LTCC材料共烧技术基础研究

1、LTCC材料共烧技术基础研 究 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究2 LTCC材料共烧技术基础研究 LTCC相关概念及技术机理 实验数据及讨论 实验结果 工艺条件 掺杂CuO、MnCO3 材料双性复合 降温掺杂 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究3 LTCC技术的概念及其分类_概念 是一种先进的混合电路封装技术 它是将四大无源器件，即变压器（T）、电容器（C）、 电感器（L）、电阻器（R）集成，配置于多层布线基 板中，与有源器件（如：功率MOS、晶体管、IC电路 模块等）共同集成为一完整的电路系统。 有效地提高电路的封装密度及系统的可靠性 2021-6-24LTCC材料

2、共烧技术基础研究4 LTCC技术的概念及其分类_概念 The character of Thick Film、LTCC、HTCC technology 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究5 LTCC技术的概念及其分类_概念 LTCC substrate with integrated passives Construction of typical LTCC mutilayer device Construction of typical LTCC mutilayer device 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究6 LTCC技术的概念及其分类_概念 Cross-se

3、ction of LTCC multilayer device showing the individual components that can be integrated Individual components that can be integrated in LTCC 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究7 LTCC技术的概念及其分类_概念 LTCC INDUCTOR LTCC BANDPASS FILTER 3D LAYOUT LTCC INDUCTOR have been used 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究8 LTCC技术的概念及其分类_分类

4、LTCC技术的研究 设 计 技 术 生磁料带技术 混合集成技术 混合集成混合集成生磁料带制造生磁料带制造 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究9 LTCC技术之国内外发展现状 目前实现多达目前实现多达5050层、层、1616英寸，应用频率为英寸，应用频率为50MHz50MHz5GHz5GHz 的的LTCCLTCC集成电路集成电路 日本富士通已研制出日本富士通已研制出6161层，层，245mm245mm的共烧结构的共烧结构 美国美国IBMIBM公司研制出了公司研制出了6666层层LTCCLTCC基板的多芯片组件基板的多芯片组件 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究10 LTC

5、C技术之国内外发展现状 仅以对低温共烧片式电感器的需求为例 电子产品名称电子产品名称平均单机用量（只）平均单机用量（只）电子产品名称电子产品名称平均单机用量（只）平均单机用量（只） 移动电话手持机移动电话手持机3030笔记本计算机笔记本计算机2424 中文中文BPBP机机1010硬盘驱动器硬盘驱动器8 8 数字数字BPBP机机1010软盘驱动器软盘驱动器6 6 录像机录像机2020程控交换机程控交换机2/2/线线 传真机传真机4 4开关电源开关电源4 4 无绳电话无绳电话1212超薄超薄WALKMANWALKMAN8 8 大屏幕彩电机芯大屏幕彩电机芯4 4便携式便携式CDCD唱机唱机7 7 D

6、VDDVD和和VCDVCD1212数字电视（机顶盖）数字电视（机顶盖）4040 摄录一体机摄录一体机3535其他其他2020 国内需求情况国内需求情况 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究11 LTCC技术有待完善的问题 收缩率控制问题收缩率控制问题 基板散热问题基板散热问题 基板材料的研究基板材料的研究 选择合适的掺杂，保证材料的高频特性并轻松降低选择合适的掺杂，保证材料的高频特性并轻松降低 材料烧结温度材料烧结温度 材料与内电极的匹配，及进一步提高品质因素，降材料与内电极的匹配，及进一步提高品质因素，降 低损耗低损耗 材料的良好机械性能、化学稳定性等材料的良好机械性能、化学稳定性

7、等 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究12 LTCC材料工艺机理及相关理论 低温烧结理论低温烧结理论 铁氧体的固相反应和烧结铁氧体的固相反应和烧结 ZnOFe2O3 高温 ZnFe2O4 NiOFe2O3 高温 NiFe2O4 烧结的传质机理烧结的传质机理 粘滞流动 )1( 1 2 3 D R r dt dD 塑性流动 表面扩散 体 扩 散 td KT rD k V V 5 2 5 6 0 5 2 )( = 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究13 LTCC材料工艺机理及相关理论 晶粒边界在烧结中的作用晶粒边界在烧结中的作用 烧结中原子与空隙流 降温机理降温机理 低温烧结

