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文档简介
一、半导体物理知识大纲
核心知识单元A:半导体电子状态与能级
少半导体中的电子状态(第1章)
今半导体中的杂质和缺陷能级(第2章)
核心知识单元B:半导体载流子统计分布与输运
“半导体中载流子的统计分布(第3章)
“半导体的导电性(第4章)
今非平衡载流子(第5章)
核心知识单元C:半导体的基本效应(物理效应与应用一一掌
握各种半导体物理效应、分析其产生的物理机理、掌握具体的
应用)
今半导体光学性质(第10章)
今半导体热电性质(第11章)
“半导体磁和压阻效应(第12章)
二、半导体物理知识点和考点总结
第一章半导体中的电子状态
本章各节内容提要:
本章主要讨论半导体中电子的运动状态。主要介绍了半导体的几
种常见晶体结构,半导体中能带的形成,半导体中电子的状态和能带
特点,在讲解半导体中电子的运动时,引入了有效质量的概念。阐述
本征半导体的导电机构,引入了空穴散射的概念。最后,介绍了Si、
Ge和GaAs的能带结构。
在L1节,半导体的几种常见晶体结构及结合性质。
在1.2节,为了深入理解能带的形成,介绍了电子的共有化运动。
介绍半导体中电子的状态和能带特点,并对导体、半导体和绝缘体的
能带进行比较,在比基础上引入本征激发的概念。
在1.6节,介绍Si、Ge的能带结构。在1.7节,介绍HI-V族化
合物的能带结构,主要了解GaAs的能带结构。
本章重难点:
重点:
1、半导体硅、错的晶体结构(金刚石型绐构)及其特点;三五族化
合物半导体的闪锌矿型结构及其特点。
2、熟悉晶体中电子、孤立原子的电子、自由电子的运动有何不同:
孤立原子中的电子是在该原子的核和其它电子的势场中运动,自
由电子是在恒定为零的势场中运动,而晶体中的电子是在严格周
期性重复排列的原子间运动(共有化运动),单电子近似认为,晶
体中的某一个电子是在周期性排列且固定不动的原子核的势场以
及其它大量电子的平均势场中运动,这个势场也是周期性变化的,
而且它的周期与晶格周期相同。
3、晶体中电子的共有化运动导致分立的能级发生劈裂,是形成半导
体能带的原因,半导体能带的特点:
①存在轨道杂化,失去能级与能带的对应关系。杂化后能带重新分
开为上能带和下能带,上能带称为导带,下能带称为价带
②低温下,价带填满电子,导带全空,高温下价带中的一部分电子
跃迁到导带,使晶体呈现弱导电性。
③导带与价带间的能隙(Energygap)称为禁带(forbiddenband).
禁带宽度取决于晶体种类、晶体结构及温度。
④当原子数很大时,导带、价带内能级密度很大,可以认为能级准
连续。
4、晶体中电子运动状态的数学描述:自由电子的运动状态:对于波
矢为k的运动状态,自由电子的能量E,动量p,速度v均有确定
的数值。因此,波矢k可用以描述自由电子的运动状态,不同的k
值标志自由电子的不同状态,自由电子的E和k的关系曲线呈抛
物线形状,是连续能谱,从零到无限大的所有能量值都是允许的。
晶体中的电子运动:服从布洛赫定理:晶体中的电子是以调幅平
面波在晶体中传播。这个波函数称为布洛赫波函数。求解薛定谤
方程,得到电子在周期场中运动时其能量不连续,形成一系列允
带和禁带。一个允带对应的K值范围称为布里渊区。
5、用能带理论解释导带、半导体、绝缘体的导电性。
6、理解半导体中求E(k)与k的关系的方法:晶体中电子的运动状
态要比自由电子复杂得多,要得到它的E(k)表达式很困难。但
在半导体中起作用地是位于导带底或价带顶附近的电子。因此,
可采用级数展开的方法研究带底或带顶E(k)关系。
带中电子便参与导电。因为这些电子在导带底部附近,所以,它
们的有效质量是正的。同时,价带缺少了一些电子后也呈不满的
状态,因而价带电子也表现出具有导电的特性,它们的导电作用
常用空穴导电来描写。
12、空穴的概念:在牛顿第二定律中要求有效质量为正值,但价带顶
电子的有效质量为负值。这在描述价带顶电子的加速度遇到困难。
为了解决这一问题,引入空穴的概念。
①价带中不被电子占据的空状态
②价带顶附近空穴有效质量机;>0,数值上与该处的电子有效质
量相同,即〃[;=一加:>0,空穴带电荷+q。
③空穴的能量坐标与电子的相反,分布也服从能量最小原理。
13、本征半导体的导电机构:对本征半导体,导带中出现多少电子,
价带中就对应出现多少空穴,导带上电子参与导电,价带上空穴
也参与导电,这就是本征半导体的导电机构。这一点是半导体同
金属的最大差异,金属中只有电子一种荷载电流的粒子(称为载
流子),而半导体中有电子和空穴两种载流子。正是由于这两种载
流子的作用,使半导体表现出许多奇异的特性,可用来制造形形
色色的器件。
14、回旋共振的实睑发现,硅、错电子有效质量各向异性,说明其等
能面各向异性。通过分析,硅有六个椭球等能面,分别分布在<100>
晶向的六个等效晶轴上,电子主要分布在这六个椭球的中心(极
值)附近。仅从回旋共振的实验还不能决定导带极值(椭球中心)
的确定位置。通过施主电子自旋共振实验得出,硅的导带极值位
于<100>方向的布里渊区边界的0.85倍处。
15、n型错的实验指出,错的导电极小值位于<100>方向的布里渊区
边界上共有八个。极值附近等能面为沿<100〉方向旋转的八个横球
面,每个椭球面有半个在布里渊区,因此,在简约布里渊区共有
四个椭球。
16、硅和错的价带结构:有三条价带,其中有两条价带的极值在k=
0处重合,有两种空穴有效质量与之对应,分别为重空穴和轻空穴,
还有第三个价带,其带顶比前两个价带降低了△,对于硅,A=
0.04ev,对于错A=0.29ev,这条价带给出了第三种空穴。空穴重
要分布在前两个价带。在价带顶附近,等能面接近平面。
难点:
1、描述晶体的周期性可用原胞和晶胞,要把原胞和晶胞区分开。在
固体物理学中,只强调晶格的周期性,其最小重复单元为原胞,
例如金刚石型结构的原胞为棱长ga的菱立方,含有两个原子;
在结晶学中除强调晶格的周期性外,还要强调原子分布的对称性,
例如同为金刚石型结构,其晶胞为棱长为a的正立方体,含有8
个原子。
2、闪锌矿型结构的HI—V族化合物和金刚石型结构一样,都是由两
个面心立方晶格套构而成,称这种晶格为双原子复式格子。如果
选取只反映晶格周期性的原胞时,则每个原胞中只包含两个原子,
一个是in族原子,另一个是v族原子。
3、布洛赫波函数的意义:晶体中的电子在周期性势场中运动的波函
数与自由电子的波函数形式相似,代表一个波长为1/k而在k方
向上传播的平面波,不过这个波的振幅"(x)随x作周期性的变
