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文档简介
1、Trivac C 泵故障查找故障现象故障部位可能原因检修方法1.油混浊,乳白,发暗。 泵不能达到极限压强, 并在运行中过热。凝结气镇阀关闭。关闭进气口,打开气镇阀,运行泵直到蒸汽 被排除。气镇阀被阻塞。清洗气镇阀。安装新的弹簧,垫片及单向阀,必要的话更 换阀或阀片。泵温过低。开启气镇阀运行泵直到泵温升高。被抽气体中的蒸汽含量超过允许值。在抽气口和/或排气口安装冷凝过滤器。2.油颜色很脏,很混浊或 分层。泵油被污染被应用于很脏的工艺中。r换油。在进气口安装 AS型灰尘分离器,IF或FS 型进气口过滤器,吸附阱,AK型冷凝器,或MF型分子筛过滤器。D8C , D16C泵可以更换油过滤器。泵油裂解使
2、用了不适合的泵油。冲洗泵腔并注入莱宝推荐的泵油。泵运行中油面过低。冲洗泵腔并注入莱宝推荐的泵油。较大的泄漏。维修漏点,并清洗泵腔,加油。泵持续在高于112Torr的进气压强下 运行。清洗泵,换油,并在较低的进气压强下运转。3.泵达不到极限压强。a.气镇阀气镇阀打开。关闭气镇阀,除非被抽气体中蒸汽较多。气镇阀阀帽磨损。安装一个新的气镇阀阀帽。气镇管下部的密封圈磨损。安装新的密封圈。b.真空管道连接真空管道被连接到排气口。将真空管道连接到吸气口。c.排气管道连接排气管道直径小于排气口直径。安装较大直径的排气管道。d.真空管道或被抽容 器管道或容器持续泄漏。消除漏孔,如果密封圈脏请清洗。e.进气口内
3、的杂物捕 集器捕集器被杂物塞满。清洗捕集器。f.真空泵油由于密圭寸件的质里和过多的磨损造成 泵油被污染。请参考故障现象1 , 2。使用了不适合的泵油。冲洗泵并加入莱宝推荐的泵油。供给泵组件的油不够油位太低。向泵内加油。注油喷嘴被堵塞。r清洗喷嘴并换油。泵持续在187或更咼的压强下运转。慢慢地从进气口加入适量泵油并让泵运转 在较低的压强下。防返油阀联轴节与固疋圈或是离心开关连接太 紧。松开联轴节的固定螺钉,从离心开关或固定 圈上移动联轴节,直到开关有足够的空间来 工作,再拧紧固定螺钉。离心开关失效。安装新的离心开关。离心开关/控制杆/弹簧非常脏。清洗。控制杆密封件磨损。颠倒密圭寸件安装或更换。控
4、制杆被弯曲。弄直或更换控制杆。弹簧没有适当地装在定位孔内。重新安装。进气管的密封圈磨损。安装新的密封圈。轴封磨损轴封磨损造成泄露。安装新的轴封,检查与轴封接触的轴面,必 要时更换轴。叶片卡在转子的槽中转子槽中堆积太多灰尘。清洗转子槽并更换泵油。叶片安装时斜边朝外。清洗转子槽并安装叶片,使其斜面朝向转子 中心方向。叶片,转子,泵腔,轴, 端盖内表面,或端盖上 的铜基轴套这些部件中的一件或多件磨损会导致 真空泄漏。替换已磨损的部件。电机三相电机反转。更换接线。检查自锁轴承。电机损坏。联系电机供应商的维修部门。密封圈组件磨损或脏密封圈变脏或磨损会导致真空泄漏。安装新的密封圈。吸气口密封圈泄漏。安装新
5、的密封圈。吸气口下部的表面被划伤。修复划伤面。阀片阀片脏或磨损。清洗或更换阀片。4.停泵后,被抽谷器或 系统压强等于大气压。真空管道或被抽容器真空管道或被抽容器持续泄漏。消除漏孔,如果密封圈脏就清洗。防返油阀阀盘脏或磨损。清洗阀片或更换。阀盘和活塞被咼真空腔卡住。:清洗阀盘,活塞,高真空腔吸气口部分。离心开关/控制杆/弹簧非常脏。清洗。进气管被堵塞。清洗。离心开关失效。:安装新的离心开关。控制杆被弯曲。弄直或更换控制杆。5.泵噪音过大。进气或排气的连接管道管道堵塞。清洗管道。当接近极限压强时听到 油排击声消音孔是一个很小的孔,位于气镇阀 固定盘下的阀体上。使用一个恰当的线材来清洗孔内的杂物。
