切片异常汇总[文字可编辑]

1、切片异常汇总,1,断线,2,线痕,3,厚薄片,4,隐裂,5,缺角,6,崩边,7,弯曲片,8,掉棒,9,掉片,10,过滤袋,堵塞,11,如何避,免断线和,断线的解,决办法,12,钢线张,力,目录,断线,收线轮断线,放线轮断线,线网断线,切割快结束,后断线,放线轮断线,1,最常见的是钢线质量问题造成断线,2,其次张力异常造成断线,3,垂直度不垂直造成断线,4,滑轮质量问题造成断线滑轮没有及时更换,造成断线,5,导论驱动异常造成断线,其次放线轮压线断线分为假压线和真压线两种,在这两种情况下真压线的断线率比假压线的高,其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线,后采用反切方,法排线不正确也会产生,收线

2、轮断线,其一排线的问题。在切割过程中收线轮处的排线轮由,于行程有细微的过大，而切割后的钢线本身在切割过程中,有了比较均匀的磨损；由于排线轮的行程大了一点，线和,收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力（废钢线也有一定的,张力）。被收线轮的飞边给切断的。如果在微观发方面看,的话，是由于排线行程过大的那,一刹那,其二收线轮的原因。在排线正常的情况下由于收线轮,的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞,边上的毛刺产生切向力很大足以截断一根,0.140,和,0.120,的,钢线,其三收线轮处的张力臂张力不平稳。在一切情况都排,除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力,臂张力不平稳引起的，忽

3、高忽低的张力给废钢线施加了一,个变量的力。在金属力学中这是一大忌，钢线就是这,样被疲劳拉断了,其四滑轮质量问题或滑轮没有及时更换造成断线,线网断线,1,导论没有处理干净，在高速切割中钢线因杂质而脱,离导轮槽，导致钢线飞线（跳线），随着高速运转的钢线,跳线处与晶棒摩擦要比正常切割线网区域摩擦更严重，随,着切割时间延长，砂浆的切割力也慢慢下降，跳线位置可,能会断线,2,晶棒两端斜面过大在切割中切到斜面边缘处钢线容,易打滑，钢线脱离线槽，会把端面位置碎片带进线网，造,成断线,3,晶棒本身有杂质硬点，造成断线,导轮槽磨损，切割,中钢线会错位，会引起硅片断裂，硅渣进入线网造成断线,4,钢线质量问题，切割

4、中会造成线网断线,5,砂浆密度过高，切割力达不到，造成没有规律性的,线网断线,6,砂浆帘赌赛，砂浆断流，钢线和晶棒干磨，造成线,网断线,导轮驱动异常，可能会引起线网断线,7,导向条下面有空隙，切割入刀口时碎导向条会与,钢线的切割方向，把硬物带进线网，造成断线,切割快结束后断线,其一线速也是断线的一种因素之一，在线速迅,速降低也是致命的。这时候钢线由于惯性还的在向前,运动，可是导轮已经按照降速后运转，同时晶棒还是,在下降。这时钢线会在晶体中形成褶皱，在钢线上产,生应力点；也就给断线埋下了隐患。这种断线对处发,生在将要结束的时候,其二晶棒粘接对接处胶抹的太多，快要切完时,的线网直接与对接处的胶接触

5、，胶多过线网会直接将,其带进线网导致断线,8,线痕,出刀口,线痕,表面均,匀线痕,硬点线痕,倒角处的线,进刀口,厚薄片表,面有一条,线痕,入刀口,线痕,中部线痕,出线位置,硅棒的线痕,表面均匀线痕：砂浆更换量不足，钢线带,砂量太少，造成没有足够的切割能力，严重摩擦,导致均匀线痕,冷却水温度过高，导致均匀线痕,厚薄片表面有一条线痕：切割中有杂质,进入线网，线网瞬间跳线，钢线脱离线槽，造成,切割定位，导,致厚薄片，在线网瞬间跳线时，钢线在交叉时,与晶棒摩擦造成一道线痕,导轮表面磨损，钢线,会挤在,一起，砂浆分布不均匀，造成线痕,入刀口线痕：切割入刀口时，导向条有,空隙，硬物进入线网，钢线跳线瞬间会