化,其变化周期与晶格周期相同。所以常说晶体中的电子是以一
个被调幅的平面波在晶体中传播。显然,若令4(X)为常数,则
在周期性势场中运动的电子的波函数就完全变为自由电子的波函
数了。其次,根据波函数的意义,在空间某一点找到电子的几率
与波函数在该点的强度(即1/2二砂,)成比例。对于自由电子,
I砂」二A2,即在空间各点波函数的强度相等,故在空间各点找到电
子的几率相同,这反映了电子在空间中的自由运动,而对于晶体
中的电子,I砂1二14(X)城(X)|,但4(X)是与晶格同周期
的函数,在晶体中波函数的强度也随晶格周期性变化,所以在晶
体中各点找到该电子的几率也具周期性变化的性质。这反映了电
子不再完全局限在某一个原子上,而是可以从晶胞中某一点自由
地运动到其它晶胞内的对应点,因而电子可以在整个晶体中运动,
这种运动成为电子在晶体内的共有化运动。组成晶体的原子的外
层电子共有化运动较强,其行为与自由电子相似,常称为准自由
电子。而内层电子的共有化运动较弱,其行为与孤立原子中的电
子相似。最后,布洛赫波函数中的波矢k与自由电子波函数的一
样,它描述晶体中电子的共有化运动状态,不同的k的标志着不
同的共有化运动状态。
4、金刚石结构的第一布里渊区是一个十四面体,(见教材图
要注意图中特殊点的位置。
5、有效质量的意义:引入有效质量后,电子的运
动可用牛顿第二定律描述,a二f/m产。在意,这是一个经典力学方
程,f是外合力。半导体中的电子除了外力作用外,还受到半导体
内部原子及其它电子势场力的作用,这种作用隐含在有效质量中,
这就使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规律时,可以
不涉及半导体内部势场的作用。
6、价带电子导电通常用空穴导电来描述。实践证
明,这样做是十分方便的。但是,如何理解空穴导电?设想价带
中一个电子被激发到价带,此时价带为不满带,价带中电子便可
导电。设电子电流密度密度为J,则:J=价带(k状态空出)电
子总电流
可以用下述方法计算出J的值。设想以一个电子填充到空的k状
态,这个电子的电流等于电子电荷-q乘Xk状态电子的速度v(k),
即
k状态电子电流=(~q)v(k)
填入这个电子后,价带又被填满,总电流应为零,即
J+(-q)v(k)=0
因而得到
J=(+q)v(k)
这就是说,当价带k状态空出时,价带电子的总电流,就如同一
个正电荷的粒子以k状态电子速度V(k)运动时所产生的电流。
因此,通常把价带中空着的状态看成是带正电的粒子,称为空穴。
引进这样一个假象的粒子一一空穴后,便可以很简便地描述价带
(未填满)的电流。
7、回旋共振原理及条件。
8、对E(k)表达式和回旋共振实验有效质量表达
式的处理。在k空间合理的选取坐标系,可是问题得到简化。如
选取E。为能量零点,以益为坐标原点,取《、k小心为三个直角
坐标轴,分别与椭球主轴重合,并使原地沿椭球长轴方向(即"沿
<100>方向),则等能面分别为绕砥轴旋转的旋转椭球面。E(k)
表达式简化为E(k)=^(空¥1+反];如果占、鼠轴选取恰当,
计算可简单,选取%使磁感应强度B位于匕轴和砥轴所组成的平面
内,且同心轴交9角,则在这个坐标系里,B的方向余弦。、£、/
分别为a=sin。,4=0,/=cos^o*二叫,----丁4-------不
\mfsin_9+gcos-0
本章基本概念及名词术语:
1、原胞和晶胞:都是用来描述晶体中晶格周期性的最小重复单元,
但二者有所不同。在固体物理学中,原胞只强调晶格的周期性;
而在结晶学中,晶胞还要强调晶格中原子分布的对称性。
2、电子的共有化运动:原子组成晶体后,由于原子壳层的交叠,电
子不再局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到另一个原子
上去,因而,电子将可以在整个晶体中运动,这种运动称为弓子
的共有化运动。但须注意,因为各原子中相似壳层上的电子才有
相同的能量,电子只能在相似壳层中转移。
3、能带产生的原因:
定性理论(物理概念):晶体中原子之间的相互作用,使能级分裂
形成能带
定量理论(量子力学计算):电子在周期场中运动,其能量不连续
形成能带。
能带(energyband)包括允带和禁带。
允带(allowedband):允许电子能量存在的能量范围。
禁带(forbiddenband):不允许电子存在的能量范围。
百又分为空带、满带、导带、价带。
空带(emptyband):不被电子占据的允带。
满带(filledband):允带中的能量状态(能级)均被电子占据。
导带(conductionband):电子未占满的允带(有部分电子。)
«(valenceband):被价电子占据的允带(低温下通常被价电
子占满)。
4、用能带理论解释导体、半导体、绝缘体的导电性:
固体按其导电性分为导体、半导体、绝缘体,其机理可以根据电
子填充能带的情况来说明。
固体能够导电,是固体中的电子在外场的作用下定向运动的结果。
由于电场力对电子的加速作用,使电子的运动速度和能量都发生
了变化。半导体和绝缘体的能带类似,即下面是已被价电子占满
的满带(其下面还有为内层电子占满的若干满带),亦称价带,中
间为禁带,上面是空带。因此,在外电场作用下并不导电,但是
这只是绝对温度为零时的情况。当外界条件发生变化时,例如温
度升高或有光照时,满带中有少量电子可能被激发到上面的看到
中去,使能带底部附近有了少量电子,因而在外电场作用下,这
些电子将参与导电;同时,满带中由于少了一些电子,在满带顶
部附近出现了一些空的量子状态,满带变成了部分占满的能带,
在外电场作用下,仍留在满带中的电子也能够起导电作用,满带
电子的这种导电作用等效于把这些空的量子状态看作带正电荷的
准粒子的导电作用,常称这些空的量子状态为空穴。所以在半导
体中导带的电子和价带的空穴参与导电,这是与金属导体的最大
差别。绝缘体的禁带宽度很大,激发电子需要很大的能量,在通
常温度下,能激发到导带中的电子很少,所以导电性很差。半导
体禁带宽度比较小,数量级在leV左右,在通常温度下已有不少
电子被激发到导带中去,所以具有一定的导电能力,这是绝缘体
和半导体的主要区别
5、半导体中电子的准动量:经典意义上的动量是惯性质量与速度的
乘积,即vo根据教材式(1T)和式(1T0),对于自由电子
m°v=hk,这是自由电子的真实动量,而在半导体中hk=〃z:v;有
效质量与惯性质量有质的区别,前者隐含了晶格势场的作用(虽
然加有质量的量纲)。因为〃与/v具有相同的形式,因此称加v
