DB22T 2651-2017 数字式激光球面干涉仪校准规范

备案号：56355-2017DB22DB22/T2651—2017数字式激光球面干涉仪校准规范Digitallasersphericalinterferometerscalibrationspecification2017-06-12发布2017-08-12实施吉林省质量技术监督局发布I1被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差平方的和的平均值的开方，简称RMS数字式激光球面干涉仪根据光学干涉原理（如图1）采用由干涉仪的参考面反射的光学波面和图，用计算机控制CCD摄像机对移相干涉图进行同步采集，对干涉图信息进行数据分析处理后得到被测28W4.3结构数字式激光球面干涉仪主要由稳定激光源(可见波段、红外波段等)、扩束准直光学系统、参考5特性5.1外观5.1.2成像光路中的光学零件表面不应有目视可见的灰尘5.2.1各调整机构工作时应平稳、灵活、无卡滞和松动现象。5.2.2数字式激光球面干涉仪各部件及干涉仪主机与计算机的电缆连接可靠，接通电源后，各电器部5.3示值误差5.4.1一级数字式激光球面干涉仪的测量重复性不大于3nm(RMS)。5.4.2二级数字式激光球面干涉仪的测量重复性不大于5nm(RMS)。3a)环境温度：温度范围22C3C，温度变化量不大于0.5C/h；d)数字式激光球面干涉仪及所用标准凹球面反射镜在校准室内放7.4.1示值误差采用比较法测量，比较法的原理是将数字式激光球面干涉仪参4参考球面镜标准凹球面反射镜图2比较法测量示意图7.4.2测量步骤如下：a)根据被检数字式激光球面干涉仪的参考镜头，选取表2中相应的标准凹球面反射镜；b)按照干涉仪参考球面镜出厂时规定的使用方式将参考球面镜安装到干涉仪主机上并进行调整，将标准凹球面反射镜安装在调整架上并进行调整，调整标准凹球面反射镜使干涉条纹最少；c)有效口径设置为98%,常数项、倾斜项及离焦项设置为关闭；d)进行测量并读取面形误差的测量结果；e)在条件不变的情况下，连续进行6次测量并读取6个测量结果，计算PV值和RMS值的算术平均值，即为实测示值误差。7.5测量重复性按7.4.2的要求进行测量，重复测量不少于6次，按公式(1)计算标准偏差s:X,第i次测量的PV值(RMS值),i=1,2,3,.,n,单位为纳米(nm);Xn次测量的PV值(RMS值)算术平均值，单位为纳米(nm);8校准结果处理和校准周期8.1校准结果处理8.1.1校准结果包括示值误差测量结果和不确定度，示值误差不确定度评定方法见附录A。8.1.2校准报告格式参见附录B。8.2校准周期数字式激光球面干涉仪校准周期一般为一年。5A.1.1标准凹球面反射镜面形误差引入的不u1——标准凹球面反射镜面形误差引入的不确定度分量，单位为纳UBZ——标准凹球面反射镜面形误差的扩展不确定度，单位为纳米(nm)；k——包含因子，取k=2。u2 (xix)2u2——测量重复性引入的不确定度分量，单位为纳米(nm)；xi——第i次测量的PV值（RMS值），i=1,2,3,…,n，单位为纳米(nm)；n——测量次数。A.1.3合成不确定度测量结果合成不确定度uc按公式(A.3)计算： ucu1u2................uc——比较法测量结果合成标准不确定度，单位为纳米(nm)；u1——标准凹球面反射镜引入的不确定度分量，单位为6u2——测量重复性引入的不确定度分量，单位为纳米(nm)。A.1.4扩展不确定度扩展不确定度U按公式(A.4)计算：Ukuc......................................(AU——测量结果的扩展不确定度，单位为纳米(nm)；k——包含因子，取k2；uc——比较法测量结果合成标准不确定度，单位为纳米(nm)。ApplicantAddressNo.月日SignatureofleaderTheseresultsapplyonlytoCalibrationSample.ThecertificatesmustnotbwithoutWrittenapprovalformthelaboraAdd：78校准中使用的主要标准器具(StandardsofmeasuS/Nuncertainty/accurac/allowableerrory校准所依据的技术文件或校准方法ReferrnceDocumentormethodsforcalibration校准时的环境条件EnvironmentConditioninth温度Temperature:校准结果RESULTSOFCALIBRATION1234Whileusing,PleaseCalibr