超短脉冲紫外激光加工场镜

T/COEMAXXXX—2024

超短脉冲紫外激光加工用场镜

1范围

本文件给出了超短脉冲紫外激光加工场镜产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、包装、运输和贮存。

本文件适用于波长340nm～360nm的超短脉冲紫外激光加工场镜产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T10987—2009光学系统参数的测定

GB/T13962光学仪器术语

GB/T15313激光术语

ISO21254-1：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第1部分：定义与一

般原则

ISO21254-2：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第2部分：阈值测定

ISO21254-3：2011激光和激光相关设备激光损伤阈值试验方法第3部分：激光功率（能量）

处理能力的保证

ISO/TR21254-4：2011激光和激光相关设备激光感应损坏阈值的试验方法第4部分：检验，检

测和测量

MIL—PRF—13830B性能标准

MIL—STD—105E抽样标准

3术语和定义

GB/T13962及GB/T15313界定的术语和定义适用于本文件。

4技术要求

一般要求

产品应按规定审批流程审批通过的图纸及技术文件制造。

原材料要求

产品原材料应符合以下要求：

a)应采用熔石英材料。

b)应符合ROHS要求。

外观要求

产品外观应满足以下要求：

a)不可有划痕、油污、抛光粉尘等；

b)产品表面光洁度应满足以下要求：

1)有效区内：20/10；

2)有效区外：40/20。

尺寸要求

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产品的尺寸要求为50mm～150mm，公差为±0.02mm。

性能要求

产品的技术参数应满足表1的要求。

表1技术参数

序号指标要求

1焦距50mm～200mm

2最大光斑直径（取决于振镜）10mm

3扫描范围30mm×30mm～110mm×110mm

4透过率＞94%

5损伤阈值0.2J/cm2@15ps，355nm，800kHz

6反射率R＜0.1%@355nm&R＜0.2%@345～365nm,A01=0～15°

5试验方法

原材料试验

产品原材料来料检验应符合：

a)产品原材料应有合格的质量证明文件；

b)产品原材料应符合国家法律法规及国家标准和行业标准要求；

c)应根据检验标准进行来料测试，符合相关检验标准要求方可使用。

外观试验

按照美国军用标准MIL—PRF—13830B标准所述步骤进行。

尺寸试验

运用误差不大于0.01mm的量具测量。

性能试验

5.4.1技术参数

5.4.1.1焦距

按照GB/T10987—2009规定方法进行。

5.4.1.2最大光斑直径

通过在平面物体（如激光相纸）上进行打标，对打标图案进行实际测量。

5.4.1.3透过率

运用分光计测量。

5.4.1.4损伤阈值

按照ISO21254系列标准所述步骤进行。

5.4.1.5反射率

运用分光光度计进行检测。

6检验规则

出厂检验

6.1.1按MIL—STD—105E的规定，采用正常检验单次抽样方案，一般检验标准Ⅱ级，允收标准（AQL）

2

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为2.5。不良品超过允收限值（AQL），则判定该批产品不合格。