为准动量。
6、本征激发:共价键上的电子激发成为准自由电子,亦即价带电子
吸收能量被激发到导带成为导带电子的过程,称为本征激发。这
一概念今后经常用到。
7、载流子:晶体中荷载电流(或传导电流)的粒子。金属中为电子,
半导体中有两种载流子即电子和空穴,而影响半导体导电性的主
要是导带电子和价带空穴。
8、回旋共振实验:目的是测量电子的有效质量,以便采用理论与实
验相结合的方法推出半导体的能带结构。为能观测出明显的共振
吸收峰,就要求样品纯度要高,而且实验一般在低温下进行,交
变电磁场的频率在微波甚至在红外光的范围。实验中常是固定交
变电磁场的频率,改变磁感应强度以观测吸收现象。磁感应强度
约为零点几T。等能面的形状与有效质量密切相关,对于球形等能
面,有效质量各向同性,即只有一个有效质量;对于椭球等能面,
有效质量各向异性,即在不同的波矢方向对应不同的有效质量。
9、横向有效质量沿椭球短轴方向,纵向有效质量沿椭球长轴方向。
本章要求掌握的内客及考点:——本章要求熟练掌握基本的物理原理
和概念一一考题主要涉及填空、名词解释和简答题
1、以上基本概念和名词术语的解释。
2、熟悉金刚石型结构与闪锌矿型结构晶胞原子的空间立体分布及硅、
错、神化银晶体结构特点,晶格常数,原子密度数量级(IO??个原子/
立方厘米)。
3、掌握能带形成的原因及电子共有化运动的特点;掌握实际半导体
的能带的特点。
4、掌握有效质量的意义及计算公式,速度的计算方法,正确理繇半
导体中电子的加速度与外力及有效质量的关系,正确理解准动量及其
计算方法,准动量的变化量应为△2/,=(&-匕)〃。
5、掌握半导体的导电机构,正确理解空穴的导电机理。
6、掌握硅、错、种化钱的能带结构,注意它们导带底和价带顶所处
的位置。
7、已留的课后作业题。
第二章半导体中的杂质和缺陷能级
本章各节内容提要:
理想半导体:1、原子严格地周期性排列,晶体具有完整的晶格
结构。2、晶体中无杂质,无缺陷。3电子在周期场中作共有化运动,
形成允带和禁带一一电子能量只能处在允带中的能级上,禁带中无能
级。由本征激发提供载流子。如果晶体具有完整的(完美的)晶格结
构,无任何杂质和缺陷一一本征半导体。(纯净半导体中,分的位置
和载流子的浓度只是由材料本身的本征性质决定的)
实际材料中,1、总是有杂质、缺陷,使周期场破坏,在杂质或
缺陷周围引起局部性的量子态一一对应的能级常常处在禁带中,对半
导体的性质起着决定性的影响。2、杂质电离提供载流子。本章重点
介绍半导体中主要的杂质和缺陷及其能级。
在2.1节,介绍硅、错中的浅能级和深能级杂质以及和杂质能级,
浅能级杂质电离能的计算,介绍了杂质补偿作用。
在2.2节,介绍HI-V族化合物中的杂质能级,引入等电子陷阱、
等电子络合物以及两性杂质的概念。
本章重难点:
重点:
1、在纯净的半导体中掺入一定的杂质,可以显著地控制半导体
地导电性质。根据掺入杂质地分布位置可以分为替位式杂质和受
主杂质。
2、施主杂质电离后成为不可移动的带正电的施主离子,同时向
导带提供电子,使半导体成为电子导电的n型半导体。受主杂质
电离后成为不可移动的带负电的受主离子,同时向价带提供空穴,
使半导体成为空穴导电的P型半导体。
3、杂质元素掺入半导体后,由于在晶格势场中引入微扰,使能
带极值附近出现分立的能级一一杂质能级。V族元素在靠近导带底
4的禁带中引入施主能级与),III族元素在靠近价带顶纥的禁带中
引入受主能级项。类氢模型对浅能级的位置给出了比较满意的定
量描述。经过修正后,施主杂质的电离能和轨道半径可表示为:
△%=心”,曳包r;受主杂质的电离能可表示为:
〃玲ermn()Zq~
♦
"里式中,E°=13.6eV为氢原子的基态电离能;3为晶体的
相对介电常数。
4、施主杂质和受主杂质有相互抵消作用,通常称为“杂质补偿”。
“杂质补偿”是制造各种半导体器件的基础。
5、非HI、V族杂质元素在半导体中也可能会产生深能级或多能
级。
6、例如:金Au在硅中电离后产生两人能级,一个在价带上面
0.35ev处的施主能级A:,它在P型硅二起主要作用。另一个在导
带卜面0.54ev处的受主能级A;,它在n型硅中起主要作用。
7、深能级杂质和晶体缺陷形成的能级一般作为复合中心。
8、四族元素硅在碑化线中的双性行为,即硅的浓度较低时主要
起施主杂质作用,当硅的浓度较高时,一部分硅原子将起到受主
杂质作用。这种双性行为可作如下解释:实验测得硅在神化钱中
引入一浅施主能级(Z—0.002)ev,硅应起施主作用,那么当硅
杂质电离后,每一个硅原子向导带提供一个导电电子,导带中的
电子浓度应随硅杂质浓度的增加而线性增加。但是实验表明,当
硅杂质浓度上升到一定程度之后,导带电子浓度趋向饱和,施主
杂质的有效浓度降低了。这种现象出现,是因为硅杂质浓度较高
时,硅原子不仅取代钱原子起着受主杂质的作用,而且硅也取代
了一部分v族种原子而起着受主杂质的作用,因而对于取代族
原子钱的硅施主杂质起到补偿作用,从而降低了有效施主杂质的
浓度,电子浓度趋于饱和。
难点:
1、用类氢模型计算浅能级杂质的电离能;解释金在错中产生多重能
级的原因:金是I族元素,中性金原子(记为父)只有一个价电
子,它取代铸晶格中的一个错原子而位于晶格点上。金比楮少三
个价电子,中性金原子的这一个价电子,可以电离而跃迁入导带,
这一施主能级为%,因此,电离能为(耳.-4)。因为金的这个价
电子被共价键所束缚,电离能很大,略小于错的禁带宽度,所以,
这个施主能级靠近价带顶。电离以后,中性金原子然接受就称为
带一个电子电荷的正电中心4。但是,另一方面,中性金原子还
可以和周围的四个错原子形成共价键,在形成共价键时,它可以
E、EA
从价带接受三个电子,形成REA2.,43三个受主能级。金原子;
接受第一个电子后变为A;,相应的受主能级为E*,其电离能为
(3「Ey)。接受第二个电子后,变为A;,相应的受主能级为
EQ,其电离能为(&2-Ey)。接受第三个电子后,A:变为相
应的受主能级为斗3,其电离能为(玛3-&)。上述的A;、A;、A;
分别表示4:成为带一个、两个、三个电子电荷的负电中心。由于
电子间的库仑排斥作用,金从价带接受第二个电子所需要的可离
能比接受第一个电子时的大,接受第三个电子时的电离能又比接
受第二个电子时的大,所以,EA3>EA2>EAlOE川离价带顶相对近一
些,但是比III族杂质引入的浅能级还是深得多,当2更深,E1僦
几乎靠近导带底了。于是金在错中一共有勺、A;、A;、A;、A;五
种荷电状态,相应地存在着乙、七2、号3四个孤立能级,它
