电子工厂化学品系统设计规范

电子工厂化学品系统设计规范

编制工作大纲

一.编制依据

根据建设部《关于印发〈2007年工程建设标准规范制定、修订计划（第二批）〉的通知》

（建标（2007）126号）和信息产业部《关于下达〈二OO七年度电子工程建设标准定额制订修

订计划）的通知》（信规函（2007）18号）的文件精神，及2006年10月信息产业部电子工程标

准定额站在北京召开的2007年度标准规范制修订计划工作会议，经主编单位专家和编写人员讨

论，初步确定该规范的编制工作大纲。

二.编制内容

本规范的编写将适用于集成电路/太阳能芯片生产厂、新型显示器件厂（TFT/PDPD高纯化

学品配送系统管道的设计、施工及验收。主要技术内容包括：高纯化学品（含研磨液）配送系统

设计，室内管道系统设计，品质在线侦测系统设计，有机溶剂间的防爆设计，气体、液体泄漏检

测设计，配套的通风、废气处理、纯水、工艺系统废液收集、电力、生命安全等支持系统设计，

土建设计以及上述设备、管道的施工及验收。

三.编制工作遵循的主要原则

1.积极吸收国内外电子工厂成熟的化学品系统设计的特点，参考欧美发达国家有关技术规

范与标准，注意鼓励新技术、新工艺、新设备、新材料的应用。

2.编写过程应以科学的态度总结芯片生产厂、新型显示器件系统等电子工厂化学品系统设

计、运行经验，较好地反映近年来的建设成果和运行经验，做到既有前瞻性又有科学

性、实用性和可操作性。

3.严格按建设部[1996]626号《工程建设标准编写规定》和《工程建设标准出版印刷规

定》进行编写。编写工作阶段为准备阶段（含调研）、征求意见稿、送审稿、报批稿。

4.与现行国家标准、规范相协调。

5.以认真、缜密的态度从事调研和编写工作，按计划完成任务。

四.章节构成及分工

（―*）章节构成

1.总则

（说明：应包括本规范的编写目的，与其它标准规范的关系，应包括规范适用范围，本

规范不包括化学品提纯工艺系统、不包括电子工厂废水、纯水、废气的化学品供应系统，只

包括生产工艺上使用到的高纯化学品供应和回收系统，规范应重视新技术、节能和环保设备

的推广应用的规定。）

2.术语

3.化学品配送系统（设计）

3.1一般规定

3.2设备要求

3.3管道设计

3.4管材与附件

（说明：采用国际通用的管材名称，如PFA、SS304L.SS316L等，可在条文说明中详细

说明管道材料的成分要求）。

3.5管道标识

（说明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）

4.化学品回收系统（设计）

4.1一般规定

4.2设备要求

4.3管道设计

4.4管材与附件

（说明：采用国际通用的管材名称，如CPVC,HDPE、碳钢衬PTFE等，可在条文说明中详

细说明管道材料的成分要求）。

4.5管道标识

（说明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）

5.监控及安全系统（设计）

（说明：应包括化学品连续不间断供应系统的监控措施，生命安全保障系统，含气体、液

体泄漏环境保护和检测系统、消防疏散、地震等紧急情况等安全设施的规定）

5.1一般规定

5.2设备要求

5.3系统要求

5.4仪表与配件

6.相关专业

6.1一般规定

本节应包括：

1）包括化学品存放的一般规定，临时存放一般规定，集中存放在化学品库房时应执行现

行建筑设防火计规范中的相关条文。

2）在总图规划上化学品配送设备间、临时化学品储存间、电气控制间的位置规定）。

6.2建筑结构

（说明：应包括化学品配送设备间、化学品储存间、电气控制间等设计规定、以及防腐/

防爆的规定）。

6.3电气及仪表控制

（说明：应包括电气设计、照明、仪表、防雷及接地等的规定）

6.4给水排水及消防

（说明：应包括纯水供应、消防系统、紧急洗眼/淋浴系统设计的规定）

6.5采暖通风与空气调节

（说明：应包括化学品配送设备间采暖通风与空气调节，以及废气处理系统的规定）

7.工程施工及验收

7.1设备和管道系统安装

（说明：应包括洁净室要求、设备、材料存放规定、管道焊接规定等，管道焊接包括焊

接方式的规定，如采用超高纯气体应自动焊，高纯气体宜采用轨道焊等规定。）

7.2相关系统安装

7.3改扩建工程的施工

7.4施工及竣工验收

（说明：仅为技术上的验收，行政上的竣工验收不在本规范内。应包括管道试压、吹扫、置

换、充氮保护、取样位置等规定，体现高纯气体与普通气体间验收的差别）

7.4.1验收的内容

7.4.2验收的方法

7.4.3验收的合格标准

附录A车间内架空化学品管道与其它架空管线之间的最小净距

附录B电子工厂常用高纯化学品（含研磨液）的种类及物理、化学特性、储存方式

附录C电子工厂高纯化学品物流简图

（二）分工

1.中国电子系统工程第二建设有限公司

主要负责第7章：工程施工及验收，华虹、德芯配合中电二编写，十一院负责检查、

整理、排版。

2.上海华虹-NEC

负责第3.2,3.4,4.2,4.4,5.2,5.4章节。

3.德芯电子（昆山）有限公司

负责第3.2,3.4,4.2,4.4,5.2,5.4章节。

4.信息产业电子第十一设计研究院有限公司

负责规范编写整体进度、质量控制、文件整理、编辑，并负责第1,2,

3.1,3.3,3.5,4.1,4.3,4.5,5.1,5.3»5.5章节。

五.调研及其分工

（一）调研内容

调查近年来如下几类电子工业高纯化学品系统设计、施工、运行相关内容，填写附表，要

求每类不少于两个电子工厂项目。

1.集成电路/太阳能芯片生产厂

2.新型显示器件（PDP/TFT）

（二）分工

1.中国电子系统工程第二建设有限公司

负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的施工或

运行情况,并完成调查表。

2.上海华虹-NEC

负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的运行情

况，并完成调查表。

3.德芯电子（昆山）有限公司

负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的运行情

况，并完成调查表。

4.信息产业电子第十一设计研究院负责

负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的设计情

况，并完成调查表。

六.专题报告

各单位自行调查，收集资料，提供电子工厂高纯化学品系统“国内外技术现状和发展趋势”

