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文档简介

1、玻璃盖板Cover Lens光阻涂布（涂布机）来料Z镀ITO导电膜（镀膜机）ITO氧化制曝光烘烤剥膜（脱膜机）蚀刻（蚀刻机）显影（显影机）玻璃盖板Cover Lens镀ITO导电膜（镀膜机）真空镀膜机8486302200制造平板显示器用物理气相沉积装置在来料玻璃盖板表面镀一层IT0导电膜（氧化钢锡）用于导电，如图中黄色示意部分涂布镀完ITO导电膜产品光阻涂布（涂布机）在镀过ITO （氧化钢锡）的玻璃表面均匀涂布一层感光光阻材料（PR,如图中蓝色示意部分）, 然后再进行烘烤曝光8486303900其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置（制造平板显示器用的机器或装置） 将掩膜版上的电路图图

2、案，投影到涂布在ITO玻璃表面的感光光阻（PR）上曝光曝光产品被照射部分UV光透过掩膜版，照射到曝光产品的感光光阻表面，掩膜版上透明的部分，UV光可以透过并照射到感 光光阻上，使光阻产生反应。掩膜版上黑色不透明的部分，UV光无法透过,故此部分的光阻不产生反 应。从而使掩膜版上的电路图图案,投影到涂布在ITO玻璃表面的感光光阻（PR）上。显影曝光后产品显影（显影机）Y8486304900其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将显影液喷淋到曝光后的产品表面，显影液会将被UV光照射发生反应的感光光阻溶解掉，从产品表面去 除，留下未被UV光照射的部分,保留在产品表面蚀刻显影后产品蚀刻（蚀刻机）8486304900其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将蚀刻液喷淋到显影后的产品表面，蚀刻液会将未被感光光阻PR覆盖部分的ITO蚀刻掉，留下被感 光光阻PR覆盖保护的部分，保留在产品表面剥膜剥膜（脱膜机）蚀刻后产品d *8486304900其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将脱膜液喷淋到蚀刻后的产品表面 I

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