8、理论低温烧结理论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究14 LTCC材料工艺机理及相关理论 晶化动力学理论晶化动力学理论 铁氧体多晶成长过程铁氧体多晶成长过程 （a）烧结初期 （b）孪晶 （c）晶粒吞并 （d）晶粒生长停止 （e）最终密度 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究15 LTCC材料工艺机理及相关理论 技术公式技术公式 初始磁导率i与截止频率fr的关系 3 )1( s ri M f 2 ) 2 ( ) 1( 0 2 1 2 1 D Ms fri 公式中： i初始磁导率 fr截止频率 0真空磁导率 Ms饱和磁化强度 畴壁厚度 D晶粒平均尺寸 旋磁比 以磁畴转动为磁化

9、机制的尖晶石铁氧体 软磁铁氧体以畴壁的移动为磁化机制 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究16 LTCC材料工艺机理及相关理论 技术公式技术公式 初始磁导率初始磁导率i i 铁氧体磁芯及其等效电路 电感量L及表征磁损耗的等效电阻R分别与磁导率的实部 和虚部成正比 10 7 2 4 l AN L 10 7 2 4 l A N R 公式中： r1环形样品的内径(m) r2环形样品的外径（m） N线圈匝数 L环形样品有效磁路长度（m） 工作角频率（rad/s） A环形样品的横截面积（m2） r r rr rl 1 2 12 ln )( 22 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究1

10、7 LTCC材料工艺机理及相关理论 磁滞现象分析模型磁滞现象分析模型PreisachPreisach理论理论 由磁场H引起的磁通密度B ( , )()H d d S ( , )d d S ( , )d d S B= = - S为（，）平面上Hsat- Hsat的矩形区域 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究18 LTCC材料工艺机理及相关理论 当磁性材料从初始状态（未磁化）到刚被磁化时，磁通密度 ( , )d d S ( , )d d S Bi=- , ( , )x y dxdy y ( , )x y dydx x T( )= i-i B-B NA di d ) i (L 1-nn

11、1-nn = 差分电感： 磁滞损耗Pd 磁滞现象分析模型磁滞现象分析模型PreisachPreisach理论理论 dtiLi T P T Ld)( 1 0 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究19 LTCC材料工艺机理及相关理论 包含不同损耗的磁滞回线图形 不同软磁材料的磁滞回线 磁滞现象分析模型磁滞现象分析模型PreisachPreisach理论理论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究20 复合材料工艺 复合机理复合机理 Zn2+, Mn2+, Fe3+, Cu1+, Fe2+, Mg2+, Li1+, Cu2+, Mn3+, Ti4+, Ni2+ A位 B位 金属离子

12、在尖晶石中的A、B位占位倾向 尖晶石结构 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究21 复合材料工艺 研究方案及工艺路线研究方案及工艺路线 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究22 实验数据及讨论 部分工艺条件对部分工艺条件对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 预烧温度对品质因数Q的影响 现象：品质因数随预烧温度的 升高而增大，1100后Q值下 降。 原因：较高预烧温度可促进固相 反应的完全，增加成型密度， 从而增加磁芯的密度；当预烧 温度超过1100，固相反应完 全，材料活性降低。 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究23 部分工艺条件对部分工艺条件对

13、NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 预烧温度对磁导率 的影响 现象：相同Ts下的铁氧体磁导 率随预烧温度的升高逐 渐下降。 原因：预烧温度低时，材料固 相反应生成的立方尖晶石相 并不稳定，二次粉碎时的机 械能易使部分晶格扭曲变形， 粉体表面活性增大，烧成阶 段晶粒生长速度比高预烧温 度时快，晶粒大，晶界薄，磁导率大。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究24 部分工艺条件对部分工艺条件对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 烧结温度Ts对Q的影响 现象：随着烧结温度的增加，Q 值逐渐减小。 原因：随Ts的升高，磁芯内密度 增加，气孔减少，晶粒

14、粗大， 晶界处电阻率减小，Q值减 小。 另外，随Ts的升高，Zn挥 发增加，引起Fe2+增多，八面 体位就出现不同价的电子导电, 激活能最低，具有强导电性。 铁氧体的电阻率降低，涡流 损耗增加，Q值减小。 烧结温度Ts对Q的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究25 部分工艺条件对部分工艺条件对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 烧结温度Ts对的影响 Ts1320时：磁导率 随Ts的增 加而降低 原因：异常晶粒生长 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究26 部分工艺条件对部分工艺条件对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁

15、性能影响 Ts=1320的SEM Ts1250的SEM 烧结温度为1320时：晶粒大小不均匀，出现异常晶粒(20 m) 烧结温度为1250时：晶粒细小，较为均匀。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究27 CuOCuO掺杂对掺杂对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 CuO对起始磁导率i的影响 规律：随CuO含量的增加铁氧体的i 降低。 原因：Cu2+倾向占据八面体(B)位，产 生能级分裂，改变核外电子云分布， 晶体点阵发生畸变，增加各向异性 能。i降低。 i与各向异性能关系： i （s饱和磁致 伸缩系数，内应力） CuO对起始磁导率i的影响 sK 2 3