专题报告一篇。

七.进度安排

1.第一次编写工作会议

2008年4月召开第一次编写工作会议，确定编写组的组成、编写工作大纲和各项工作分

工。

2.征求意见初稿

2008年10月底各单位完成征求意见稿的编写，提交主编单位，汇总后形成征求意见初

稿，条文说明最好同时提供。

2008年11月底由主编单位完成征求意见初稿。

2008年12月各单位完成高纯化学品系统调查和专题报告1份，提交主编单位。

3.第二次编写工作会议

2008年12月召开，完成征求意见稿第二次编写工作会议。

2009年2月发行并发行征求意见稿至有关单位、专家征求意见。

4.送审稿

2009年6月各单位根据对征求意见稿的反馈意见进行修改，提交主编单位、汇总，形成

送审稿，发至有关专家征求意见。

5.第三次编写工作会议（送审稿审查会）

2009年6月召开送审稿审查会，2009年6月各单位根据对送审稿的审查意见进行修改

（含条文说明修改），提交主编单位。

6.报批稿

2009年8月汇总，形成报批初稿。

7.第四次编写工作会议

2009年10月召开第四次编写工作会议，完成规范的报批稿，上报。

八.编写组的组成

主编单位：

信息产业电子第十一设计研究院有限公司

参编单位：

中国电子系统工程建设第二建设公司

上海华虹-NEC

德芯电子（昆山）有限公司

九.附件

高纯化学品配送系统调查项目表（一）

高纯化学品配送系统调查项目表（二）

高纯化学品配送系统调查项目表（三）

化学品配送系统调查项目表（一）

建设单位

设计单位

工程名称竣工时间

工程类型新建□扩建□改建口

化学品配送是否位于厂区主要道路旁边是否靠近工艺使用点

设备间是口否口是口否口

位置

化学品配送1.单建口合建口

设备站建筑2.单层口多层口

形式

化学品配送底层口中间层口顶层口

站在建筑中

位置

工厂类型和产品年产量

生产产品

化学品名称

建筑面积

建筑装修1.墙体

A.防爆墙口

B.非防爆墙口

2.地面

A.防静电地面口

B.非静电地面口

3.吊顶

A.硬吊顶口

B.普通吊顶口

有机化学品C.无吊顶口

配送站4.门

尺寸

防火等级

配电方式1.只有一路市电口

2.两路市电互投

A.变电站互投口

B.末端互投口

3.一路正常电和一路柴油机电源互投

A.变电站互投口

B.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防设置1.喷淋系统

房间口

配送设备口

2.消火栓系统口

3.消防灭火器类型

A.房间

1）C02Q

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

B.配送柜

1）C02Q

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

空调、采暖方式及温1.空调/采暖

湿度要求有口无口

2.温度要求

°C

3.湿度要求

%

一般通风设置有口无口

紧急通风设置有口无口

给水1.自来水口

2.冷冻水口

3.PCWQ

4.纯水口

排水/废液收集1.地漏口

2.地沟口

3.废液收集系统口

4.阀门井口

1是□

连接FMCS或BMS•

2否□

•

化学品名称

建筑面积

建筑装修1.墙体

A.防爆墙口

B.非防爆墙口

2.地面

无机化学品A.防静电地面口

配送站B.非静电地面口

3.吊顶

A.硬吊顶口

B.普通吊顶口