6、引起线痕,出刀口均匀线痕：砂浆少更换,1020L,切割快结束后，砂浆的颗粒基本上已经很疲惫了,棱角几乎已经,变圆，切割力已经到了疲惫状态，随着钢线不断,的磨损，切割力达不到，就会造成出刀口线痕,中部线痕,切割中，砂浆嘴断流，造成硅,片中部线痕,硬点线痕：硅片来料硬点，切割中小硬,点可能不会造成线网断线，但钢线切到硬点时,不会与其他位置切,割力一样，难免会在硬点处停留数秒，这期间会,造成一道线痕,进刀口：由于刚开始切割，钢线,处在不稳定状态，钢线的波动产生的线痕,倒角处的线痕：由于在粘结硅棒,时底部残留有胶，到倒角处钢线带胶切割,引起的线痕,出线位置硅棒的线痕：钢线磨损,量大，造成钢线光洁度、圆

7、度不够，携带,砂浆数量低，切削能力下降，线,膨胀系数增大引起的,厚薄片,整片超厚,中部以上超厚,厚薄不均,整片超厚：导向条有空隙，入刀口,时，随着钢线切割方向，会把碎导向条直,接带入线网,钢线错位，切割中钢线会瞬间定位一直,到切割结束，这样就出现硅片整体超厚现,象,导,轮磨损严重，切割中钢线会互相拥挤，造,成厚薄片,整片超厚,中部以上超厚：切割室杂质掉进,线网，引起线网跳线，造成厚薄片,导轮,质量发生变化，导轮槽磨损，线网跳线,引起厚薄片,中部以上超厚,厚薄不均,TTV,张力异常,造成厚薄不均现象,流量时流时断，造,成切割力不均匀,造成厚薄片,厚薄不均,隐裂,来,料,隐,裂,预,清,洗,后,隐

8、,裂,插,片,隐,裂,清,洗,后,隐,裂,拉,运,中,隐,裂,分,选,过,程,隐,裂,来料隐裂：多晶硅铸锭炉生产时，可能,加工的硅料成分造成，其次在拉运途中，震动或,撞击导致晶体隐裂,预清洗后隐裂：车间流程加工时，岗位,在加工和拉运时碰撞造成，其次切片岗位在安装,棒时，用力过猛，引起晶托相撞，导致晶棒体内,产生隐裂，在预清洗时，因晶棒本来在前道岗位,已经受撞击，经过预清洗水压，隐,裂就可以体现出来,插片隐裂,插片时，作业人员的手法都不,一致，况且每刀四个位置的厚度都有所差异，手,拿片子角上最边缘,平衡力有误就会导致隐裂,清洗后隐裂,清洗机烘干槽里风过大，风,向不定，会造成硅片在清洗篮里晃动过大

9、导致隐,裂,拉运中隐裂：清洗后，将硅片车拉运到,分选途中，地面不平，车子震动，硅片会产生隐,裂,分选过程隐裂：人工分选时，手法不一,致，从片盒倒出时，片子有时会卡到盒中，造成,隐裂（碎片,人工分选可能会挤压到一些片子,其次还有分选台桌面上的碎硅渣，倒片时，会造,成硅片崩边，很容易产生隐裂,19,分选时缺角,加工时缺角,切割时缺角,插片时缺角,运输中缺角,缺角,缺角原因分析,加工时缺角：晶棒在加工和拉运时，人员疏忽,没有按照作业指导书规定操作，造成缺角,设备异常造成,的缺角,切割时缺角,晶棒上导向条没有粘接到位，切割中,没有导向条的位置钢线容易打滑，随着工作台下降，线速,加快，钢线和晶棒定位的瞬

10、间，会造成硅片角上缺角,运输中缺角,在切片岗位下棒时，作业员需要用拉,钩把晶棒拉到下棒轨道里，稍微不注意拉钩就会碰到片子,造成缺角,插片时缺角,插片人员在作业时，插片的速度过快,硅片的角会撞到插片工作台上，造成缺角,分选时缺角,人工在倒片盒时，因工作台上有碎硅渣,片子会与碎硅渣产生碰撞力，造成缺角,崩边种类,胶面崩边,C,角崩边,崩,边,C,角崩边：粘棒在作业时，由于,用较硬的东西取,C,角胶时，造成,C,较崩边,胶面崩边：切片没有切透，晶棒,在预清洗脱胶后造成胶面崩边（有时候看,上去切透，其实晶棒中部因线弓还没有完,全切透,加工时崩边：设备在加工时造,成崩边,人员在搬运中相撞造成崩边,崩边原

