X射线荧光测厚仪.ppt

1、X-张艺兴荧光测厚仪，joho min，1，X-张艺兴荧光厚度测量原理，1，X-ray生成X-张艺兴波长大于0.5纳米的软X-ray。波长在0.1纳米以下的东西称为硬x射线。产生x射线最简单的方法是用加速电子撞击金属靶。在碰撞过程中，电子突然减速，其损失的动能(其中1)被发射成光子，形成x射线光谱的连续部分，这称为制动辐射。增加加速电压，增加电子携带的能量，有可能撞击金属原子的内层电子。所以内层形成空穴，外层电子跳到内层填补空穴，同时发射波长在0.1纳米左右的光子。外部电子转移发射的能量是量子化的，因此发射的光子波长也集中在某些部分，形成X光谱的特征线，这称为特性辐射。，变压器，玻璃，钨丝，金

2、属灯罩，(大卫亚设，美国电视电视剧，能源名言)，X张艺兴频谱生成机制的识别，X张艺兴光谱的生成阶段，识别出阳极物质的原子内部结构与相关密切相关。原子系统内的电子根据pauli不相容原理和能量最低原理分布在各个能级中。在电子轰击阳极的过程中，具有足够能量的电子落下阳极靶原子的内层电子时，低能级出现空位，系统能量升高，处于不稳定的激发态状态。高能级电子跳跃到低能级空位，以光子的形式显示X-张艺兴光谱。K-系统激发机制，K-层电子受到冲击时，原子系统能量从基态产生K-激发态，高能级电子填充K-层空位时产生K-系统辐射。l层电子填充空位时，产生k射线。m层电子填充空位时，产生k射线。2，X-张艺兴荧光

3、厚度原子价X-张艺兴光子(原级X-张艺兴)或其他微观粒子刺激使原子内层电子电离，产生空位，原子内层电子重新平衡，外层电子转移到内层电子空穴，次级X-张艺兴光子同时发射外层电子转移到内层电子空位的能量等于两种电子能级能量差。因此，根据不同的元素、元素X射线荧光特性波长，根据元素定性分析、元素发射荧光强度，对元素厚度或含量分析等进行定量分析。根据色散方法，X射线荧光分析器分为X射线荧光光谱仪(波长色散)和X射线荧光光谱仪(能量色散)。x射线荧光光谱主要由发生、散布、检测、记录和数据处理等单位组成。此处单位的作用是生成一阶x射线。由高压发生器和x光管组成。后者功率较大，水和油同时冷却。分布式设备的作

4、用是分离所需波长的x射线。由样品室、狭缝、测角仪、分析晶体等组成。通过测角仪，可以以12的速度旋转晶体和探测器，根据布拉格角位置测量不同波长的X射线，进行元素定性分析。探测器的作用是将X张艺兴光子能量转换为电能。常用的有盖格计数管、比例计数管、闪烁计数管、半导体探测器等。记录装置由放大器、脉冲幅度分析器、显示器部分组成。通过校正器的脉冲分析信号，可以直接输入计算机，在线处理，获得测试的元素含量。X-张艺兴荧光光谱仪没有复杂的分光系统，结构简单。X张艺兴此处的源可以使用X张艺兴生成器或放射性同位素。能量分散脉冲幅度分析器。探测器和记录等与x射线荧光光谱相同。X射线荧光光谱和X射线荧光光谱各有优缺

5、点。电子的分辨率高，对轻、重元素测量的适应性大。对高低的元素测量灵敏度都可以满足要求。后一种X-张艺兴检测的几何效率可提高23数量级，灵敏度。对能量范围大的x射线，可以同时进行能量分辨率(定性分析)和定量测量。能量在2万电子伏特以下的能谱的分辨率差异。2，X-张艺兴荧光厚度测量应用可以测量传记电镀、蒸汽电镀、离子镀等多种金属电镀的厚度，但适用于薄电镀测量。通过CCD相机，您可以观察并选择可以测量小区域涂层厚度的小区域，以避免直接接触或破坏测试。薄膜厚度测量软件采用标准配置，可以同时测量多层涂层(6层)和合金涂层厚度及组件，在实际应用中发现最外层的测量值是可靠的。测量元素范围：TiU目前我们中心有测量Cu Cr Ni Sn Au TiN涂层厚度所需的标准样品。厚度测量范围和误差，这些样本的膜层厚度的近似范围为Cu 0.2510m Cr 0.2510m ni 0.510m sn 0.520m au 0.12m以上标准样本误差：5 TiN 1.56m块大小16mil 12mil 6mil 4mil (1mil=25.4m)，以及传记冲击的危险经常存在于高压仪器周围，X善意阴极是危险的来源。安装时，可以将阴极装在仪表台下面或箱子、屏幕后面，以确保。辐射损伤是过度的x射线对人体的有害影响。局