们都是深能级。以上的分析方法,也可以用来说明其它一些在硅、
错中形成深能级的杂质,基本上与实验情况相一致。
本章基本概念及名词术语:
施主杂质(n型杂质):杂质电离后能够施放电子而产生自由电
子并形成正电中心的杂质一一施主杂质。
施主杂质电离能:杂质价电子挣脱杂质原子的束缚成为自由电子
所需要的能量一一杂质电离能,用瓦,・表示。
正电中心:施主电离后的正离子——正电中心
施主能级品施主电子被施主杂质束缚时的能量对应的能级称为
施主能级。对于电离能小的施主杂质的施主能级位于禁带中导带底以
下较小底距离。
受主杂质:能够向(晶体)半导体提供空穴并形成负电中心底杂
质——受主杂质
受主杂质电离能空穴挣脱受主杂质束缚成为导电空穴所需
的能量。
受主能级原空穴被受主杂质束缚时的能量状态对应的能级。
浅能级杂质:可离能小的杂质称为浅能级杂质。所谓浅能级,是
指施主能级靠近导带底,受主能级靠近价带顶。室温下,掺杂浓度不
很高底情况下,浅能级杂质几乎可以可以全部电离。五价元素磷(P)、
睇(Sb)在硅、错中是浅受主杂质,三价元素硼(B)、铝(A1)、钱
(Ga)、锢(In)在硅、错中为浅受主杂质。
杂质补偿:半导体中存在施主杂质和受主杂质时,它们底共同作
用会使载流子减少,这种作用称为杂质补偿。在制造半导体器件底过
程中,通过采用杂质补偿底方法来改变半导体某个区域底导电类型或
电阻率。
高度补偿:若施主杂质浓度与受主杂质浓度相差不大或二者相
等,则不能提供电子或空穴,这种情况称为杂质的高等补偿。这种材
料容易被误认为高纯度半导体,实际上含杂质很多,性能很差,一般
不能用来制造半导体器件。
深能级杂质:杂质电离能大,施主能级远离导带底,受主能级远
离价带顶。
深能级杂质有三个基本特点:一是不容易电离,对载流子浓度影
响不大;二是一般会产生多重能级,甚至既产生施主能级也产生受主
能级。三是能起到复合中心作用,使少数载流子寿命降低(在第五章
详细讨论)。四是深能级杂质电离后以为带电中心,对载流子起散射
作用,使载流子迁移率减少,导电性能下降。
等电子陷阱和等离子杂质:在某些化合物半导体中,例如磷化钱
中掺入V族元素氮或钺,氮或锁将取代磷并在禁带中产生能级。这个
能级称为等离子陷阱。这种效应称为等离子杂质效应。所谓等离子杂
质是与基质晶体原子具有同数量价电子的杂质原子,它们替代了格点
上的同族原子后,基本上仍是电中性的。但是由于原子序数不同,这
些原子的共价半径和电负性有差别,因而它们能俘获某种载流子而成
为带电中心。这个带电中心就称为等离子陷阱。是否周期表中同族元
素均能形成等离子陷阱呢?只有当掺入原子与基质晶体原子在电负
性、共价半径方面有较大差别时,才能形成等离子陷阱。一般说,同
族元素原子序数越小,电负性越大,共价半径越小。等电子杂质电负
性大于基质晶体原子的电负性时,取代后,它便能俘获电子成为负电
中心。反之,它能俘获空穴成为正电中心。
本章要求掌握的内岑及考点:——本章主要在于对各种概念的理解和
掌握一一考题主要涉及填空题、名词解释
1、以上基本概念和名词术语的解释。
2、掌握浅能级杂质和深能级杂质的基本特点和在半导体中起的作用。
3、掌握等电子陷阱和等离子杂质的概念。能解释硅在神化钱中的双
性行为。
4、掌握点缺陷和位错缺陷对半导体性能的影响。
第三章半导体中载流子的统计分布
本章内容提要:
1、本章的主要任务:计算本征半导体和杂质半导体的热平衡载
流子浓度及费米能级的位置,讨论为、Q、瓦与此、“、7的关系。
2、热平衡和热平衡载流子:在一定温度下,如果没有其它外界
作用半导体中的导电电子和空穴是依靠电子的热激发作用而产生的,
电子从不断热震动的晶格中获得一定的能量,就可能从低能量的量子
态跃迁到高能量的量子态,例如,电子从价带跃迁到导带(这就是本
征激发),形成导电电子和价带空穴。电子和空穴也可以通过杂质电
离方式产生,当电子从施主能级跃迁到导带时产生导带电子;当电子
从价带激发到受主能级时产生价带空穴等。与此同时,还存在着相反
的过程,即电子也可以从高能量的量子态跃迁到低能量的量子态,并
向晶格放出一定能量,从而使导带中的电子和价带中的空穴不断减
少,这一过程称为载流子的复合。在一定温度下,这两个相反的过程
之间将建立起动态的平衡,称为热平衡状态。这时,半导体中的导电
电子浓度和空穴浓度都保持一个稳定的数值,这种处于热平衡状态下
的导电电子和空穴称为热平衡载流子。当温度改变时,破坏了原来的
平衡状态,又重新建立起新的平衡状态,热平衡载流子的浓度也将发
生变化,达到另一稳定数值。
3、解决问题的思路:热平衡是一种动态平衡,载流子在各个能
级之间跃迁,但它们在每个能级上出现的几率是不同的。
要讨论热平衡载流子的统计分布,是首先要解决下述问题:
①允许的量子态按能量的分布情况一一状态密度;
②电子在允许的量子态中符合分布一一分布函数。
然后讨论〃0、P0.反与/%、儿、T的关系。
本章重难点:
重点:
1、为计算电子和空穴的浓度,必须对一个能带内的所有能量积
分,而不只是对布里渊区体积积分,为此引入状态密度概念即单位能
量间隔内的量子态数。表达式为:g(E)=dZ/dE。可通过下述步骤计
算状态密度:首先算出单位k空间中的量子态数,即k空间中的状态
密度;然后算出k空间中与能量E到E+dE间所对应的k空间体积,
并和k空间中的状态密度相乘,从而求得在能量E到E+dE间的量子
态数dE;最后,根据前式,求得状态密度g(E)。
2、费米分布函数的意义:它表示能量为E的量子态被一个电子
占据的几率,它是描写热平衡状态下电子在允许的量子态上如何分布
的一个统计分布函数;费米分布函数还给出空穴占据各能级的几率
(3),一个能级要么被电子占据,否则就是空的,即被空穴占据,
4(E)=1-A(E)=1/[1+exp(与/)]
kr
3、/")与〃E)对称于导
可以证明:f„(EF+E)=4(EF-E)=1-4(EF-E)
这对研究电子和空穴的分布很方便。
4、费米分布函数与波耳兹曼分布函数的关系:
当仃时,电子的费米分布函数转化为波耳兹曼分布函数
/“(E)=exp(-与白)。因为对于热平衡系统昂和温度为定值,则
kT
%(E)=Aexp(-乡),这就是通常见到的波耳兹曼分布函数。
kT
同理,当E-昂<<仃时,空穴的费米分布函数转化为空穴的波耳兹
曼分布函数/即(E)=exp(-=£)。在半导伍中,最常遇到的情况是费
米能级房位于价带内,而且与导带底或价带顶的距离远大于所
以,对导带中的所有量子态来说,被电子占据的几率,一般都满足
/„(£)«1,故半导体电子中的电子分布可以用电子的波耳兹曼分布函