11、因分析,晶托螺丝没有拧紧，或者是假拧紧,在切割中，晶棒受钢线的切割力导致晶,托松动，切割结束后全部是弯曲片,切割中导轮定位销断裂，或者是导,轮密封圈脱落掉，在切割中会突然晃动,导致弯曲片,晶体本身内有杂质或硬点，切割中,不至于断线，钢线在匀速切割时，遇到杂,质和硬点会弯曲切过，这样就会造成少量,片弯曲,弯曲片原因分析,胶水配比有问题,硅棒与玻璃粘接面有油污,胶水涂抹后固化的时间没有到可用时间,胶水的质量有问题,在拧螺丝时，拧力过大，造成铝板变形（凹凸不,平），导致掉棒,备注：粘棒室温度为,22,28,湿度为,50,以下,配胶比例,A,胶树脂,B,胶固化剂,1,1,玻璃板加压、固化时间：加压,1

12、5-25,分钟，固化,30,分钟以上（包含加压时间,晶棒、玻璃板清洗：超声清洗，水温,40-50,摄氏,度，清洗时间,10-15,掉棒原因分析,砂浆的水份偏高造成的团结物,刚使用时过滤袋堵塞可能是砂浆有异物,造成的，如果是切割到,3,刀以后的堵塞可,能是硅片碎杂质多引起的,碳化硅微粉和切削液的,PH,值区别太大,起化学反应引起的黏稠物，造成的过滤袋,堵塞,没有按照规定时间更换，造成切割中过,滤袋堵塞,备注：过滤袋压力设定为,1200bar,开切范,围在,800,以下更为合适,过滤袋堵塞原因分析,掉片,切,割,完,后,掉,片,升,棒,过,程,中,掉,片,升,完,后,掉,片,从,设,备,三,点,一

13、,线,拉,时,掉,片,整,根,棒,掉,片,预,清,洗,前,掉,片,切割完后掉片：切割深度过深导致掉片,因为作业员在设零点时,F,位置和,M,位置的高,度有时高度不一致，如果按晶棒最低的一点设零,点，那么切割到,165.5mm,时，晶棒低的,位置因切割深度过深造成掉片,升棒过程中掉片：作业员升棒速度太快,200mm /MIN,，片子被线网强制拉来,升完后掉片：粘棒抹胶不均匀，切割深度,一致时，胶薄的区域会少量掉片,掉片原因分析,从设备三点一线拉时掉片：使用拉,钩拉时，用力过猛，片子摆动幅度过大,太松动造成掉片,整根棒掉片：其一粘胶面胶抹的太,少，其二胶水的质量有问题，其三胶水涂,抹后固化的,时间

14、没有到可用时间,预清洗前掉片：晶棒等待时间太长,片子相比是一个拉力往下拉，时间过长,玻璃板不能承受,导致掉片,备注：粘棒室温度为,22,28,湿度为,50,以下,配胶比例,A,胶树脂,B,胶固化剂,1,1,玻璃板加压、固化时间：加压,15,25,分钟，固化,30,分钟以上（包含加,压时间,晶棒、玻璃板清洗：超声清洗,水温,40-50,摄氏度，清洗时间,10-15,在开机前检查时要按照开机检查表上的检查项一一,检查到位，我发现好多操作工就没有按照开机检查表来检,查，比如张力是否有异常、还有两边的排线是否垂直、下,过滤网和上过滤网和有砂浆喷嘴是不,是每刀都清洗等等，其次在清洗砂浆嘴时有没有把砂浆喷

15、,嘴的两端拆先来清洗里面的，因为砂浆嘴里面,还有一条铁片，在清洗时光清洗外面的话，可能很难把里,面的杂质清理掉的，这样就很可能在切割中导,致砂浆断流供应不上断线,现规定张力要在,1,2N,之间才是正常的，如张力不,正常，在切割很容易造成,TTV,厚薄片等情况，还可能会,断线,如何避免断线和断线的解决办法,晶棒斜面太大也会造成线网断线，现在不,是规定大于,2MM,的斜面粘到,M2,位置，其实这只,是防止断线的损失，我们还可以把斜面大的放到,M2,位置，线网可以避开斜面切割，这样就更加,安全了，最起码不会在收线端断线，也不会因停,机带来的损失,砂浆袋的压力是否正常，因为在切割中如,果砂浆袋压力过高那说明砂浆袋里面堵塞了，或,是砂浆管道里没有处理干净，这样的情况会造成,在切割中没有规律性的断线，也就是哪个位置都,很可能会导致断线，其次还会造成,TTV,超厚超薄,等现象,砂浆密度的控制，在切割中密度是,很重要的一个环节，如切割能力达不到,那百分之百会断线，比如片子上有线痕,TTV,厚薄片，都和密度有直接关系，当,然这只是一部分，好多异常还有其他原因,那就要观察片子上线痕,TTV,厚薄片在,切割的安装位置，出刀口还是进刀口,导轮的使用时间和表面有无勒痕也,是很重要的，导轮勒痕会造成断线，还有