扩散泵的结构示意图和工作原理

扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的真空（1~10-1Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。油扩散泵故障处理（1）扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

（2）泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

（3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

（4）泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10℃～40℃之间。

（5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。

（6）泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。

a.泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。

b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。

关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题,关于扩散泵返油问题，得出如下几点：咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。至于反油率，泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。a.顶喷嘴帽松动，间隙过大；b.加热功率不对；德国博世真空泵机油更换顺序※点击照片可以将图片放大。①排油口

②机油过滤器

③注油口

④机油观察窗(透明玻璃)１.切断电源，排出全部机油。(①)

※此操作前先将泵运转几分钟，让机油稍加热后更容易排出。２.每更换两次机油时应将机油过滤器也换掉(②)。

更换机油过滤器时应使用专用工具，以免损坏新过滤器。３.新过滤器丝口涂点润滑剂后用手旋紧既可。４.然后加入适量的新机油。５.加至观察窗④)油量标准线上面一点就可以了。※加油完毕后运转一下泵，观察机油下降的程度。

特别是同时更换机油过滤器时更要注意油量。

※当心泵体及废油温度，以防止烫伤。每次真空泵运行前注意泵油观察窗的油位状态及颜色，如果油变为黑色时应及时更换.罗茨泵第一次换油在运行500小时后，以后每3000小时换油；机械泵第一次换油在运行150小时后，以后每1000小时或3个月换油。扩散泵油的返油过程示意图/pumps/steam/10340.html扩散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下运动，由于随机的散射或带方向性的放射，从喷嘴喷出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移动，这样就形成了返流；返流是扩散泵系统的主要污染！

因此，为了减少返流，在喷嘴和被抽系统之间通常加上合适的捕集装置；例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同时泵的抽速也只是降