扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验讲解_第1页
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文档简介

1、实验四扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验、实验目的:了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+4V 15乂三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路 的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作 用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平 衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的 电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。四、实验内容与步骤

2、1. 扩散硅压力传感器MPP2时，输出为正；当P1v P2时，输出为负。2. 检查气路系统，分别推进气室1、2的两个活塞，对应的气压计有显示压力值并 能保持不动。3. 接入+4V、5V直流稳压电源，模块输出端 Uo2接控制台上数显直流电压表, 选择20V档，打开实验台总电源。4. 调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。5. 退回气室1、2的两个活塞，使两个气压计均指在 零”刻度处，将MP 10的输出 接到差动放大器的输入端 Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。6. 保持负压力输入P2压力零

3、不变，增大正压力输入 P1的压力，每隔0.005Mpa记 下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.095Mpa;填入表4-1。P(KPUo2(V7. 保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入 P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.095Mpa;填入表4-2。P(KPUo2(V8. 保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.0Mpa;填入表4-3。P(KPUo2(V9.保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.0Mpa;填入表4-4P(KPUo2(V五、实验报告1.根据表4-1、4-2、4-3所得数

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