数描写。由于随着能量E的增大,f(E)迅速减小,所以导带中绝大
多数电子分布在导带底附近。同理,对半导体价带中的所有量子态来
说,被空穴占据的几率,一般都满足力,(七)《1,故价带中的空穴分布
服从空穴的波耳兹曼分布函数。由于随着能量E的增大,((E)迅速
增大,所以价带中绝大多数空穴分布在价带顶附近。因而4.(E)和
/即(E)是讨论半导体问题时常用的两个公式。通常把服从波耳兹曼统
计率的电子系统称为非简并性系统。
5、费米能级厚:当称为费米能级或贵米能量,它和温度、半导
体材料的导电类型、杂质的含量以及能量零点的选取有关。辱是一
个很重要的物理参数,只要知道了/的数值,在一定温度下,电子
在各量子态上的统计分布就完全确定。它可以由半导体中能带内所以
量子态中被电子占据的量子态数应等于电子总数N这一条件来决定,
即Z〃Ej)=N,将半导体中大量电子的集体看成一个热力学系统,由
i
统计理论证明,费米能级号是系统的化学势,即媒=〃=(廛〃代
表系统的化学势,F式系统的自由能。上式的意义是:当系统处于热
平衡状态,也不对外界做功的情况下,系统中增加一个电子所引起系
统自由能的变化,等于系统的化学势,所以处于热平衡状态的电子系
统有统一的费米能级。一般可以认为,在温度不很高时,能量大于费
米能级的电子态基本上没有被电子占据,用能量小于费米能级的几率
在各温度下总是1/2,所以费米能级的位置比较直观的标志了电子占
据量子态的状况,通常就说费米能级标志了电子填充能级的水平。费
米能级位置越高,说明有较多的能量较高的电子态上有电子。
6、导出导带电子浓度和价带空穴浓度的表达式。理解、掌握电
子浓度、空穴浓度表达式的意义。
7、利用电中性条件(所谓电中性条件,就是电中性的半导体,
其负电数与正电荷相等。因为电子带负电,空穴带正电,所以对本征
半导体,电中性条件是导带中的电子浓度应等于价带中的空穴浓度,
即〃。=p。,由此式可导出费米能级。)求解本征半导体的费米能级:
本征半导体就是没有杂质和缺陷的半导体,在绝对零度时,价带中的
全部量子态都被电子占据,而导带中的量子态全部空着,也就是说,
半导体中共价键是饱和的、完整的。当半导体的温度大于零度时,就
有电子从价带激发到导带中去,同时价带中产生空穴,这就是所谓的
本征激发。由于电子和空穴成对产生,导带中的电子浓度应等于价带
中的空穴浓度,即〃°=p。。
8、本征载流子浓度与温度和价带宽度有关。温度升高时,本征
载流子浓度迅速增加;不同的半导体材料,在同一温度下,禁带宽度
越大,本征载流子浓度越大。
9、一定温度下,任何非简并半导体的热平衡载流子的浓度的乘
积对于该温度时的本征载流子的浓度的平方,即〃。P。二〃3与所含杂
质无关。因此,它不仅适用于本征半导体材料,而且也适用于非简并
的杂质半导体材料C
10、〃。%=行的意义:可作为判断半导体材料的热平衡条件。热平
衡条件下,〃。、%均为常数,则〃。P°=〃:也为常数,这时单位时间单
位体积内产生的载流子数等于单位时间单位体积内复合掉的截流子
数,也就是说产生率大于复合率。因此,此式可作为判断半导体材料
是否达到热平衡的依据式。
11、半导体杂质能级被电子占据的几率函数与费米分布函数不
同:因为杂质能级和能带中的能级是有区别的,在能带中的能级可以
容纳自旋下凡的两个电子;而施主能级只能或者被一个任意自旋方向
的电子占据,或者不接受电子(空的)这两种情况中的一种,即施主
能级不允许同时被自旋方向相反的两个电子所占据。所以不能用费米
分布函数表示电子占据杂质能级的几率。
12、分析杂质半导体掺杂浓度和温度对载流子浓度和费米能级的
影响。掺有某种杂质的半导体的载流子浓度和费米能级由温度和杂质
浓度所决定。对于杂质浓度一定的半导体,随着温度的升高,载流子
则是从以杂质电离为主要来源过渡到以本征激发为主要来源的过程,
相应地,费米能级则从位于杂质能级附近逐渐移近禁带中线处。譬如
n型半导体,在低温弱电离区时,导带中的电子是从施主杂质电离产
生的;随着温度升高,导带中的电子浓度也增加,而费米能级则从施
主能级以上往下降到施主能级以下;当%下降到/以下若干心了时,
施主杂质全部电离,导带中的电子浓度等于施主浓度,处于饱和区;
再升高温度,杂质电离已经不能增加电子数,但本征激发产生的电子
迅速增加着,半导体进入过渡区,这是导带中的电子由数量级相近的
本征激发部分和杂质电离部分组成,而费米能级则继续下降;当温度
再升高时,本征激发成为载流子的主要来源,载流子浓度急剧上升,
而费米能级下降到禁带中线处这时就是典型的本征激发。对于p型半
导体,作相似的讨论,在受主浓度一定时,随着温度升高,费米能级
从在受主能级以下逐渐上升到禁带中线处,而载流子则从以受主电离
为主要来源转化到以本征激发为主要来源。当温度一定时,费米能级
的位置由杂质浓度所决定,例如n型半导体,随着施主浓度N。的增
加,费米能级从禁带中线逐渐移向导带底方向。对于P型半导体,随
着受主浓度的增加费米能级从禁带中线逐渐移向价带顶附近。这说
明,在杂质半导体中,费米能级的位置不但反映了半导体导电类型,
而且还反映了半导体的掺杂水平。对于n型半导体,费米能级位于禁
带中线以上,N/)越大,费米能级位置越高。对于p型半导体,费米
能级位于中线以下,N.越大,费米能级位置越低。
13、一般情况下,半导体既含有施主杂质,又含有受主杂质,在
热平衡状态下,电中性方程为〃o+Pl此式的意义是:同时
含有一种施主杂质前一种受主杂质情况下,半导体单位体积内的负电
荷数(导带电子浓度与电离受主浓度之和〕等于单位体内的正电荷数
(价带空穴浓度与电离施主浓度之和)。
14、施主浓度大于受主浓度情况下,分析载流子浓度和费米能级
与温度的关系。
15、简并半导体的载流子浓度:对于n型半导体,施主浓度很高,
使费米能级接近或进入导带时,导带底附近底量子态基本上已被电子
占据,导带中底电子数目很多,/(七)<<1的条件不能成立,必须考虑
泡利不相容原理的作用。这时,不能再用玻耳兹曼分布函数,必须用
费米分布函数来分析导带中电子的分布问题。这种情况称为载流子的
简并化。发生载流子简并化的半导体称为基本半导体,对于p型半导
体,其费米能级接近价带顶或进入价带,也必须用费米分布函数来分
析价带中空穴的分布问题。
难点:
1、能量状态密度与k空间量子态的分布即等能面的形状有关。
在k空间量子态的分布是均匀的,量子态的密度为V(立方晶体的体
积)。如果计入自旋,每个量子态可以允许两个自旋相反的电子占据
一个量子态。换言之,k空间每个量子态实际上代表自旋方向相反的