16、 1 1 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究28 CuOCuO掺杂对掺杂对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 CuO对Ts的影响 规律：随着CuO含量的增加NiZn铁氧 体的烧结温度Ts降低。 原因：CuO的熔点较低，高温烧结过 程中产生液相，促进固相反应的 发生。 CuO对Ts的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究29 CuOCuO掺杂对掺杂对NiZnNiZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 CuO对品质因数Q的影响 规律：掺有CuO的铁氧体Q值普遍升高。 原因：Ts的降低减少Zn挥发，从而 Fe2+，提高电阻率，增加

17、Q值。 另外CuO的增加冲淡了铁氧 体中Zn百分含量，也起到降低Zn 的挥发的作用。 CuO对品质因数Q的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究30 MnCOMnCO3 3掺杂对掺杂对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 MnCO3含量对i的影响 现象：随MnCO3含量的增加，NiCuZn 铁氧体的起始磁导率i降低。 MnCO3含量对i的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究31 MnCOMnCO3 3掺杂对掺杂对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 含6wtMnCO3的NiCuZn铁氧 体x衍

18、射图谱 说明：未出现MnFe2O4的三强峰，铁 氧体为NiCuZn尖晶石结构。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究32 MnCOMnCO3 3掺杂对掺杂对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 MnCO3含量对Q值的影响 规律：频率f低于1000KHz时,Q值随 掺入量的增加而增加；f高于 1000KHZ时，Q值随掺入量的增 加而减小。 Q值升高原因：Mn2+的电离能介于 Fe2+于Ni2+之间，抑制Fe2+及Ni3+ 的出现，提高电阻率，增加Q 值。 MnCO3含量对Q值的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究33

19、MnCOMnCO3 3掺杂对掺杂对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 含1wtMnCO3时SEM图像 含6wtMnCO3时SEM图像 现象：随MnCO3含量的增多，磁芯断口晶粒粒径分布不均匀，晶粒增大，晶 界处气孔增多。 说明：根据H.Rikukawa提出的气孔与晶粒边界引起退磁场模型所导出的表 现磁导率公式可知，当气孔只在晶界出现时，i按(1-p)（p为气孔率） 减小。此结论与MnCO3含量对铁氧体i影响曲线相符。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究34 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 以两组Ni

20、CuZn铁氧体为母体进行复合，平行比较相同情况下各 组分的磁性能，具体分组见下表： 母体 复合量 0wt5wt10wt15wt20wt25wt NiCuZnAA0A1A2A3A4A5 NiCuZnBB0B1B2B3B4B5 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究35 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷含量对NiCuZn铁氧体Q值 (1MHz)的影响 现象：B母体Q值随着陶瓷含量的增加 显著增大；A母体Q值总体变化不大。 说明：陶瓷材料为有选择性的对某些 配方NiCuZn铁氧体Q值进行改善。具 体原因有待进一步研究。 陶瓷复

21、合量对材料Q值影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究36 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷材料对磁导率的影响 现象：随复合量的增加，下降，趋于平缓，截止频率fr向高频移动。 说明：在牺牲一定磁导率的情况下，复合陶瓷材料可大幅度提高截止频率fr。 陶瓷对B母体的的影响 陶瓷对B母体的影响 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究37 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷对A母体的影响 陶瓷对A母体”的影响 对于A母体：有与B母体一致的现象，复合铁氧体

22、下降， 平缓。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究38 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷材料引起下降的原因： 部分BaTiO3化学键断裂，其中的Ba2+及Ti4+离子对NiCuZn尖晶石结构 中A、B位进行替换，减小总原子磁矩，引起饱和磁化强度Ms减小，从而 铁氧体下降。 Ti4+离子半径大，改变晶场特性，增加各向异性能，降低。 具体解释： 原子磁矩影响：母体NiCuZn为混合型尖晶石铁氧体，各金属离子占位情 况为： A位 B位 （Zn2+xFe3+1-x）Ni2+1-x-y Fe3+1+x Cu2+yO4 根据金属

23、离子占位倾向，BaTiO3材料的Ba2+进入尖晶石的A位， Ti4+ 进入尖晶石B位，对尖晶石原有离子替换。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究39 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 复合材料的原子磁矩位（设A位替代量为，B位替代量为）： M=|MB-MA| =(7.7x+2.3-5-2.7) B B为波尔磁子 由上式可知，陶瓷材料对A、B位的复合将减小原子总磁矩。 又因为： ，饱和磁化强度减小， 减小。 磁晶各向异性影响：Ti4+离子半径为0.69 比Fe3+离子半径0.67大，进 入B位后改变晶体的晶场特性，使磁晶各向

