《钙钛矿真空镀膜机》征求意见稿

1钙钛矿真空镀膜机本文件规定了钙钛矿真空镀膜机的技术要求、试验方法、检验规则、安装、交付技术标准、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于钙钛矿太阳能电池生产中真空镀膜设备。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温GB/T2423.3环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验GB/T2589综合能耗计算通则GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T6394金属平均晶粒度测定方法GB/T11164真空镀膜设备通用技术条件GB/T13384机电产品包装通用技术条件GB/Z18039.1电磁兼容环境电磁环境的描述和分类GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T28786真空技术真空镀膜层结合强度测量方法胶带粘贴法GB/T41515涂布机术语GB/T42125.1测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分:通用要求GB/T42604真空技术真空计热阴极电离真空计规范JB/T9259压力式温度计SJ21257离子束溅射镀膜设备通用规范3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。23.1钙钛矿真空镀膜机perovskitevacuumcoatingmachine在真空环境下，利用物理气相沉积（PVD）等技术在基材表面沉积钙钛矿材料薄膜的设4技术要求4.1外观要求钙钛矿真空镀膜机外观要求见表1。表1外观要求序号项目要求1表面质量无划痕、裂纹、凹坑，涂层均匀2整洁度无起泡、开裂、变形3完整性结构件与控制件完整、各种标识清晰完好4美观性镀涂层平整、光洁、颜色一致4.2性能要求钙钛矿真空镀膜机主要性能要求见表2。表2性能要求序号项目技术指标1镀膜均匀性≤±5%2镀膜重复性≤±3%3真空度≥6.65×10-3Pa4基板温度控制精度5晶粒尺寸控制每100cm截面夹杂物≤50个6能耗指标≤110%7平均无故障时间≥1000h4.3安全要求4.3.1电气安全设备电气安全应符合GB/T42125.1的规定。4.3.2机械安全设备机械安全应符合GB/T5226.1的规定。4.3.3防护装置设备应配备紧急停止装置、安全门锁等防护装置。4.4结构要求钙钛矿真空镀膜机主要结构要求见表3。表3结构要求结构要素要求真空室真空度≥6.65×10-3Pa镀膜源厚度偏差≤5%3基板夹具偏移≤0.1m4.5人员要求4.5.1操作人员资质操作人员应具备相关专业背景或经过专业培训，熟悉钙钛矿真空镀膜机的操作流程和安全规范。4.5.2技术人员资质设备维护和技术支持人员应具备相应的技术资质和经验，能够及时处理设备故障和进行技术升级。4.6环境要求设备运行环境应满足表4。表4运行环境要求项目要求温度15℃-25℃湿度30%-70%洁净度电磁环境电磁场强度低于200A/m5试验方法5.1外观检查外观检查方法应按照SJ21257中的相关规定执行。5.2镀膜均匀性试验镀膜均匀性试验方法应按照GB/T41515中的相关规定执行。5.3镀膜重复性试验镀膜重复性试验应按照GB/T28786中的相关规定执行。5.4真空度试验真空度试验应按照GB/T42604中的相关规定执行。5.5基板温度控制试验基板温度控制试验按照JB/T9259中的相关规定执行。5.6晶粒尺寸控制试验晶粒尺寸控制试验应按照GB/T6394中的相关规定执行。5.7能耗指标试验能耗指标试验应按照GB/T2589中的相关规定执行。5.8平均无故障时间试验平均无故障时间试验应按照GB/T5080.7中的相关规定执行。45.9电气安全试验电气安全试验应按照GB/T42125.1中的相关规定执行。5.10机械安全试验机械安全试验应按照GB/T5226.1中的相关规定执行。5.11温度适应性试验温度适应性试验应按照GB/T2423.1中的相关规定执行。5.12湿度适应性试验湿度适应性试验应按照GB/T2423.3中的相关规定执行。5.13洁净度适应性试验洁净度适应性试验应按照GB/T25915.1中的相关规定执行。5.14电磁兼容性试验电磁兼容性试验应按照GB/Z18039.1中的相关规定执行。6检验规则6.1检验分类检验分为出厂检验和型式检验。6.2出厂检验6.2.1钙钛矿真空镀膜机应经制造厂质量检验部门检验合格，并附有产品合格证后方可出6.2.2出厂检验项目应包括本文件4.2全部内容。6.3型式检验6.3.2检验时机有下列情况之一时，应进行型式检验：a）新产品或老产品转产生产的试制定型鉴定时；b）正常生产时，定期或累积一定产量后，每年检验一次；c）正式生产后，结构、材料、工艺改变，可能影响产品性能时；d）停产2年后，恢复生产时；e）出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时。6.3.2抽取规则型式检验的样本应从出厂检验合格的产品中随机抽取，抽样数量应符合GB/T2828.1中相关规定。6.4判定规则6.4.1出厂检验中，若有一项不合格，允许返修后重新检验，若仍不合格，则判该产品为不合格品。56.4.2型式检验中，若有一项不合格，允许加倍抽样复检，若复检仍不合格，则判该次型式检验为不合格。7安装、交付技术标准7.1概述安装、交付技术标准系指为满足和保证设备质量要求，对设备安装和交付的要求所制定的标准。7.2安装、交付技术标准内容主要包括：a)现场安装程序、方法、要求和注意事项；b)安装验收技术条件，即对安装完工后的试运行技术要求和方法做出的规定；c)交付验收程序、抽样及试验方法；d)安装、交付技术文件的完整性要求。7.3安装、交付技术标准制定要求主要包括：a)应制定防止安装不当降低设备质量、可靠性、安全性的规定。b)对有贮存期限或经运输、贮存后质量可能变化的产品，应明确交付检查项目、方法及不能交付的情形。c)应规定现场安装、调试、测试设备的技术要求和精密度，并满足客户要求。8标志、包装、运输、贮存8.1标志设备应在明显位置固定产品铭牌，铭牌内容包括产品名称、型号、规格、制造日期、出厂编号、制造商名称等信息，标志应符合GB/T191的规定。8.2包装设备包装应符合GB/T13384的规定，包装内应附有产品