两个量子态,所以,在k空间,电子允许的量子态密度为2V。注意:
这时每个量子态最多容纳一个电子。这样,与费米分布函数的定义就
统一起来了(费米分布函数是能量为E的一个量子态被一个电子占据
的几率)。
2、状态密度表达式的推导过程作为课堂讨论的课程重点内容之
0
3、导出导带电子浓度的基本思路是:和计算状态密度是一样,
认为能带中的能级是连续分布的,将能带分成一个个很小的能量间隔
来处理。对导带分为无限多的无限小的能量间隔,则在能量E到E+d£
之间有应个量子态,而电子占据能量为E的量子态的几率是7(E),
则在E到E+dE间有/(F)dZ个被电子占据的量子态,因为每个被占据
的量子态上有一个电子,所以在E到E+4E间有/(EWZ个电子。然后
把所有能量区间中的电子数相加,实际上是从导带底到导带顶对
/(E)dZ进行积分,就得到了能带中底电子总数,再除以半导体体积就
得到了导带中的电子浓度。因为费米能级一般在禁带中,导带中的能
级远高于费米能级,即当七-昂〉〉仃时,计算导带电子浓度可用玻耳
兹曼分布函数。
4、本征半导体中导带电子浓度等于价带空穴浓度,根据载流子
的分布函数及费米年间的意义可知:本征半导体的费米能级应该位于
导带底和价带顶之间的中间位置,即禁带中央处。只有这样,导带电
子和价带空穴才能对称于费米能级,分布在导带和价带中,以满足〃。
=P。。但是由于导带有效状态密度(此)和价带有效状态密度(牝,)
中分别含有电子状态浓度的有效质量(,%,)和价带空穴状态有效密
度(牝加)。由于两者数值上的差异,使本征半导体的费米能级偏离禁
带中央。如果费米能级偏离禁带中很小,可以认为费米能级基本上位
于禁带中央;如果和〃%相差很大,本征半导体的费米能级就会偏
离禁带中央很远。具体情况可用本征半导体费米能级表达式分析(见
课后第6题)
5、根据电中性方程导出各个温度区间的费米能级和载流子浓度
表达式。
6、杂质电离程度与温度、掺杂浓度及杂质电离能有关,温度高、
电离能小,有利于杂质电离。但杂质浓度过高,则杂质不能充分电离。
通常所说的室温下杂质全部电离,实际上忽略了杂质浓度的限制。
7、在不同的温度区间分析载流子密度和费米能级与温度的关系
温度区间的划分不是我们传统意义的以温度的数值范围来划分,而是
通过相关参量的比较,把要讨论的整个温度范围划分为极低温区(弱
电离)、低温区(杂质电离)……本征激发区。
8、注意两个电中性方程的适用条件:杂质全部电离,本征激发
可以忽略,即时,电中性方程为〃。二(原始方程
为〃喏)。杂质全部电离,本征激发不能忽略即掺杂浓度N,厂、
与凡的数值相近,或由于温度升高使勺数值增大而导致%-N.与勺相
近时,电中性方程曲+NA=PO+N0(原始方程〃o+pl=Po+〃晨式中
=
PA乂,〃;)=N0)c
使用上述两个电中性方程时,关键要判断是否要考虑本征激发对电中
性方程的影响。
本章基本物理概念和问题:
费米分布函数、波尔兹曼分布函数、k空间状态密度和能量状态
密度的概念。
电子浓度和空穴浓度的乘积〃oP。与费米能级无关。对一定的半导
体材料,乘积〃。P。只决定于温度/,与所含杂质无关。而在一定温度
下,对不同的半导体材料,因禁带宽度以不同,乘积〃。〃。也将不同。
这个关系式不论是本征半导体还是杂质半导体,只要是热平衡状杰下
的非简并半导体,都普遍适用,在讨论许多许多实际问题时常常引用。
对一定的半导体材料,在一定的温度下,乘积〃。〃。时一定的。换言之,
当半导体处于热平衡状态时,载流子浓度的乘积保持恒定,如果电子
浓度增加,空穴浓度就要减小;反之亦然。〃。式和P。式是热平衡截流
子浓度的普遍表示式。只要确定了费米能级玛,在一定温度7时,半
导体导带中电子浓度、价带中空穴浓度就可以计算出来。
半导体材料制成的器件都有一定的极限工作温度,这个工作温度
受本征载流子浓度制约:一般半导体器件中,载流子主要来源于杂质
电离,而将本征激发忽略不计。在本征载流子浓度没有超过杂质电离
所提供的载流子浓度的温度范围,如果杂质全部电离,载流子浓度是
一定的,器件就能稳定工作。但是随着温度的升高,本征载流子浓度
迅速地增加。例如在室温附近,纯硅的温度每升高8K左右,本征载
流子的浓度就增加约一倍。而纯错的温度每升高12K左右,本征载流
子的浓度就增加约一倍。当温度足够高时,本征激发占主要地位,器
件将不能正常工作c因此,每一种半导体材料制成的器件都有一定的
极限工作温度,超过这一温度后,器件就失效了。总之,由于本征载
流子浓度随温度的迅速变化,用本征材料制作的器件性能很不稳定,
所以制造半导体器件一般都用含有适当杂质的半导体材料。
多数载流子和少数载流子(多子和少子):半导体中载流子为电
子和空穴,n型半导体以电子导电为主,巴子浓度远大于空穴浓度,
故称电子为n型半导体的多数载流子,简称多子,空穴为n型半导体
的少数载流子,简称少子;对于p型半导体,空穴为多子,电子为少
子。平衡少子浓度正比于本征载流子浓度的平方,对于n型半导体,
由=q2可得少子浓度以0=行/*0=〃;/N°,它强烈的依赖于温度的
变化。
简并半导体中杂质不能充分电离:通过分析计算,室温下n型硅
掺磷,发生简并的杂质浓度经计算,电离施主浓
度嫁=0.084N〃,硅中只有8.4%的杂质是电离的,故导带电子浓度
20193
%=0.084ND=0.084x2.3x10=1.9x10/cmo尽管只有8.4%的杂
质电离,但掺杂浓度较大,所以电子浓度还是较大。简并半导体中杂
质不能充分电离的原因:简并半导体电子浓度较高,费米能级较低掺
杂时,远在施主能级之上,使杂质电离程度降低。
简并化条件:简并化条件是人们的一个约定,把昂与心的相对
位置作为区分简并化与非简并化的标准,一般约定:
Ec-EF>2kTt非简并
OvE’fkT,费简并
EC-EF<0,简并
注意:在做习题时,首先要判断题目中给出的半导体材料是否发
生弱简并或简并。然后才能确定采用相应的有关公式进行解题。
本章要求掌握的内容及考点:——本章是本课程的核心知识章芍之
一,不仅要求掌握基本物理概念和原理,还要求能进行相关参数的计
算一一考题涉及所有题型(必有一道相关的计算题)
1、以上基本物理概念和问题的理解掌握。
2、掌握费米分布国数和玻耳兹曼分布函数及费米能级的意义。费米
能级是一个参考能级,不是电子的真实能级,费米能级的位置标
志了电子填充能级的水平。热平衡条件下费米能级为定值,费米
能级的数值与温度、半导体材料的导电类型、杂质浓度及零点的
选取有关,它是一个很重要的物理参数。
3、掌握导带电子浓度和价带空穴浓度公式:
2(2加1M加/2
2、
E-E2(2叫pg?
