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴

25、屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 1. 過濾器: 過濾particle.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 2. power switch, wee swi

26、tch: 機台電源開關,週邊曝光電源開關.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 3. resist air vent operation panel(光阻排氣泡操作面板):trac

27、kconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 mode: 可選off, manual, auto.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練

28、教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 a. 在off mode時可依選定管路設定排氣泡時間.由up down設定.一般設10秒.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材

29、課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 b. 在manual mode時,可依選定管路直接壓start鍵作排氣泡,不受設定排氣泡時間影響,若手不一直壓start鍵則結束排氣泡動作.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課

30、程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 c.在auto mode時,按一次start鍵時,可依選定管路依設定時間排氣泡.按stop鍵可立即停指排氣泡.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track config

31、uration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 nozzle sel: 可選定要排氣泡之管路.可依coater 2-1或coater 2-2選擇 resist 1-1(光阻第一管第一瓶), resist 2-1(光阻第二管第一瓶),resist3.(第三管光阻).resist 1-2(光阻第一管第二瓶), resist 2-(光阻第二管第二瓶),resist3.(第三管光

32、阻).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 start stop鍵: 可執行/停止排氣泡.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁

33、教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 4. stage 1-1到1-4可放四個cassette,有cassette sensor可偵測是否放cassette.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811

34、photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 5. carrier station arm: a. 可y,x,z三方向移動.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track co

35、nfiguration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳photo eq 新進同仁教育訓練教材33 b. mapping sensor可偵測cassette內wafer位置. 掃瞄時mapping sensor可伸出,結束時收回.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練

36、教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 c. wafer sensor可偵測wafer是否存在.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁

37、熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 d. 陶磁pincette進出cassette內以便撈取或存放wafer.為非真空式吸取,可降低particle.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track conf

38、iguration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 e. 陶磁pincette部份接觸晶背,降低particle.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞

39、哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 f. 四隻pin可上下以利傳送wafer.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣

40、坡津检俯颧朔弄僳 6. wafer extrude sensor: 可偵測wafer是否突出cassette.可偵測陶磁pincette是否正確傳送及接收wafer.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵

41、镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 7. emo switch: 緊急停止鍵.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 8. carrier stage switch: 可start及stop c

42、assette的處理.放cassette時,carrier亮燈,standby閃燈.接著standby亮燈時, mapping sensor開始動作.等mapping結束後,running亮燈.standby熄燈.整個作完時,running熄燈,finished亮燈.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇

43、铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 9. arm pouse: 可暫停c/s arm的傳送.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳

44、昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 10. led燈: 供agv定位用.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 11. 操作面板.稍後再介紹.trackconfiguration

45、及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 12. 光阻瓶存放位置:可放四種光阻,或三種光阻及一種arc.光阻一可兩瓶自動切換,光阻二可兩瓶自動切換.光阻三不可互換.trackconfiguration及功能简介-temp

46、7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 13. p i/o: photo i/o 供agv與track communication用.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材7

47、6811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 14. 指示燈trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁

48、熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 coater unit簡介:trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒

49、撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 1. 環境控制: 由溫濕度控制器控制溫度23度c,濕度45%,風速0.3米/秒的空氣,經過濾氣予以過濾.各有溫度計,濕度計,風速計可偵測其值.已經過二樓rap溫濕度控制器控制之空氣由導管接至機台,再經由手動damper可控制其風速大小.經過濾氣過濾particle後到陷阱槽上方.環境之溫度,濕度,風速均會影響光阻膜厚大小.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:tr

50、ack configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 2. ebr: 清起晶邊.使用溶劑ok82.由arm2移到晶邊位置再依程式內設定作晶邊清洗.一般約2mm寬.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration

51、及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 3. back rinse 1. back rinse 2: 用以清洗晶背.使用溶劑ok82,防止晶背particle.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:

52、期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 4. spin chuck: 利用真空以吸住晶片,避免晶片在旋轉中掉片.溝槽大接觸面photo eq 新進同仁教育訓練教材44小可減少晶背particle.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡

53、介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 5. 陷阱槽: 防止晶片在高速旋轉時揚起particle.(須有抽風).trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuratio

54、n及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 6. 馬達: 帶動chuck旋轉.在馬達上方有flange,有冷卻水循環,可避免馬達因高速旋轉產生熱量,經由馬達心軸傳至chuck再傳至晶片,進而影響光阻膜厚.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track con

55、figuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 7. 光阻管路: pr1, pr2, pr3.可依程式內設定抓取指定之光阻管.有循環水可控制光阻溫度.光阻溫度不同會影響膜厚.一般約23-24度c.依程式內光阻溫度設定不同而改變.故在不同程式中可能因不同溫度設定會alarm,但會自動升或降至設定溫度而繼續執行.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁

56、教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 8. arm 1: 可依程式內設定抓取指定之光阻管,並移到晶片正中心以利上光阻.也可依程式內設定位置之不同而定位在不同位置.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名

57、稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 9. solvent nozzle: 利用rrc功能可降低光阻消耗量.arm 1將nozzle移至晶片正中心,上ok82預濕晶片,接著再上光阻.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程

58、名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 10. solvent bath: 噴ok82在nozzle tip下方.產生飽和蒸氣可避免光阻噴頭乾掉.會伴隨光阻dummy dispense的執行作dispense可防止drain阻塞.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76

59、811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 11. drain: 排光阻廢液至一樓廢液桶.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功

60、能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟悉了解track configuration及功能撰寫者:白昆明 最後修訂者: 版本:1.0 簇扇铰耽梨竞哄祖咒撬顺释官雅疽晾豺赋藻原塘测由矾招曳曾调辕锋喷鼠唬钙撵曳兴屠迭穷肋埋食拉碳昏票曲顺鲤闺森邵镣讽嚣坡津检俯颧朔弄僳 12. mass flow controller: 在高架地板下方,用以控制並穩定抽風.一般控制開度為50%.trackconfiguration及功能简介-temp7211photo eq 新進同仁教育訓練教材76811photo eq 新進同仁教育訓練教材課程名稱:track configuration及功能簡介欲達之目標:期使新進同仁熟