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文档简介

1、X射线光电子能谱（射线光电子能谱（XPS）XPSXPS是一种基于光电效应的电子能谱是一种基于光电效应的电子能谱，也也叫做化学分析电子能谱（叫做化学分析电子能谱（ESCAESCA）。）。XPS数据处理数据处理系统系统能量能量 分析器分析器 探测器探测器 X射线源射线源AlK 或或MgK 光电子光电子样品样品 基本构造基本构造爱因斯坦光电爱因斯坦光电定律定律: : Ek = h h E Eb b 基本原理基本原理元素的定性分析元素的定性分析。根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。元素半定量分析元素半定量分析。根据光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度 。固

2、体表面分析固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等 。 化合物的结构化合物的结构。对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布的信息 。 分子生物学中的应用分子生物学中的应用。利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。用途用途 固体样品用量小，不需要进行样品固体样品用量小，不需要进行样品前处理，避免了引入前处理，避免了引入或或丢失元素所造成丢失元素所造成的错误分析的错误分析 表面表面灵敏度高，一般信息深度灵敏度高，一般信息深度 10nm 10nm 分析速度快，可多元素同时分析速度快，可多元素同时测定测定 给给出原子序数

3、出原子序数3-923-92的的元素信息元素信息，以获得，以获得元素成分分析元素成分分析 给给出元素化学态信息，出元素化学态信息，进而分析进而分析出出元素的元素的化学态或官能团化学态或官能团 样品不受导体、半导体、绝缘体的限制等样品不受导体、半导体、绝缘体的限制等 是非破坏性分析方法是非破坏性分析方法。结合。结合离子溅射离子溅射，可作可作深度剖析深度剖析 优点及特点优点及特点 能谱图能谱图生成生成text: 选择选择要进行要进行拟合拟合的数据点，的数据点，copy至至txt文本文本中中，即即ABC三列数据三列数据(其中其中B列为空的列为空的,只包含两列数据只包含两列数据)分峰拟合分峰拟合导导入数据：入数据：xps peak 41分峰分峰软件软件， Data Import (ASCII)分峰拟合分峰拟合扣背景：扣背景：Backgrond，Boundary的默认的默认值值，Type一般选择一般选择Shirley类型类型分峰拟合分峰拟合加峰：加峰：Add Peak，PeakType、Position、FWHM、%Lorentzian-Gaussian分峰拟合分峰拟合拟合：拟合：Optimise All数据输出：数据

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