PRC激光器日常维护.doc

PRC激光器日常维护激光器冷却液建议激光器冷却液建议按以下容积比率：Dowfrost溶液为40%，蒸馏水为60%，因为其它水添加盐的成份溶解热传导器的表面产生沉淀物，降低热传导效率或堵塞冷却液通道限制流量。Dowfrost溶液的工作温度范围从50（45）至250(121）而在水中溶解后起防冻保护作用可达10(-23),急冷保护可达60（51）。该溶液可以有效的防止金属的腐蚀，它渗透到金属的表面以防止酸的侵蚀。告诫：在开始清洁或维修之前，一定要确认高压电源的断路器是断开的，并且要锁住，任何疏忽将导致触电死亡。高压电源元件储存的电荷高达7分钟，激光器关闭之后，在开始维修之前要等待7分钟。真空泵压力控制阀不需要维修，但是，激光器工作2000小时之后，真空泵和去雾过滤器必须更换。如果在排气口观察到烟或油雾也必须更换。更换真空泵油所需材料：排油容器至少要0.4升。排油管直径为0.5英吋。第一步：真空泵有一个排油装置，如下图所示，排油管的一端接容器，拔掉推拉塞子，插上放油管。第二步：拧开加油口的盖子，打开阀门放油，然后关上阀门。第三步：添加真空泵油大约0.4升。第四步：观察玻璃油窗的油位，正常油位大约在油窗的中心位置。第五步：确认达到油位后，拧上加油孔的盖子。更换真空泵去雾过滤器第一步：从排气孔的盖上拆下排气管，用内六角扳手拧下两个螺钉，拆下盖子和密封垫。第二步：拧下弹簧垫圈的螺钉，拆下弹簧垫圈。第三步：拆下去雾器的两个”0”型圈。确保完好无损。第四步：安装新的去雾过滤器（新的”0”型圈），安装新的弹簧垫圈，装上排气孔盖。高压电源PRC开关型高压电源不需要维修。 调制器每个月要检查油位，正常油位要在透明有机玻璃盖板以下12mm。 光学元件光学元件拆下，清洁、替换和调整只能由PRC公司的服务人员或接受培训的服务技术人员完成。注意：内部光学元件清洁和更换，激光器需要调整达到最好的模式形状和最佳的功率输出。高功率光闸装置：当激光器运行了1000个小时之后，高功率闸装置必须要清洁，以后每6个月检查一次，如必要，需清洁。警告：在清洁反射镜之前，激光功率和高压电源断路器必须断开。清洁反射镜松开光束管的螺钉，从输出耦和镜向光闸方向滑动，取下光束管。 拆下光闸盖板的6个螺钉。 用柔软的镜头纸或柔软的棉棒蘸丙酮清洁反射镜。清洁激光器谐振腔集尘管：谐振腔集尘玻璃弯管如下图所示，所有集尘管每6个月必须检查并清洁。清洁时，首先激光器要回充到一个大气压，然后打开配气箱的空气阀门。细心的拆下集尘管并清洁。第一步：从聚乙烯管上拉下玻璃集尘器弯管。第二步：用清洁干燥的空气清洗集尘管。重新装上集尘管。第四步：关闭配气箱的空气阀门。激光器机箱内部元件：所有机箱内部的元件必须保持无油，无水，无灰尘，无污染，以避免降低冷却效果。PRC公司建议每2000小时用干燥的棉织物清洁谐振腔，调制器和高压电源。操作时注意周围的玻璃元件是很脆的。日常维护进度表维护项目时间间隔标准激光器设置任选项更换真空泵去雾器涡轮机轴承加油更换涡轮机轴承清洁谐振腔集尘器检测故障清洁机箱内环境检查调制器油位1000小时2000小时3000小时4000小时5000小时6000小时7000小时8000小时9000小时10000小时11000小时12000小时12500小时13000小时14000小时每月半年一年维护进度要点：1=激光器工作14000小时以后，每2000小时执行维护。2=涡轮机工作12500小时以后，每7500小时检查涡轮机轴承。3=新镜片工作1000小时以后和以后每半年检查一次谐振腔镜片。注：在冷水机和激光器之间100微米的过滤器要定期检查，必要时需更换。冷却水的混合比率也必须定期检查，确保蒸馏水和Dowfrost的比率。控制与状态指示器诊断面板或PRC仿真软件是用来指示激光器的运行状态和控制运行参数的。所有PRC激光器尽管外观和位置稍有变化，但是，控制和状态指示器是相同的。详细说明参考下表的叙述：条目描述操作1急停开关当激光器紧急情况，需要完全关闭激光器时，按下急停按钮，立即切断激光器所有控制电源，激光器完全停止工作。恢复时，逆时针旋转直到弹簧弹起，否则激光器不能运行。 2钥匙开关钥匙开关转到OOF位置时，切断所有控制电压和激光器的控制电路。转到ON的位置将控制激光器的电路。 3计时器记录激光器总的运行时间。（计时器记录的是激光器的运行时间，即：真空泵的工作时间，如果激光器不启动，激光器将不工作。4激光束输出显示该显示是激光器的平均输出功率（瓦），如果激光器是在脉冲方式下工作，显示就是平均功率。下半部分用来显示特殊状态的数据：“ESOP”闪烁：微处理器安全回路故障，激光器不能运行，钥匙开关转到OOF位置，与PRC公司服务部门联系。“hold”:激光器准备启动预热循环状态，等待高压命令。“cold”:激光器正在执行预热状态，大约需要5分钟。