等离子体参数测试方法 编制说明

《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明1《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明32号“国家标准化管理委员会关于下达2024年第五批推荐性国家标准计划及相关），证，并召开了多次专家组会，与会专家一致认为《等离子体参数综合测试方法》秘书处向中国科学院条件保障与财务局提交“关于调整《等离子体参数综合测试方法》项目名称的申请”，详见附件一。该申请于2024年12月30日获得中科院条2024年7月《等离子体参数测试方法》国家标准的任务下达后，牵头单位中12中国科学院空天信息3安徽中科大禹科技有《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明2456中国科学院等离子体7核工业西南物理研究院89中国科学技术大学先1234负责制定标准起草计划和5负责起草和审核标准内容678负责起草标准电子参数测9负责起草标准离子参数测负责起草标准激光专业技负责离子和电子参数试验3负责起草粒子种类参数测院负责粒子种类参数试验验证亿、1200亿和500亿美元左右，在环境保护领域的应用市场（全球废水排放量已《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明4离子体物理学分会以及欧盟2017年规划中都提出了等离子体测量标准以及等离哈尔滨工业大学以及大连理工大学等研究机构均提出等离子体测量测量以及标《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明52024年9月，在合肥召开了编写组会议。标准编写组通过调查研究现有国际《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明62024年9月至12月，标准编制组根据建议和修改意见，对《等离子体参数测《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明7学和中科院等离子体物理研究所建立的离子参数测试装置[3-4]，建立了等离子体离子参数测试装置。目前，常用的离子参数测试装置主要包括质谱探针-示波器电参数和表面效应影响，在高密度或强磁场环境中可能失效；激光器-光谱仪测噪声。因此，本标准选择使用激光器-光谱仪测试系统测本标准参考中国科学技术大学建立的电子参数测试装置[5-6]，建立了等离子体电子参数测试装置。目前，常用的电子参数测试仪器主要包括朗缪尔探《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明8根据中国科学技术大学给出的等离子体粒子种类测试方法[7]，参考GB/T43861—2024《微波等离子体原子发射光谱方法通则》规定的发射光谱测试方法·OHHαHβO测试方法[3-4，10]，参考GB/T38257—2019《激光诱导击穿光谱《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明9根据中国科学技术大学以及中国工程物理研究院给出的等离子体电子密度测试方法[5-6，11]，结合多次编写工作小组和专家测试方法的建议，确定了电子密《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明12本标准针对等离子体参数测试方法的规范化，填补了国内外在等离子体技通过明确统一的等离子体参数测试方法，等离子体相关设备和产品的研发本标准规定了统一的等离子体参数测试方法，为等离子体相关设备和技术《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明等离子体参数测试方法标准的实施将形成有效的统一测试方法，有助于提本标准的实施将推动等离子体参数测试技术的创新和发展，促进相关企业通过本标准的发布和实施，等离子体设备和技术在应用前经过严格的参数《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明[1]GB/T43861—2024微波等离子体原子发射光谱方法[2]GB/T38257—2019激光诱导击穿光electrontemperaturedeterminationinlow-temperaturecollisionalplasmas[f《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明（征求意见稿）《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明123波长调节范围：410nm-900nm45671），《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明eV，离子速度分布函数可由图S3直接得到，频移ΔV每变化1.5GHz与速度变化方法（征求意见稿）》中的方法计算得到：电子温度为2.8±0.3eV，电子密度为2.0×1018m-3。86428642Measuredda