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江西金泰新能源有限公司编 号编 制控制状态受控扩散安全注意事项审 核批 准实施日期第A版/第0次修改第01页 共02页1.目的:1.1保障设备高效安全运行,预防设备故障发生,降低故障率,提高生产效率。2. 范围:2.1适用于扩散车间生产设备和生产操作人员3. 职责:3.1 设备运行部部长负责对本规定的实施进行监督检查3.2 车间所有人员按此规定进行作业4.安全注意事项4.1进、出舟必须观察炉口处石英舟舟角与石英管的间隙距离,要及时准确的判断出石英舟会不会与法兰相撞,如果发现异常及时按下紧急停止开关。通知设备人员检修。操作人员一定要在进、出舟全过程看守,确认运行动作完成后才能离开。4.2 进舟一定要确认浆在最上位,确认管内无舟;取舟时浆要在最下位4.3抬放石英舟时一定要确认手柄插到位,不能挂一半或没有完全插好就抬取石英舟。上、下舟时一定要带高温手套,防止烫伤和将石英舟扔弃。上舟时要确认将石英舟放到规定的位置上,杜绝歪放或放置不平衡。4.4石英舟卸下来之后不要急于取片,因为温度太高。如果急于取片容易脱落硅片和烫伤自己,还容易将吸笔烫坏。4.5如果运行过程中发现石英舟只被取出来一半或者没有取出时,要及时按下急停按钮。4.6石英舟手柄或其它物品使用完后放回原来的位置,禁止将其放在舟浆运行的轨道上容易造成事故。江西金泰新能源有限公司编 号编 制控制状态受控扩散安全注意事项审 核批 准实施日期第A版/第0次修改第02页 共02页4.7抬取石英舟行走时一定要注意踏板的棱角和高度,掌握好着力点将石英舟安全放置到位。4.8在换磷源的过程中应穿戴好相关的劳保防护用品。 4.9在磷源的接头处应放上PH试纸,当班班长应安排人员定时巡检,发现试纸变红或由
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