24、异性K1更大，由于：i 1/ K1，因此，磁导率降低。 a M M B s 3 8 = 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究40 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 A组复合材料A2与A4的截止频率比较 B组复合材料B2与B4的截止频率比较 现象：A组复合材料磁导率下降，截止频率未有提高；B组复合材料磁导率下 降，截止频率显著提高。 说明：对于不同母体铁氧体，陶瓷材料的作用不完全相同。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究41 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影

25、响 20wt%的陶瓷对不同铁氧体i值及fr的影响 相近磁导率时复合量及fr的比较 现象：相同复合量时，B组材料的i下降多，截止频率提高大；相近i时， B组复合材料的截止频率也远大于A组复合材料。 进一步证实：陶瓷复合对不同铁氧体作用不同。对B母体的铁氧体有改善高 频性能的作用，对A母体则可引起性能恶化。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究42 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷复合对铁氧体介电常数 的影响 现象：介电常数随复合量的增加而 增大， 1MHz附近时，复合量为 25wt的比0wt%大67倍。 原因：铁电材料与

26、铁磁材料复合时未 发生化学反应，材料中钛矿相与尖 晶石相共存，保持各自特性。由于 BaTiO3具有高介电常数，复合材料 总体表现出介电常数升高。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究43 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 复合材料温度特性 现象：B组复合材料的起始磁导率 （右上图) 随温度变化不大；A组 复合材料在45后下降。复合材 料的品质因数随温度的变化（右 下图）不大。 说明：A组材料的温度特性稍逊于B 组复合材料。B组复合材料在 -55到+85具有较好的稳定性。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术

27、基础研究44 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 陶瓷材料粒度对复合材料的影响 细颗粒的陶瓷材料对铁氧体材料的磁性能的改善不如粗颗粒的陶瓷材料。 具体原因有待进一步研究。 组分NiCuZnBNiCuZn-A 复合前i260.85340.03 陶瓷复合量20.00wt%20.00wt% 陶瓷材料粒度200m0.5m200m0.5m 复合后i40.3578.0771.4789.64 复合后fr(MHz)69.3150.5153.2639.51 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究45 陶瓷复合对铁氧体磁性能影响陶瓷复合对铁氧体磁性

28、能影响 复合材料的x衍射图谱 现象：钙钛矿结构与尖晶石结构共 存，以尖晶石为择优主相。 NiCuZn铁氧体 x-衍射图 BaTiO3 x-衍射图 B5 x-衍射图 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究46 陶瓷复合对铁氧体磁性能影响陶瓷复合对铁氧体磁性能影响 B5 x-衍射图 B3 x-衍射图 复合材料的x衍射图谱 现象：随复合量增加，钙钛矿结构 的峰值增强。 说明：添加陶瓷量的多少可以改变 材料结构。如复合量超过一特定 值，材料主相转为以钙钛矿为主。 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究47 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧

29、体磁性能影响铁氧体磁性能影响 复合材料的电镜扫描图 现象：随复合量的增加，材料晶粒 变大，大小分布不均匀。有一定 择优现象。 原因： Ba2+ 、Ti4+对尖晶石A、B位 替换后，由于Ba2+-O2-、 Ti4+- O2-链长不一致，晶格常数改变， 有晶面择优生长。 A5 SEM图 A3 SEM图 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究48 陶瓷复合对陶瓷复合对NiCuZnNiCuZn铁氧体磁性能影响铁氧体磁性能影响 复合材料的电镜扫描图 现象：不同母体的复合材料，晶粒 形状不同。A复合材料晶粒为片 状，B材料晶粒中有条形晶体。 原因：有待进一步研究 B5 SEM图 A

30、5 SEM图 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究49 BiBi3+ 3+对复合材料磁性能影响 对复合材料磁性能影响 Bi2O3对烧结温度Ts的影响 现象：Ts随Bi2O3的增加而减小， 2wt%后下降量减小，3wt%可在 900烧熟。 原因： Bi2O3熔点低，易形成低共熔 化合物，通过液相传质促进烧结。 Bi3+与其它离子形成另相化 合物，阻碍晶粒的进一步生长， 促进烧结。 B4的Ts随不同Bi2O3含量的变化 B4掺3wt% Bi2O3时不同Ts的磁导率 实验数据及讨论 2021-6-24LTCC材料共烧技术基础研究50 Bi2O3对磁导率的影响 现象：材料随的增加减小，”趋 于平坦。 原因： Bi2O3阻碍了材料