YS-T 1655-2023 化学气相沉积硫化锌晶体

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员本文件起草单位：山东有研国晶辉新材料有限公司、云南驰宏国际锗业有限公司、国合通用测试评价认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司。1下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T6040红外光谱分析方法通则GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法JC/T185光学石英玻璃4牌号及分类4.1牌号4.2分类化学气相沉积硫化锌晶体按透射性能分为标准CVD硫化锌和多光谱CVD硫化锌。5技术要求5.1.1透过率5.1.1.1温度为20℃~25℃时，标准CVD硫化锌在8μm~10μm光谱范围内的透过率不小于70%;25.1.1.2温度为20℃~25℃时，多光谱CVD硫化锌在1064nm处的透过率不小于70%,1064nm处多光谱CVD硫化锌透过率曲线见图2。在3μm~5μm光谱范围内的透过率不小于69%,且透过率曲图21064nm处多光谱CVD硫化锌透过率曲线3温度为20℃~25℃时化学气相沉积硫化锌晶体的折射率应符合表1的规定。多光谱CVD硫化锌折射率允许偏差5.2弯曲强度5.2.1标准CVD硫化锌的弯曲强度应大于100MPa。5.2.2多光谱CVD硫化锌的弯曲强度应大于70MPa。化学气相沉积硫化锌的尺寸及允许偏差应符合表2的规定。允许偏差厚度t允许偏差5.4外观质量光谱CVD硫化锌呈无色透明。46试验方法6.1化学气相沉积硫化锌晶体透过率的检验按GB/T6040的规定进行。6.2化学气相沉积硫化锌晶体折射率的检验按附录A的规定进行。6.3化学气相沉积硫化锌晶体折射率不均匀性的检验按JC/T185的规定进行。6.5化学气相沉积硫化锌晶体的尺寸及允许偏差的测量用精度6.6化学气相沉积硫化锌晶体外观质量用目视检验。7.1.1产品应由供方技术监督部门或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件和订货单(或合同)的化学气相沉积硫化锌晶体的检验项目及取样应符合表3的规定。检验项目每炉至少抽取3件弯曲强度按GB/T2828.1的一般检验水平Ⅱ一次正常抽样方案进行58.1标志b)产品批号；c)产品数量或净重；b)需方名称；f)出厂日期a)供方名称；b)产品名称；d)产品数量；e)各项技术参数检验结果；g)本文件编号；a)产品名称；6b)产品技术要求；f)其他。7(规范性附录)化学气相沉积硫化锌晶体折射率测试方法本方法采用任意偏向角法测定化学气相沉积硫化锌晶体材料的红外折射率。A.2测试原理光线在两种媒质光滑分界面上折射时遵守折射定律，折射率测量原理图见图A.1。图A.1折射率测量原理图折射率按公式(A.1)进行计算：式中：入射角i和折射角φ分别由式(A.2)和式(A.3)计算：8标引序号说明：2——碳化硅红外光源；3——振荡狭缝；4——单色仪；5——探测器；6——聚焦离轴抛物镜；7——平面反射镜；8——锁相放大器；9——计算机处理系统；10——测角仪；11——被测样块；12——平面反射镜；13——准直离轴抛物镜。A.4样品9A.5试验步骤A.5.2将样品固定于测角仪样品台上。A.5.4根据测试要求选择单色仪工作波长。A.5.6记录计算机自动给出的折射率。A.5.8在相同的测试条件下，共测试3次取平均值作为样品折射率n。A.6试验数据处理A.6.1记录测量时的温度T,用公式(A.4)进行温度修正：T₈——样品实际温度，单位为摄氏度(℃A.6.2记录测试时的气压p,用公式(A.5