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文档简介
1、HJ-P-059-2009复合真空计校准规范2009-11-20 发布2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部本规范签署人员编制:校对:审核:审定:标审:批准:发放单位及份数管理室1长度计量至仪器仪表室2理化实验室代替 HJ-P-059-96复合真空计校准规范1.范围本规范适用于使用中和修理后的指针式复合真空计的校准。2概述复合真空计由热偶计和电离计复合而成, 是测量低真空和高真空压强用的 通用仪器,适用于实验室及生产车间中使用。在测量低真空时,是根据热电 势与气体压强关系的原理,通过测量热电势的大小,间接的测量出气体压强 的高低;在测量高真空时,是根据离子电流与气体压强的关
2、系原理,通过测 量离子电流的大小,间接的测量出气体压强的大小。3. 引用文件WZK-1A型 WZK-1AP型热偶电离真空计使用说明书FZh 1A型复合真空计使用说明书FZh1型复合真空计使用说明书4. 技术要求4.1 外观质量仪器外观应良好,各开关、旋钮安装应牢固,转动灵活;指针式表头应无 卡针、迟滞现象。4.2 测量范围低真空:13.3P* 0.133 Pa高真空:0.133 Pa- 6.65 X 10一6 Pa5. 校准环境5.1 环境温度:10C35C,相对湿度:W 80% RH。5.2 供电电源:220 V10% ; 50Hz 1%。5.3 仪器附近无强的电磁场干扰,无剧烈震动,无腐蚀
3、性气体。6. 校准项目及设备校准项目周期校准修理后校准1外观质量检检2测量范围检查检检7. 校准方法7.1 用目力检查仪器的外观应无明显的缺陷;开关、按钮应安装牢固;仪器的接插件及连线应可靠连接。7.2 测量范围检查7.2.1热偶部分检查将未开封的热偶规管通过相应缆线与仪器连接,并使管座垂直向上, 接通电源预热15分钟,调整加热电流至热偶管原始工作电流值,把加热 电流开关或按钮打至测量位置,此时指示表头内读数即为热偶管内的真空 度。其数值应符合4.2的要求。7.2.2 电离部分检查将未开封的电离规管通过相应缆线与仪器连接,接通电离计工作电源,调节发射电流为5mA将各开关或按钮置于相应的档位后,读取高真空指 示表头内的读数,即为电离规管内的真空度。其数值应符合4.2的要求。8. 校准结果处理及校准周期8.1 校准结果处理经检测所检项的指标符合本规范技术要求的复合真空计应粘贴“ B类准用8.2 校准周期该类复合真空计的
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