3、…exp—L,N”
h
4、N,与N,,分别是导带与价带底有效状态密度,相当于把导带中
所有量子态都集中在导带底,而它的状态密度为N,;同理,相当
于把价带中所有量子态都集中在价带顶,而它的状态密度为N,。
上两式中的指数部分是具有玻耳兹曼分布函数形式的几率函数,
前者是电子占据能量为2的量子态几率,后者是空穴占据能量为
线的量子态的几率。则导带中的电子浓度是N,中电子占据的量子
态数,价带空穴浓度是《中有空穴占据的量子态数。
5、能够写出本征半导体的电中性方程;熟悉半导体半导体载流子浓
度与温度和禁带宽度的关系;正确使用热平衡判断式场经
常用到的数据最好要记住。例如,300K时硅、错、碎化钱的禁带
宽度分别为1.12ev,0.67ev,1.428evo本征载流子浓度分别为
1.5xl0,o/cm\2.4xl0,3/c7n\LlxO小收均为实验值。
6、能够写出只掺杂一种杂质的半导体的一般性电中性方程,若
只有施主杂质时,为%=呜+Po,若只有受主杂质时为Po=+〃oo
本征激发可以忽略的情况下,例如室温区,电中性条件为
n0=nl=ND;温度较高,杂质全部电离,本征激发不能忽略时,
电中性条件为〃。=p0+N〃,在这种情况下,应和〃联立可解
出%和Po。
7、在掺杂浓度一定地情况下,能够解释多子浓度随温度地变化
关系(如教材图371的解释)。在一定的温度和掺杂浓度条件下,
判断半导体所处的温度区域,并计算出载流子浓度和费米能级位
置。
第四章半导体的导电性
本章内容提要:
本章主要讨论载流子的运动规律(载流子的输运现象)、载流子在电
场中的漂移运动、迁移率、电导率、散射机构及强电场效应。
木章重难点:
重点:
1、微分欧姆定律:在半导体中,常遇到电流分布不均匀的情况,
即流过不同截面的电流强度不相等。所以,通常用电流密度来描述半
导体中的电流。电流密度是指通过垂直于电流方向的单位面积的电
流,根据熟知的欧姆定律可以得到电流密度J=它把通过半导体
中某一点的电流密度和该处的电导率及电场强度直接联系起来,称为
欧姆定律的微分形式。
2、漂移速度和迁移率:有外加电压时,导体内部的自由电子受
到电场力的作用,沿着电场的反方向作定向运动构成电流。电子在电
场力的作用下的这种运动称为漂移运动,定向运动的速度称为漂移速
度。迁移率为单位场强下电子的平均漂移速度。因为电子带负电,所
以电子的平均漂移速度的方向一般应和电场强度方向相反,但习惯上
迁移率只取正值。
3、电离杂质散射:施主杂质电离后是一个带正电的离子,受主
杂质电离后是一个带负电的离子。在电离施主或受主周围形成一个库
仑势场。这一库仑势场局部地破坏了杂质附近地周期性势场,它就是
使载流子散射地附加势场。当载流子运动到电离杂质附近时,由于库
仑势场地作用,就使载流子运动。=收4〃十/%勺,地方向发生改变。电
离施主和电离受主对电子和空穴散射,它们在散射过程中的轨迹是以
施主或受主为一个焦点的双曲线。常以散射几率P来描述散射地强
弱,它代表单位时同内一个载流子受到散射的次数。具体的分析发现,
浓度为M的电离杂质对载流子的散射几率与与温度的关系为:
P工N尸2。
4、晶格散射:晶格散射主要是长纵声学波和长纵光学波平均自
由时间和散射几率的关系:载流子在电场中作漂移运动时,只有在连
续两次散射之间的时间内才作加速运动,这段时间称为自由时间。
自由时间长短不一,若取极多次而求得其平均值则称为载流子的平均
自由时间,它与散射几率互为倒数的关系。
5、迁移率与平均自由时间和有效质量的关系:通过计算外电场
作用下载流子的平均漂移速度,对于有效质量各向同性的电子和空
穴,其迁移率分别为
机:和/="〃/,力。
对等能面为旋转椭球的多极值半导体,因为沿晶体的不同方向有效质
量不同,所以迁移率与有效质量的关系稍复杂些。例如对于硅:
m
从称为电导迁移率,其值由三个主轴方向妁三个迁移率的线性组合,
即
1.、
L=-^'1+,2+4),
“称为电导有效质量,由下式决定:
迁移率与杂质浓度加温度的关系:
对掺杂的硅、错半导体,主要散射机构是电离杂质散射和声学波
散射。
电离杂质散射特点是随温度升高,迁移率增大,随电离杂质增加
迁移率减小;声学波散射特点是随温度升高迁移率下降。同时存在这
两种散射机构时,就要考虑它们的共同作用对迁移率的影响。当掺杂
浓度较低时,可以忽略电离杂质的影响。迁移率主要受晶格散射影响,
即随温度升高迁移率下降;当掺杂浓度较高时,低温时晶格振动较弱,
晶格振动散射比电离杂质散射作用弱,主要是电离杂质散射,所以随
温度升高迁移率缓慢增大;当温度较高时,随温度升高,晶格振动加
剧,晶格散射作用,所以高温时迁移率随温度升高而降低。
8、电阻率决定于截流子的浓度和迁移率,基本表示式如下:
当半导体中电子浓度远大于空穴浓度时,p=——-——
〃私〃+pqKp
n型半导体,电子浓度远大于空穴浓度时,夕=_L
P型半导体,电子浓度远小于空穴浓度时,°=,
P叫
本征半导体,电子浓度等于空穴浓度时,P=——!——
电阻率与杂质浓度的关系:
轻掺杂时(例如杂质浓度小于10K7c加),室温下杂质全部电离,
载流子浓度近似等于杂质浓度,而迁移率随杂质浓度地变化不大,与
载流子浓度(即杂质浓度)的变化相比较,可以认为迁移率几乎为常
数,所以随杂质浓度升高电阻率下降,若对电阻率表达式取对数,则
