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1、会计学1纳米薄膜制备纳米薄膜制备第1页/共24页第2页/共24页第3页/共24页膜质量的重要因素第4页/共24页第5页/共24页表表 9-2 金属颗粒的有机复合膜中粒径金属颗粒的有机复合膜中粒径与金属体积分数的关系与金属体积分数的关系 金属体积 分数(%) Au(fcc)粒子的 平均粒径 d(nm) Co(hcp)粒子的 平均粒径 d(nm) 10 3.5 1.0 20 6.0 1.0 30 8.5 1.7 40 15 4.0 第6页/共24页第7页/共24页 方法膜生长初期的结构晶格常数()蒸发法fcc3.68离子束法fcc4.02磁控溅射法bcc3.32电子回旋共振等离子溅射法fcc4.0

2、8表表9-3 四种不同沉积法得的四种不同沉积法得的Ti纳米膜的结构纳米膜的结构第8页/共24页表表 9 9-4 颗粒膜的种类颗粒膜的种类( (可能的组可能的组合合) ) 金属 半导体 绝缘体 超导体 金属 Fe-Cu,Co-Ag Al-Ge Fe- Al2O3,Ni-SiO2 半导体 Pb-Ge GaAs-AlGaAs Si-CaF2,Ge-SiO2 Bi-Ge 绝缘体 Au-Al2O3 CdS-SiO2 Bi-Kr 超导体 SNS Sn-氧化物 第9页/共24页第10页/共24页第11页/共24页第12页/共24页第13页/共24页第14页/共24页第15页/共24页.第16页/共24页第17页/共24页第18页/共24页第19页/共24页第20

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