高压必须在ON的状态激光器才开始这个过程。5放电电流显示该显示指示的是放电管的电流值（mA）,可以用上、下箭头按钮选择每个放电管的电流值。（附：如果激光器工作在任何一种脉冲方式下，显示的是平均放电电流）。6放电电流显示减小增加按钮该显示是用来指示放电管的数字，如果按增加钮，每按一次数字增加1, 如果按减小钮，每按一次数字减小1。7激光器系统压力显示该显示指示的是激光器的真空压力，单位：“torr”(毫米汞柱)。8气体消耗显示及增加减小按钮该显示指示的是激光器总的气体消耗量，升小时。激光器启动期间，自动显示“CAL”,这时气体流量最大。气体消耗量可以用减小增加按钮来设定，范围是10、25、50、100、150、200和CAL(400升小时)。9手动回充按钮及回充过程显示激光器工作结束以后，用该按钮来回充气体（当激光器长时间关闭，即：超过一整夜时）。激光器停机以后，系统压力自动回充到112torr。10诊断面板状态指示器当激光器运行时，（真空泵运行时Vacuum Pump On 指示器亮，涡轮机运行时Compressor On指示器亮,高压启动时High Voltage ON指示器亮）。11诊断面板故障指示当激光器出现故障时，这些指示器亮，提醒操作者关闭激光器。12激光器故障检查状态按钮该按钮是用来显示激光器状态的，当按下按钮时，当前的故障灯亮大约10秒钟。13激光器复位按钮由于故障激光器关闭，指示器亮，在重新启动激光器之前必须按复位按钮。14复位按钮指示器由于故障激光器关闭，指示器亮，在重新启动激光器之前必须按复位按钮。15重新启动指示器由于故障原因激光器关闭，该指示器亮。诊断面板状态及故障指示器有3个状态指示器“真空泵启动”“涡轮机启动”“高压电源启动”，还有19个故障指示器。当故障出现时，指示器亮，激光器关闭。故障划分为三组：第一组（对应“真空泵启动”状态指示器）第二组（对应“涡轮机启动”状态指示器）第三组（对应“高压电源启动”状态指示器）下面的表格代表诊断面板的状态指示器和故障指示器，每个指示在每行的顶上是绿色的，（“Option 1”“Option 2”是琥珀色的）。故障指示器（第一组“真空泵启动”）故障指示描述真空泵过载断路器CB1或OL1起作用（热过载）故障指示器（第二组“涡轮机启动”）故障指示描述温度高当涡轮机温度超过110F时，该故障出现，热继电器断开变频器。注：激光器关闭以后，涡轮机温度升高是正常的。这时要重新启动激光器时，真空泵正常抽真空，涡轮机温度将均匀冷却下来。涡轮机过载断路器CB2跳闸。空气压力低当气体压力低于60PSI(4bar)时，故障指示灯亮。CO2压力低当气体压力低于60PSI(4bar)时，故障指示灯亮。N2压力低当气体压力低于60PSI(4bar)时，故障指示灯亮He压力低当气体压力低于60PSI(4bar)时，故障指示灯亮互锁打开机箱门的几个安全互锁开关是串联的，调制箱有机玻璃罩的几个磁开关也是串联的，当机箱门或机玻璃罩打开时，出现该报警。变频器故障多方面的问题可能引起变频器故障，这时变频器的显示屏上将显示故障代码，记录下故障代码后与PRC公司服务部门联系。注：不要按“Reset”按钮, 记录下变频器故障代码之后按“Reset”按钮。水流量低指示激光器的流量低。光闸水流量低冷却光闸的水流量低。水温高指示激光器的冷却水温度高。机箱温度高该故障指示机箱温度高。油温度高该故障指示调制箱内介质油温度高。高压电源故障对于所有高压电源，指示最大输出电流超过预先设定的电流。放电过流高压电源控制板监测到一个或更多的放电管超过预先设定的放电电流。注：当放电过流激光器关闭时，放电过流值仍然显示在面板上（直到按下复位按钮），按减小增加箭头按钮，观察几号放电管过流。光闸故障该指示可能有以下原因：光闸命令打开时，但光闸仍然关闭。光闸命令关闭时，但光闸仍然打开。传感器指示光闸既不打开也不关闭。传感器指示光闸既打开又关闭。注：光闸有两个热保护开关与光闸关闭开关串联。故障指示（第三组“高压电源准备”）故障指示描述涡轮机故障该指示说明涡轮机没有达到额定速度。系统压力该指示说明激光器的腔压不在正常工作压力范围。功能按钮服务跳线功能按钮F1-目前没有使用。F2-(冷却水流量)按下F2将显示冷却水的流量加仑分，再按一下恢复原来显示。F3（自动漏气比检测）在真空泵抽真空期间按下F3，激光器将进入自动漏气比检测模式，诊断面板的显示屏上将显示“hold”, 真空泵将继续抽真空，直到出现下列情况：如果在6分钟内抽真空在4-8torr之间，过程将停止，并且将有一分钟暂停，稳定系统压力，测量初始漏气比。30秒钟之后，漏气比（torr分）将显示在诊断面板上，替代闪烁的“hold”，漏气比的精确测量将在下一个4分钟内出现。如果在3分钟内抽真空达不到120torr,由闪烁的数字大于4090替代闪烁的“hold”，这说明漏气比太大，真空泵将停止。重复这个过程，如果