6.1.2出厂检验项目包括本标准中的4.3、4.4。

型式检验

6.2.1属下列情况时，应进行型式检验：

a)新产品或老产品转厂生产试制定型时；

b)产品设计、工艺、材料作较大修改，可能影响产品性能时；

c)产品停产3年以上，恢复生产时；

d)国家质量技术监督、检测机构提出要求时。

6.2.2型式检验项目包括本标准第4章的全部项目。

6.2.3型式检验的样机的抽样方案按MIL—STD—105E的规定，采用正常检验单次抽样方案，一般检验

标准Ⅱ级，允收标准（AQL）为2.5。不良品超过允收限值（AQL），则判定该批产品不合格。

6.2.4判定规则

检验结果中，若有不符合要求的项目，允许返工，复检后，该项目符合要求，则判为“合格品”，

该项目仍不符合要求的，则判为“不合格品”。

7标志、包装、运输和贮存

标志

7.1.1产品金属外壳上应印有产品编码、产品适用波长、焦距等；

7.1.2镜体应满足以下标志要求：

a)元件标识；

b)材料；

c)镀膜详细资料(如适用)；

d)操作和存储说明；

e)潜在的危险(如毒性/致癌性)。

如果膜层或元件有毒或有危险性或易吸潮,均应在标签上清晰地标出。

包装

应满足以下包装要求：

a)应符合GB/T191的规定；

b)产品采用保护橡胶盖包装后，再放置在专用包装盒内；

c)应采取防震措施，保证产品在箱内无任何方向的窜动；

d)应将内包装箱装在有防霉、防潮、防震的运输外包装箱内。

运输

运输过程中应有防雨、防晒等措施；搬运过程中，应避免重压、抛摔。

贮存

应贮存在处于通风、干燥、阴凉的环境下，且周围无易燃，易爆以及腐蚀性物质。

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参考文献

[1]GB/T37396.1—2019激光器和激光相关设备标准光学元件第1部分：紫外、可见和近红

外光谱范围内的元件（ISO1115-1：2015，MOD）

[2]ISO10110-l：2019光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第1部分：通用要求

[3]ISO10110-5：2015光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第5部分：表面形位公差

[4]ISO10110-6：2015光学和光学仪器光学元件和系统图纸的制备第6部分：中心偏差公

差

[5]ISO10110-7：2017光学和光学仪器光学元件和系统图纸的制备第7部分：表面缺陷公

差

[6]ISO10110-8：2019光学和光学仪器光学元件和系统图纸的制备第8部分：表面纹理

[7]ISO10110-9：2016光学和光学仪器光学元件和系统图纸的制备第9部分：表面处理和

涂层

[8]ISO10110-11：2016光学和光学仪器光学元件和系统图纸的制备第10部分：非公差数

据

[9]ISO10110-12：2019光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第12部分：非球面表面

[10]ISO10110-14：2018光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第14部分：波前畸变公

差

[11]ISO10110-16：2023光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第16部分：衍射表面

[12]ISO10110-17：2004光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第17部分：激光辐照损

伤阈值

[13]ISO10110-18：2018光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第18部分：应力双折

射、气泡和夹杂物、均匀性和条纹

[14]ISO10110-19：2015光学和光子学光学元件和系统图纸的制备第19部分：表面和组件

的通用描述

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ICS31.260

CCSL51

团体标准

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超短脉冲紫外激光加工场镜

UVfieldlensesforultrashortpulsedlaserprocessing

（征求意见稿）

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

中国光学光电子行业协会发布

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超短脉冲紫外激光加工用场镜

1范围

本文件给出了超短脉冲紫外激光加工场镜产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、包装、运输和贮存。

本文件适用于波长340nm～360nm的超短脉冲紫外激光加工场镜产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T10987—2009光学系统参数的测定

GB/T13962光学仪器术语

GB/T15313激光术语

ISO21254-1：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第1部分：定义与一

般原则

ISO21254-2：2011激光和激光相关设备激光导致损伤阈值的试验方法第2部分：阈值测定

ISO21254-3：2011激光和激光相关设备激光损伤阈值试验方法第3部分：激光功率（能量）

处理能力的保证

ISO/TR21254-4：2011激光和激光相关设备激光感应损坏阈值的试验方法第4部分：检验，检

测和测量

MIL—PRF—13830B性能标准

MIL—STD—105E抽样标准

3术语和定义

GB/T13962及GB/T15313界定的术语和定义适用于本文件。

4技术要求

一般要求

产品应按规定审批流程审批通过的图纸及技术文件制造。

原材料要求

产品原材料应符合以下要求：

a)应采用熔石英材料。

b)应符合ROHS要求。

外观要求

产品外观应满足以下要求：

a)不可有划痕、油污、抛光粉尘等；

b)产品表面光洁度应满足以下要求：

1)有效区内：20/10；

2)有效区外：40/20。

尺寸要求

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产品的尺寸要求为50mm～150mm，公差为±0.02mm。

性能要求

产品的技术参数应满足表1的要求。

表1技术参数

序号指标要求

1焦距50mm～200mm

2最大光斑直径（取决于振镜）10mm

3扫描范围