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文档简介
1、中华人民共和国国家标准高 纯 氩GB/T 10642-1995代替 GB10642-89GB10625-891主要内容与适用范围本标准规定了高纯氩技术要求,检验方法、验收规则以及包装、标志、贮存、运输。本标准适用于深冷法从空气、合成氨尾气中提取的气瓶包装的高纯气态氩。高纯氩主要用作半导体工业,稀有金属、有色金属的冶炼、焊接中的保护气,特种灯泡的充填气, 气相色谱分析用载气及配制标准气的底气等。分子式:Ar相对分子质量:39.948 (按1991年国际相对原子质量)2引用标准G3190危险货物包装标志GB5099钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体中微量水分的测定 电解法GB/T5832.2气体
2、中微量水分的测定 露点法GB/T6285气体中策量氧的测定 电化学法GB7144-86气瓶颜色标志GB/T8981气体中微量氢的测定,气相色谱法GB/T8985气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定,气相色谱法3技术要求高纯氩的质量应符合表的要求。项目指标优等品一等品合格品氩纯度,10-299.9996P99.999399.999氮含量,10-6245氧含量,10-6112氢含量,10-6 10.5P11总碳含量(以甲烷计),10-60.512水分含量,10-6 112.64注:表中纯度和含量为体积分数(V/V) 液体氩纯度未扣除水分含量。4检验方法4.1纯度氩的纯度按下列计算:;:
3、=100-(打2 3 4)10*(1)式中:-氩的纯度(体积分数),10-21-氮的含量(体积分数),10-61996-08-01 实施国家技术监督局限性1995-12-20 批准1GB/T10624-199562 -氧的含量(体积分数),10-6:3 -氢的含量(体积分数),10:4 -总碳的含量(体积分数),1064.2氮含量的测定4.2.1 方法和原理采用气相色谱法、电子迁移检测。单原子的氩载气将样品气带入色谱柱内进行分离,分离后从柱内流出的双原子(如2)或多原子(如CH)分子组分进入设置有氚源的电子迁移检测器时,检测器中的自由电子与这些组分子进行非弹性碰 撞,电子就失业了能量,电子沿阳
4、极方向上的迁移速度就增大,捕集的电子就多,电流就增加。在选定 适宜的温度、压力、电场强度下,电流的增加与组分含量(在一定范围内)成正比,由此测定氮组分的 含量。4.2.2分析仪器采用电子迁移气相色谱仪,要求对氮的检测限应小于0.5 X 10-6。含氮量在10 X 10-4以下呈线性响应。以氩气为载气,净化后含氮量应小于0.2 X 10-6。电子迁移气相色谱仪示意流程如图1所示。图1气相色谱仪流程图1-载气气瓶;2-针形阀;3-纯化器;4-六通阀;5-量管;6-色谱柱;7-检测器;8-流量计;4.2.3 分析前的准备4.2.3.1色谱柱的准备将色谱分析用的250600 m13X分子筛装入内径 4
5、mm长120mm不锈钢管内,于300C通氩气活化 3h。4.2.3.2纯化器的准备将约150g250400卩m 锆铝-16合金装入纯化器中,在 750活化2.5h锆铝-16合金可以多次活化,反复使用,直至失效。纯化器活化周期,仪器常开,一季度活化一次,仪器不常开,半年至一年活化一次。4.2.3.2仪器的试漏色谱系统中的阀门和所有接头处应无泄漏,否则由于空气中的氮组分渗入而使测量结果不准,所以必须对系统进行严格的试漏,其方法如下:先将整个色谱系统用氩气升压至0.15MPa保压4h,如压力表示值不变,则阀门和接头气密性良好,若压力表示值随保压时间延长而逐淅减少,则阀门和接头有微小渗漏,需拧紧阀门固
6、定螺丝及各气路接头,重新保压试验至示值不变为止。4.2.3.3取样设备a. 取样阀,用死体积小的针表阀。b. 取样管,一般采用长 1.5m左右,内径小于 2 mm的不锈钢管或铜管,洗净吹干。4.2.4 测定4.2.4.1 仪器启动按仪器说明书启动仪器,按分析要求选定操作条件。4.2.4.2 样品分析待仪器基线稳定后,分别将待测样品气和标准气配制以氩气为底气的气瓶装氮标准气,含量(3X 10-65X 10-6用针形阀及金属管道连接到仪器的“样品”入品处,采用三次升、降压法置换吹洗瓶阀、针形阀及其管道,用针形阀按说明书调节流量,然后切换六通阀进样,测出样品气和标准气氮峰峰高, 重复进行二次,单个值
