半导体业案例(产)

1、經濟部工業局環境管理輔導人員訓練教材半導體業環境管理系統案例中 華 民 國 八 十 九 年 八 月一、 工廠基本資料1. 工廠資料工廠名稱穩賺電子股份有限公司設廠日期82年12月資本額50億元年總營業額95億元廠區面積20,000/平方公尺廠房面積8,000/平方公尺員工人數1,500人生產時數24小時/每天3班2. 主要產品產品種類年產量 dram、sram、視訊記憶體(vram)、rom、eprom30,000片/月3. 主要原（物）料本廠除晶圓材料、製造作業所需之無塵衣具及包裝材料之外，所使用的製程用化學品，主要有nh4oh、h2o2、h2so4、hcl、hno3、hf、nh4f、ipa

2、、tmah、nmp、dmso、pgmea、mek、ch3cooh、h3po4等。4. 製程本廠擁有一座潔淨度class 1的6吋晶圓製造工廠，製程技術為0.5m，其整體製造流程，如圖一所示。5. 能（資）源使用用水水源自來水地下水取水量(cmd)3,000670用途純水系統生活用水其他用水總用水量用水量(cmd)2,5001201,0503,670用電用途製程用電空調用電輔助動力設備測試設備總用電量用電量(度/月)4,5009,9002,70090018,000註：地下水取得業經縣市政府水利課核准，核准取水量為800 cmd。圖一、穩賺公司製造流程二、 廠區使用說明1.本廠位於科學工業園區。2

3、.本廠平面配置，如圖二所示。3.設廠至今均生產半導體晶片。圖二、穩賺公司廠區平面圖三、 廠區外部說明1. 工廠周界區域，如圖三所示。圖三、穩賺公司廠區周界圖2.本廠四周均為工廠，唯工廠北側隔一30公尺道路，有一小公園。3.廠區規劃雨污水分流系統；雨水經雨水溝收集後，直接排放園區雨水下水道；製程廢水經處理後，納管至園區管理局污水下水道。四、 現有環境管理說明1. 本廠組織架構，如圖四所示：圖四、穩賺公司組織架構圖2. 環保工作由廠務部下轄之安全衛生室負責，編制6人；具有甲級廢(污)水處理及空氣污染防制專責人員各一人。廠務部負責廠內污染防治設備的操作與維護。3. 已設有工業減廢推動組織，如圖五所示

4、。圖五、穩賺公司工業減廢組織圖4. 每位新進人員需接受5小時以上的工安與環保訓練課程，灌輸環保與生命一樣重要的觀念；不定期邀請外部講師，進行廠內人員環保訓練，平均每年約200人次、400小時；每年派遣員工參加外部訓練，約100人次。5. 其他相關環境管理系統於84年通過iso 9001驗證；84年榮獲全國推行勞工安全衛生優良機構獎；85年榮獲經濟部節約能源獎五、 環保現況1.廢水方面(1) 廢水污染源，如圖六所示：圖六、廢水污染源(2) 廢水分流狀況，如圖七所示：圖七、廢水分流狀況(3) 廢水處理流程，如圖8所示：圖八、廢水處理流程(4) 廢水防治設備及操作流程項目已投資成本(仟元)年操作成本

5、(仟元)最大處理量實際處理量廢水處理設施氫氟酸43,0003,00015m3/日15m3/日一般廢酸3,000m3/日1,000m3/日異丙醇8m3/月委外處理有機溶劑8m3/月委外處理硫酸回收系統48,6003,5001,440公升/日600公升/日污泥脫水機9,0002404公噸/日2公噸/週2. 廢氣方面(1) 廢氣污染源，如圖九所示：圖九、廢氣污染源(2) 廢氣處理流程，如圖十所示：圖十、廢氣處理流程(3) 廢氣防治設備及操作流程項目已投資成本(仟元)年操作成本(仟元)最大處理量實際處理量廢氣處理設施有機溶劑廢氣430,0001,60042,000m3/小時25,200m3/小時酸廢氣

6、144,000m3/小時144,000m3/小時鹼廢氣3,600m3/小時1,800m3/小時4. 廢棄物方面(1) 廢棄物處理流程，如圖十一所示：.圖十一、廢棄物處理流程(2) 廢棄物防治設備及操作流程項目已投資成本(仟元)年操作成本(仟元)最大處理量實際處理量一般廢棄物700委外處理本廠未曾因違反環保法規，而遭環保單位告發。 薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂

7、节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅

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11、聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃

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15、腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂

16、荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆

17、肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇

18、膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈

19、莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂

20、肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃

21、芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇

22、莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈

23、肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿

24、芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃

25、莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿芁袈羇膈莄蚁袃芇蒆袆蝿芆薈虿肈芅芈蒂肄芄蒀蚇羀芃薂薀袆芃节螆螂节莄薈肀芁蒇螄羆莀蕿薇袂荿艿螂螈莈莁薅膇莈薃袀肃莇蚆蚃罿莆莅衿袅羂蒈蚂螁羁薀袇聿肁芀蚀羅肀莂袅袁聿蒄蚈袇肈蚆蒁膆肇莆螆肂肆蒈蕿羈肅薁螅袄肅芀薈螀膄莃螃聿膃蒅薆羅膂薇螁羁膁莇薄袇膀葿袀螃腿薂蚂肁腿