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文档简介

1、第六章 pn结,6.1 pn 结及其能带图 6.2 pn结电流电压特性 6.3 与理想情况的偏差*(了解,据统计:半导体器件主要有67种,另外 还有110个相关的变种 所有这些器件都由少数基本模块构成: pn结 金属半导体接触 MOS结构 异质结 超晶格,6.1 pn 结及其能带图,1 p-n 结的形成和杂质分布,在一块n型半导体单晶上,用适当的方法(扩散或离子注入)把p型杂质掺入其中,使其在不同的区域形成p型和n型,在二者的交界面处形成了pn结,6.1 pn 结及其能带图,pn结二极管的制备,冶金结的位置,杂质浓度随位置的变化曲线,6.1 pn 结及其能带图,理想化的杂质分布近似,突变结,线

2、性缓变结,杂质分布 xxj, N(x)=ND,x)=qax 0,6.1 pn 结及其能带图,2. pn 结的形成过程和电荷再分配,a)孤立的p型和n型区域 (b)pn结接触,p区空穴扩散到n区,在p 区边界剩下NA-;n区电子扩散到p区, 在n边界剩下ND+ (c) NA-,ND+形成内建电场,方向从np (d) 内电场的作用下,载流子漂移 (e) 扩散流=漂移流,总电流为0,达到热 平衡 (f)空间电荷区宽度一定,空间电荷的分布 达到稳定,3. pn结热平衡时的能带图,电场从n区指向p区,电势从n区到p区逐渐降低,电子的电势能增加,空间电荷区能带发生弯曲,正是空间电荷区中电势能变化的结果,6

3、.1 pn 结及其能带图,方法一,方法二,平衡pn结中的电势和电势能,6.1 pn 结及其能带图,4. pn结中电场、电势和电荷分布,内建电势Vbi:热平衡条件下的耗尽区电压称为内建电势,它是一个非常重要的结常数,6.1 pn 结及其能带图,势垒高度qVbi 势垒宽度xD=xn+xp,6.1 pn 结及其能带图,5.耗尽近似,耗尽近似是对实际电荷分布的理想近似,包含两个含义: (1)在冶金结附近区域,-xpxxn,与净杂质浓度相比,载流子浓度可忽略不计 (2)耗尽区以外的电荷密度处处为0,6.1 pn 结及其能带图,6.2 pn结电流电压特性,将二极管电流和器件内部的工作机理,器件参数之间建立

4、定性和定量的关系。 6.2.1 定性推导: 分析过程,处理方法 6.2.2定量推导: 建立理想模型-写少子扩散方 程,边界条件-求解少子分布函数-求扩散电流-结果分析。分析实际与理想公式的偏差,0偏,正偏,反偏,1.热平衡状态,6.2.1 定性推导,电子从n区扩散到p区需有足够的能量克服“势垒”。只有少数高能量的电子能越过势垒到达P区,形成扩散流。 P区的电子到达n区不存在势垒,但是少子,少数电子一旦进入耗尽层,内建电场就将其扫进n区,形成漂移流。 热平衡:电子的扩散流=漂移流,空穴的情况与电子类似,2.加正偏电压,势垒高度降低,n型一侧有更多的电子越过势垒进入p区,p区一侧有相同数目的电子进

5、入耗尽层扫入n区,形成净电子扩散电流IN 同理可分析空穴形成扩散电流IP。 流过pn结的总电流I=IN+IP。 因为势垒高度随外加电压线性下降,而载流子浓度随能级指数变化,所以定性分析可得出正偏时流过pn结的电流随外加电压指数增加,6.2.1 定性推导,正偏时的能带/电路混合图,6.2.1 定性推导,3.反向偏置: 势垒高度变高,n型一侧几乎没有电子能越过势垒进入p区,p区一侧有相同数目的电子进入耗尽层扫入n区,形成少子漂移流,同理n区的空穴漂移形成IP,因与少子相关,所以电流很小,又因为少子的漂移与势垒高度无关,所以反向电流与外加电压无关,6.2.1 定性推导,反偏时的能带/电路混合图,6.

6、2.1 定性推导,6.2.1 定性推导,pn结的I-V特性曲线,正向偏置下p-n结费米能级,反向偏置下p-n结费米能级,6.2.2 定量求解方案,理想p-n结,满足以下条件的p-n结 (1)二极管工作在稳态条件下 (2)杂质分布为非简并掺杂的突变结 p=n0 -xpxxn (x)= -qNA -xpx0 qND 0 xxn (3)二极管是一维的,4)小注入条件:p区:npp0 n区:pnn0 (5) 忽略耗尽区内的产生与复合,即认为电子、空穴通过势垒区所需时间很短,来不及产生与复合,故通过 势垒区的电流为常数,6.2.1 定性推导,方法步骤: (1)扩散方程 (2)边界条件 (3)求解方程得到