电阻率和杂质浓度的关系是线性的。
掺杂浓度较高时(杂质浓度大于10凡/53),由于室温下杂质不能
全部电离,简并半导体中电离程度下降更多,使载流子浓度小于杂质
浓度;又由于杂质浓度较高时迁移率下降较大。这两个原因使电阻率
随杂质浓度的升高而下降。
本征半导体和杂质半导体的电阻率随温度的变化关系有很大不
同:对纯半导体材料,电阻率主要是由本征载流子浓度2.决定。凡.随
温度上升而急剧增加,室温附近,温度每增加8。。,硅的本征载流子
浓度就增加一倍,因为迁移率只稍有下降,所以电阻率将相应的降低
一半左右;对错来说,温度每增加12。。,本征载流子浓度增加一倍,
电阻率降低一半。本征半导体电阻率随温度增加而单调地下降,这是
本征半导体区别于金属的一个重要特征。对杂质半导体由杂质电离和
本征激发两个因素存在,又有电离杂质散射和晶格散射两种散射机构
的存在,因而电阻率随温度的变化关系要复杂些。一定杂质浓度的硅
样品的电阻率和温度的关系曲线大致分为三个温度区段:
低温区段温度很低,本征激发可忽略,载流子土要由杂质电离提
供,它随温度升高而增加;散射主要由杂质电离决定,迁移率也随温
度升高而增大,所以,电阻率随温度升高而下降。
电离饱和区段,温度继续升高(包括室温),杂质已全部电离,
本征激发还不十分显著,载流子基本上不随温度变化,晶格振动散射
上升为主要矛盾,迂移率随温度升高而降低,所以,电阻率随温度升
高而增大。
本征激发区段,温度继续升高,本征激发很快增加,大量本征载
流子的产生远远超过迁移率的减小对电阻率的影响,这时,本征激发
成为矛盾的主要方面,杂质半导体的电阻率将随温度的升高而急剧地
下降,表现出同本征半导体相似的特性。
8、定性解释强电场下欧姆定律发生偏离的原因:主要可以从载流子
与晶格振动散射时的能量交换过程来说明。
9、难点:
1、晶格散射主要是讨论格波与载流子的作用。格波的能量是离子化
的,其能量单元称为声子,当格波能量减少一个能量子(能量单
元),就称作放出一个声子;增加一个能量子就称吸收一个声子。
声子的说法不仅生动地表示出格波能量的量子化特征,而且在分
析晶格与物质作用时很方便。例如,电子在晶体中被格波散射便
可以看作是电子与声子的碰撞。
2、平均自由时间是统计平均值。
3、迁移率与杂质浓度和温度的关系比较复杂,对硅、错等原子半导
体主要是电离杂质散射和晶格散射,摭住主要矛盾可对实验结果
作出较好的解释电阻率与载流子浓度和迁移率有关。在分析已阻
率与温度的关系时,要注意载流子浓度和迁移率都与温度有关。
在考虑载流子浓度对电阻率的影响时,温度对载流子浓度的影响
可参考第三章图3—11。
4、平均漂移速度与电场强度的关系:电场较弱时,平均漂移速度与
电场强度成线性关系,即欧姆定律成立;当电场强度较大时,平
均漂移速度按电场强度的二分之一次方增大,即开始便离欧姆定
律;当电场强度再增大,使电子能量已高到和光学声子能量相比
拟时,电子和晶格散射时便可以发射声学光子。稳态时,平均漂
移速度与电场无关,达到饱和。
本章基本物理概念和问题:
1、半导体中的电流是电子电流和空穴电流的总和:一块均匀半
导体,两端加以电压,在半导体内部就形成电场。因为电子带负电,
空穴带正电,所以两者漂移运动的方向不同,电子反电场方向漂移,
空穴沿电场方向漂移。但是,形成的电流都是沿着电场方向。因而,
半导体中的导电作用应该是电子导电和空穴导电的总和。
2、电子迁移率比空穴迁移率大:迁移率数值大小可表示截流子
在电场作用下运动的难易程度,导电的电子是在导带中,它们是脱离
了共价键可以在半导体中自由运动的电子;而导电的空穴是在禁带
中,空穴电流实际上是代表了共价键上的电子在价键间运动时所产生
的电流。显然,在相同的电场作用下,两者的平均漂移速度不会相同,
而且,导带电子平均漂移速度要大些,就是说,电子迁移率与空穴迁
移率不相等,前者要大些。
3、散射几率:表示单位时间内一个载流子受到辐射的次数,其
数值与散射机构有关。
4、单位电场作用下载流子获得的平均漂移速度叫做漂移迁移
率。在分析硅的六个能谷中的电子对电流的贡献时,又引入了电导迁
移率,实质上它是漂移迁移率的线性组合,因此,电导迁移率仍具有
漂移迁移率的意义,漂移迁移率可通过实验来测量。
5、对于补偿材料,在杂质完全电离情况下,载流子浓度决定于
两种杂质浓度之差,但迁移率决定于两种杂质浓度的总和。如果材料
中掺有多种施主杂质和受主杂质,则迁移率决定于所有电离杂质浓度
之和。
6、总迁移率的倒数等于各散射机构迁移率的倒数之和。
7、可以用实验的方法测量半导体样品的电阻率,对于非补偿和
轻补偿的材料,其电阻率可以反映出它的杂质浓度(基本上就是载流
子浓度)。对于高度补偿的材料,因为载流子浓度很小,电阻率很高,
并无真正说明材料很纯,而是这种材料杂质很多,迁移率很小,不能
用于制造器件。
1、正确理解并会运用如下简单而又重要的基本公式:
一般半导体的总电流:J=葭+%=(〃夕+pq#
一般半导体的电导率:0=〃偌”+pq/
n型半导体(n»p):C7=nq/.in
P型半导体(p>>n):cr=pqpp
本征半导体(n=p=n,.):b=+〃p)
2、掌握基本概念:微分欧姆定律、漂移运动、漂移速度、漂
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