6、切勿使孔径变大。联轴器和/或弹性联轴节磨损。安装新的联轴器和/或弹性联轴节。Disk.Disk is bent.Straighte n disk or in stall new disk.泵组件的轴衬套后端盖的润滑口被堵塞。清洗润滑口使油可以润滑轴衬套。Shipp ing wedge.The shipp ing wedge was not removed.Remove shipp ing wedge. NOTE: running the pump with the shipp ing wedge in stalled can result in damage to an ti-suckback
7、 mecha ni sm.6.在排气口有过多的油 烟或油雾。油观察窗中的油位太咼泵中油量太多。放掉多余的油。负压强排气系统。(如果连接负压排气装 置)负压强太高。调整负压强排气系统。油过滤器过滤器被堵塞。清洗过滤器或更换。泵的工作压强泵持续工作在高于112 Torr的压强 下。调整系统使泵工作在较低的压强下或更换大 抽速的泵。气镇阀气镇阀被打开。关闭气镇阀或安装SE型油雾消除器或AF型 排气过滤器和返油管路。7.油从吸气口喷出。电机电机反转。更换接线。检查自锁轴承。(离心开关)8.油耗量过大。油过滤器过滤器被堵塞。清洗或更换。漏油油塞上的平垫片磨损。更换新的平垫片。油箱与支架间的密圭寸垫片磨损
8、。更换密圭寸垫片。前端盖的轴封磨损。安装新的轴封并检查排气管道是否通畅,过 滤器是否被阻塞。后端盖轴圭寸磨损。更换新的轴封。旁通管道中加入的净化气体压强太 高。如果加入气体连接油箱就低于3psig,如果连 接气镇阀就低于2psig。气镇阀气镇阀开启。关闭气镇阀油从吸气口电机反转。更换电机接线。检查自锁轴承。9.油箱顶部漏油。气镇阀?平垫片磨损。安装新的平垫片。阀下部的油箱被划伤。更换新的油箱。10.所排气体从油箱顶部 泄漏。进气口或气镇阀垫片磨损。更换新的垫片。进气管或阀体下部油箱被划伤。更换新的油箱。11.泵不能启动。联轴器和/或弹性联轴 体磨损或安装不正确。正确安装新的联轴器和/或弹性联轴
9、体。轴卡在轴套中泵油被污染。必要的话更换轴、后端盖和/或中心轴承。后端盖铜套上的进油口被堵。清洗进油口,必要的话更换轴和/或后端盖。前端盖下边到铜套的进油孔被堵。清洗进油口,必要的话更换轴和/或端盖。停泵没有通大气阀盘和铜活塞被卡在咼真空腔。清洗阀盘和活塞或更换。 清洗高真空侧的进气口部分。仅对D30/40/60C而言,高真空腔侧,位 于活塞下部的小孔被堵塞。清洗小孔。离心开关/控制杆/弹簧很脏。清洗部件。进气黑管堵塞。清洗管子。离心开关出现故障。更换新的离心开关。控制杆被弯曲。弄直或更换控制杆。弹簧未被正确的安装在疋位孔中。重新安装。11.泵无法启动。转子或旋片与泵腔发生 摩擦泵腔/端盖排列
10、不正。重新安装。泵油太粘稠环境温度太低。(工作最低环境温度 为10摄氏度)在连接泵到工作管道前对大气短暂抽气。对油箱加温。将泵油放出加热在加入到泵中。12.泵的转速达不到额定 数值。泵油泵温过低。将泵运行一个小时直到其达到工作温度。泵油太脏。请参阅1 , 2项。真空管道阀们真空管道阀门部分关闭。打开阀门。进气口的杂物捕集器捕集器被杂物堵塞。:清洗捕集器。排气口或真空管道进气或排气过滤器被堵塞。清洗或更换新的滤芯。排气口或管道连接排气口或管道直径过小。更换大直径的管道。联轴器或弹性联轴体联轴器或弹性联轴体磨损或安装不 止确。重新安装。低真空腔的排气孔或中 壁的小孔孔被堵塞。清洗。防返油部件参阅第3项。参阅第3项。转子或旋片与泵腔发生 摩擦泵腔/端盖排列不正。重新安装。进油嘴堵塞。清洗油嘴。泵腔内部内部杂质堆积。清洗泵腔并更换泵油。电机电机故障。联系电
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