7、与平均值的相对偏差不得大于10%取平均值进行计算。4.2.5 计算方法* h2h26式中:1 样品气中氮组分含量(体积分数),10-;6;:2 标准气中氮组分含量(体积分数),10-;h1 样品气中氮峰峰高,mmh2标准气中氮峰峰高,mm4.2.6 注意事项4.2.6.1由于本方法要求仪器气密性高,故系统中所有卡套接头都要拧紧。所有连接管道理口应无毛刺 与卡套接触部位应光滑无划痕,以防漏气,若色谱系统检修后,必须经过严格试漏。4.2.6.2 检测器温度不得超过 100 C,不能对检测器抽真空,以防止氚从底层上脱附,影响检测器性能 及污染环境。4.2.6.3载气放空一定要排出室外。4.2.6.4
8、 必须保证驱动气压力,六通阀方可正常工作,停机时应放掉驱动气压力,以免损伤膜片。4.2.7 允许采用符合本标准要求的其它分析仪器测定。4.3氧含量的测定按GB/T6285执行。4.4氢含量的测定按GB/T8981执行。4.5总碳含量的测定按GB/T8985执行。4.6水分的测定按GB/T5832.1执行或按 GB/T5832.2执行。5检验规则5.1高纯氩由生产厂的质量检验部门检验,并保证其产品质量符合本标准要求。5.2高纯氩由质量按逐瓶逐项指标检验。5.3当检验结果有一项指标不符合本标准要求时,则该瓶产品不合格。5.4用户亦按照本标准规定验收。5.5用户和生产厂对产品质量发生意见分歧时,由双
9、方共同检验或提请仲裁。6标志、包装、运输、贮存 6.1高纯氩气的标志、包装、运输、贮存应符合国家气瓶安全监察规程和危险货物运输规则的规定。6.2高纯氩气瓶包装标志应符合GB190规定,颜色标记应符合 GB7144的规定。6.3高纯氩气瓶最高允许压力应符合GB5099的规定。6.4压力检验:在20C时,气瓶中高纯氩压力为 15.0 0.5MPa,测量用的压力表精度不低于2.5级。6.5瓶装高纯氩的体积按 GB/T4842.2附录A (补充件)计算。6.6高纯氩气瓶瓶阀与瓶颈螺纹联接处,瓶阀的出口及瓶阀阀杆间隙处,不得泄漏。6.7用户将空瓶返回生产厂时,要求瓶内余压不低于0.2MPa6.8充装有高
10、纯氩的气瓶,必须戴好安全帽。6.9高纯氩出厂时,应附有质量合格证,其内容包括。a. 生产厂名称;b. 产品名称和级别;c. 生产日期;d. 高纯氩气体和体积;e. 本标准号。5附录A气瓶中高纯氩气体积的计算(补充件)气瓶中高纯氩气体的体积按式( Ai)计算:V=KV.:(Ai)式中:V气瓶中高纯氩气体的体积,m5;Vi气瓶的水容积,L;K换算为在20 C、0.101 3MPa状态下高纯氩气体的体积换算系数(见表Ai)表A1在不同压力、温度下的换算系数气瓶内压力换算系统、Mpa 温度8.811.813.714.214.715.215.716.2-400.1450.1780.2110.2190.2
11、270.2360.2430.251-350.1400.1710.2030.2110.2180.2260.2340.241-300.1350.1650.1950.2030.2100.2170.2240.232-250.1310.1590.1880.1950.2020.2090.2160.223-200.1270.1540.1810.1880.1950.2020.2090.215-150.1230.1490.1750.1830.1890.1950.2020.208-100.1200.1450.1700.1770.1840.1890.1950.202-50.1160.1410.1650.1710.1
12、780.1840.1900.19600. 1130.13370.1610.1670.1730.1780.1840.19050. 1100.1340.1570.1620.1680.1740.1790.185100. 1080.1320.1530.1580.1640.1690.1750.180150. 1050.1280.1490.1540.1590.1650.1700.175200. 1030.1240.1450.1500.1550.1610.1660.171250. 1010.1210.1420.1470.1520.1570.1620.167300. 0990.1190.1390.1440.1490.1
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