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试验汇报學院:专业:班级:姓名學号试验组试验時间10/5/12指导教師成绩试验项目名称扫描電镜试验目的結合扫描電镜实物,简介其基本构造和工作原理,加深對扫描電镜构造及原理的理解。选用合适的样品,通過對样品形貌衬度和原子序数衬度的观测,理解扫描電镜图像衬度原理及其应用。试验规定简述扫描電镜的基本构造及特點。举例阐明扫描電镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。试验原理在扫描電镜中,成象的信息重要是電子信息,根据近代的電子工业技术水平,虽然高速变化的電子信息,也能毫不困难的及時接受、处理和储存,故可進行某些動态過程的观测,假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通過電视装置,观测相变、断烈等動态的变化過程。用扫描電镜观测厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。扫描電镜重要有真空系统,電子束系统以及成像系统。真空系统重要包括真空泵和真空柱两部分。電子束系统由電子枪和電磁透镜两部分构成,重要用于产生一束能量分布极窄的、電子能量确定的電子束用以扫描成象。電磁透镜:热发射電子需要電磁透镜来成束,因此在用热发射電子枪的扫描電镜上,電磁透镜必不可少。一般會装配两组:汇聚透镜、物镜(物镜為真空柱中最下方的一种電磁透镜,它负责将電子束的焦點汇聚到样品表)。電子通過一系列電磁透镜成束後,打到样品上与样品互相作用,會产生次级電子、背散射電子、欧革電子以及X射线等一系列信号。因此需要不一样的探测器譬如次级電子探测器、X射线能谱分析仪等来辨别這些信号以获得所需要的信息。工作原理:右图是扫描電镜的原理示意图。由最上边電子枪发射出来的電子束,經栅极聚扫描電镜原理示意图焦後,在加速電压作用下,通過二至三個電磁透镜所构成的電子光學系统,電子束會聚成一种细的電子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下使電子束在样品表面扫描。由于高能電子束与样品物质的交互作用,成果产生了多种信息:二次電子、背反射電子、吸取電子、X射线、俄歇電子、阴极发光和透射電子等。這些信号被對应的接受器接受,經放大後送到显像管的栅极上,调制显像管的亮度。由于通過扫描线圈上的電流是与显像管對应的亮度一一對应,也就是說,電子束打到样品上一點時,在显像管荧光屏上就出現一种亮點。扫描電镜就是這样采用逐點成像的措施,把样品表面不一样的特性,按次序,成比例地转换為视频信号,完毕一帧图像,從而使我們在荧光屏上观测到样品表面的多种特性图像。试验仪器電子扫描显微镜、试样、导電胶试验环节制作好试样、打開電子扫描電镜用导電胶固定试样在载物台上放好试样後,抽真空,调整试样的距离、扫描的衬度和最佳倍数选择不一样倍数,照像试验数据试验總結可以不一样程度的看到试样的外观形貌和表面组织,對断裂的不一样区域可以看清晰。纤维区、放射区、瞬断区三個区域中,放射区占得比例大為脆断。韧涡

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