7、少子分布函数表达式 (4)由少子分布函数求出流过pn结的电流,6.2.1 定性推导,6.2.1 定性推导,6.2.1 定性推导,由pn结定律得耗尽层的边界条件,P区,n区,6.2.1 定性推导,边界条件,欧姆接触边界条件,6.2.1 定性推导,6.2.3严格推导,n 区,p 区,6.2.3严格推导,正偏时的过剩少子浓度分布,6.2.3严格推导,6.2.4 结果分析,非对称结中,重掺杂一侧的影响较小,可忽略,6.2.4 结果分析,4)载流子电流,6.2.4 结果分析,4)载流子浓度,6.2.4 结果分析,0偏,正偏,反偏,讨论题:理想二极管的I-V曲线如何随温度而变化,6.2.4 结果分析,例题

8、2,将电压VA=23.03kT/q 加在一个突变二极管上,且二极管n型和批p型区杂质浓度为NA=1017cm3和ND=1016cm3.画出器件准中性区内的多数和少数载流子浓度的log(p,n)与x的关系图。在你的图中确定出离耗尽层边界10倍和20倍扩散长度的位置,热平衡,耗尽层边界,小注入条件成立,少子在准中性区的分布,6.2.4 结果分析,6.3 与理想情况的偏差,击穿,Si pn结的I-V特性曲线,1。理想理论与实验的比较,耗尽层中载流子的复合和产生,理想电流-电压方程与小注入下Ge p-n结的实验结果符合较好, 与Si和GaAs p-n结的实验结果偏离较大。 实际p-n结的I-V特性:

9、(1)正向电流小时,实验值远大于理论计算值,曲线斜率q/2kT (2)正向电流较大时,理论计算值比实验值大(c段) (3)正向电流更大时,J-V关系不是指数关系,而是线性关系 (4)反向偏压时,实际反向电流比理论计算值大得多,而且 随反向电压的增加略有增加,6.3 与理想情况的偏差,2、反向偏置的击穿,当反向电流超过允许的最大值(如1mA或1A)时对应的反向电压的绝对值称为击穿电压VBR. 对于p+n和n+p突变结二极管中,击穿电压主要由轻掺杂一边的杂质浓度决定,6.3 与理想情况的偏差,P+n和n+p突变结,击穿电压随轻掺杂一侧杂质浓度的变化关系图,雪崩倍增是主要击穿过程,6.3 与理想情况

10、的偏差,雪崩击穿和齐纳击穿,小的反向电压时,载流子穿过耗尽层边加速边碰撞,但传递给晶格的能量少。大的反向电压碰撞使晶格原子“电离”,即引起电子从价带跃迁到导带,从而产生电子空穴对,6.3 与理想情况的偏差,齐纳击穿,隧穿效应:量子力学中,当势垒比较薄时,粒子能穿过势垒到达另一边。 隧穿发生的两个条件: 1、势垒一边有填充态,另 一边同能级有未填充态 2、势垒宽度小于10-6cm,隧穿过程示意图,6.3 与理想情况的偏差,反向偏置pn结二极管中隧穿过程的示意图,6.3 与理想情况的偏差,二极管的耗尽层宽度小于10-6cm,轻掺杂一侧的杂质浓度高于1017cm,齐纳过程比较显著,对应的二极管的击穿

11、电压比较小,当VBR6Eg/q,齐纳过程对二极管的击穿电流有明显贡献,当VBR4Eg/q,齐纳过程起主导作用。 雪崩击穿电压随温度升高而增加 齐纳击穿占主导时,击穿电压随温度升高而减小,6.3 与理想情况的偏差,p-n结平衡时,势垒区复合中心的产生率等于复合率 (1)反向时,势垒区电场加强,耗尽层中载流子的浓度将会下降低于平衡值,导致耗尽层中电子-空穴的产生,复合中心产生的电子、空穴来不及复合就被强电场扫出势垒区,形成产生电流IG-R, 因此增大了反向电流 IG-R随反向电压增加而增加,总反向电流IR=Is+IG-R 势垒区宽度W随反向偏压的增加而变宽,所以势垒区产生的电流是不饱和的,随反向偏

12、压增加而缓慢地增加,3势垒区的产生与复合电流,6.3 与理想情况的偏差,2)在正向偏压时,耗尽层内的载流子浓度高于其热平衡值,导致耗尽区载流子的复合。而形成正向复合电流IG-R 总的正向电流密度IF= IR-G+IDIFF。 当V小时,IR-G占主要地位(a段);当V大时,扩散电流占主要地位(b 段) (3,与材料有关,与温度有关,4正向大注入效应,当正向偏压比较大时,注入的少子浓度可以相当大,以至 pn(xn) nn0 pp(-xp)pp0 接近或超过原多子浓度。 由于介电驰豫作用,要保持电中性,也有同样浓度的多子积累: pn(xn)= nn(xn) ; pp(-xp)= np(-xp) 注入的非平衡载流子向体内扩散,但由于电子和空穴的扩散系数不同,又破坏了电中性,在扩散区内产生自建电场,此自建场一方面阻挡扩散得快的电子运动,同时又加快扩散得慢的空穴的运动,从而使两者的浓度梯度基本保持一致,6.3 与理想情况的偏差,扩散区内的自建电场的形成,也就使扩散区 内存在一定的电压降Vp和Vn ,这一电压降实际上就使真正落在耗尽区的正向电压V减少为VJ=V-Vp-Vn,从而使正向电流比理想情况下电流小 注入越大,VJ减小得越厉害,其具体计算可得 IFexp(qV/2kT,6.3 与理想情况的偏差,在势垒区和

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