4.门

尺寸

防火等级

配电方式1.只有一路市电口

2.两路市电互投

A.变电站互投口

B.末端互投口

3.路正常电和路柴油机电源互投

A.变电站互投口

B.末端互投口

4.是否配UPS口

是口否口

消防设置1.喷淋系统口

2.消火栓系统口

3.消防灭火器类型

A.房间

1）C02D

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

B.配送柜

1）C02D

2）干粉口

3）泡沫口

4）水口

空调、采暖方式及温1.空调/采暖

湿度要求有口无口

2.温度要求

°C

3,湿度要求

%

一般通风设置有口无口

紧急通风设置有口无口

给水1.自来水口

2.冷冻水口

3.PCW口

4.纯水口

排水1.地漏口

2.地沟口

3.废液收集系统口

4.阀门井口

连接FMCS1.是口

2.否口

有机化学品建筑面积

（临时）存建筑装修1.墙体

放间A.防爆墙口

B.非防爆墙口

2.地面

A.防静电地面口

B,非静电地面口

3.吊顶

A.硬吊顶口

B.普通吊顶口

4.门

尺寸

防火等级

配电方式1.只有一路市电口

2.两路市电互投

C.变电站互投口

D.末端互投口

3.一路正常电和一路柴油机电源互投

C.变电站互投口

D.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防设置1.喷淋系统口

2.消火栓系统口

3.消防灭火器类型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空调、采暖方式与温1.空调/采暖

湿度要求有口无口

2.温度要求

°C

3.湿度要求

%

一般通风设置有口无口

紧急通风设置有口无口

无机化学品建筑面积

（临时）存建筑装修1.墙体

放间A.防爆墙口

B.非防爆墙口

2.地面

A.防静电地面口

B,非静电地面口

3.吊顶

A.硬吊顶口

B.普通吊顶口

4.门

尺寸

防火等级

配电方式1.只有一路市电口

2.两路市电互投

E.变电站互投口

F.末端互投口

3.一路正常电和一路柴油机电源互投

E.变电站互投口

F.末端互投口

4.是否配UPS

是口否口

消防设置4.喷淋系统口

5.消火栓系统口

6.消防灭火器类型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空调、采暖方式与温1.空调/采暖

湿度要求有口无口

2.温度要求

°C

3.湿度要求

%

一般通风设置有口无口

紧急通风设置有口无口

建筑面积

建筑装修1.墙体

A.防爆墙口

B.非防爆墙口

2.地面

控制监测室

A.防静电地面口

B.非静电地面口

3.吊顶

A.硬吊顶口

B.普通吊顶口

配电方式5.只有一路市电口

6.两路市电互投

G.变电站互投口

H.末端互投口

7.路正常电和路柴油机电源互投

G.变电站互投口

H.末端互投口

8.是否配UPS

是口否口

消防设置7.喷淋系统口

8.消火栓系统口

9.消防灭火器类型

A.C02D

B.干粉口

C.泡沫口

D.水口

空调、采暖方式与温1.空调/采暖

湿度要求有口无口

2.温度要求

°C

3,湿度要求

%

一般通风设置有口无口

紧急通风设置有口无口

控制监控系统设置简

述

化学品配送系统调杳项目表（二）

序