集成电路用半导体大硅片扩建项目环评报告书

I 1 1 2 3 4 23 23 24 24 28 37 48 52 623.现有项目回顾 63 63 65 67 68 97 109 1164.本项目概况与工程分析 120 120 127 127 134 142 147 170 1725.环境现状调查与评价 175 175 179 1886.环境影响预测与评价 191 191 235 237 240 244 246 257 2587.环境保护措施及其可行性论证 261 261 271 284 288 289 289 303 3308.环境影响经济损益分析 334 334 334 3359.环境管理与监测计划 336 336 341 343 346 346 347 347 349 350 350 352 352 352江苏环保产业技术研究院股份公司1中环领先半导体科技股份有限公司原名为中环领先半导体材料有限公司（以下简称“中从事集成电路的重要材料——硅晶圆片生产、销售。中环领先在产能、营收等方面已经成为国内规模最大、产品门类最齐全、技术最先进的半导体硅片企业，按照出货面积计算全球市占率约4%，位居全球第六、国内第一。现有生产车间主要包含：切磨抛厂房1#（8英寸厂硅片的生产能力。已建项目已通过竣工环保验收，生产装备和配套环境保护设施均载入了中硅片是集成电路最主要的原材料，占到集成电路原材料成本的32%，是单一用量最大的上游原材料。目前，全球硅片的供应商主要有日本的信越和胜高、中国台湾的环球晶圆、德体硅片的生产制造能力较弱，在全球的竞争力不足，大尺寸的硅片实际已成为制约我国社会经济发展“卡脖子”的关键技术。近年来，大国博弈加剧，产业生态发生变化，《关于常规武业已具备与海外硅片龙头企业同台竞争实力，正处于需要通过扩产提升我国硅片产业整体竞抢占全球市场份额；另一方面亟须提高满足不同集成电路工艺要求硅片的供给规模，满足不江苏环保产业技术研究院股份公司2导体材料的产业链布局，综合提高产品的竞争力、市场影响力及提升产品的附加值、利润率。）（根据《江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018年本）》及宜兴市发展和改革委员会出具的《关于中环领先半导体科技股份有限公司集成电路用半导体大硅片扩建项目的认定意见》（附件2本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产根据《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国环境影响评价法》《建设项目环境保护管理条例》等文件的规定，建设项目应当在开工建设前进行环境影响评价。为此，中环领先半导体科技股份有限公司委托江苏环保产业技术研究院股份公司对该项目进行环境影本项目为半导体硅片项目，位于国家级经济开发区-宜兴经济技术开发区，主要有以下特（1）本项目为扩建项目，行业类别为电子专用材料制造【C3985】。根据《建设项目环革委员会出具的《关于中环领先半导体科技股份有限公司集成电路用半导体大硅片扩建项目的认定意见》，本项目属于“四、新材料产业-42.硅单晶硅烷废气密闭收集经硅烷尾气处理器+二级碱喷淋处理，外延尾气密闭收集通过外延尾气处理臭氧排水、漂洗废水、外延尾气处理器排水）、酸碱喷淋废水、地面冲洗水、纯水制备废水、初期雨水和生活污水等。废水雨污分流、清污分流、一水多用、分质处理，硅片臭氧冲洗排江苏环保产业技术研究院股份公司3水回用于臭氧冲洗，漂洗水回用于纯水制备，倒角、减薄和边缘抛光含砂废水经含砂废水回用站处理后回用于循环冷却水、废气喷淋水、地面冲洗水等，其他废水经分质处理后达标接不合格硅片、废硅片包装、废化学品包装桶、废水站污泥、废离子交换树脂、废反渗透膜、废机油、废抹布、废手套等沾染化学品废物和生活垃圾等。固体废物全部委外妥善处置，不江苏环保产业技术研究院股份公司接受建设单位委托后，在项目所在地开展了现场踏勘、调研，向建设单位收集了项目所采用的工艺技术资料及污染防治措施技术参数等。对照国家和地方有关环境保护法律法规、标准、政策、规范及规划，分析了开展环评的必要性，进而核实了项目的废气、废水、固体废物等污染物的产生和排放情况，以及各项环保治理措施的可达性。在此基础上，编制了该项目的环境影响报告书，为项目建设提供环保技术支持，为根据《建设项目环境影响评价技术导则总纲》（HJ2.1-2016）等相关技术规范的要求，江苏环保产业技术研究院股份公司4第一阶段依据相关规定确定环境影响评价文件类型1研究相关技术文件和其他有关文件2进行初步工程分析3开展初步的环境现状调查1环境影响识别和评价因子筛选2明确评价重点和环境保护目标3确定工作等级、评价范围和评价标准制定工作方案第二阶段环境现状调查环境现状调查建设项目监测与评价工程分析1各环境要素环境影响预测与评价2各专题环境影响分析与评价第三阶段11提出环境保护措施，进行技术经济论证2给出污染物排放清单3给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书（表）对照《鼓励外商投资产业目录（2022年版）》，本项目属于“（二十二）计算机、通信江苏环保产业技术研究院股份公司5对照《产业结构调整指导目录（2024年本）》，6、半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高综上，本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于各产业政策中限制类或根据《太湖流域管理条例》（国务院令第604号）、《江苏省太湖水污染防治条例》江苏环保产业技术研究院股份公司6表1.4-1本项目与太湖流域相关政策、文件相符性一览表禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目，现有的生产项目不能实现达标；（精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等禁止建设项范围内。本项目废水接管宜兴市工业污水处理厂集第四十三条：“太湖流域一、二、三级保护区禁止下列行为一）新建、改建、扩建化学制浆水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除外……”第四十六条：“太湖流域二、三级保护区内，在工业集聚区新建、改建、扩建排放含磷、江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018年上，按照区域磷、氮等重点水污染物年排放总量减业集聚区内新建、改建、扩建《目录》中确定的战江苏环保产业技术研究院股份公司7《省政府办公厅关于印发江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标减量替代管理暂第十二条战略性新兴产业新建、扩建项目新增的重点水污染物排放总量应当从减量替代指根据《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》《江苏省挥发性有机物污染防治管理办法》《重点行业挥发性有机物综合治理方案》表1.4-2本项目与挥发性有机物防治要求相符性分析《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》（一）所有产生有机废气污染的企业,应优先采），其他涉及挥发性有机原料的上料设施、生产设施均为密对浓度、性状差异较大的废气应分类收集，并采用适宜的方式进行理。本项目有机废气产生速率为0.48kg/h，江苏环保产业技术研究院股份公司8橡胶和塑料制品（有溶剂浸胶工艺)、溶剂型涂料表面涂装75%。废气处理的工艺路线应根据废气产生量、污染物4、含恶臭类的气体可采用微生物净化技术、低温等收技术、热力焚烧技术等净化后达标排放，同时焚烧、低温等离子等工艺处理前应先采用高效除尘、除雾等装吸收、冷凝、生物等治理工艺过程中所产生的含有机物的废水排放挥发性有机物的生产经营者应当履行防治挥发性有机物务，根据国家和省相关标准以及防治技术指南，采用挥发性有机物处理。酸碱喷淋废水经厂区现有污水处理站处理后达标江苏环保产业技术研究院股份公司9产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭处理。酸碱喷淋废水经厂区现有污水处理站处理后达标胶黏剂、切削液均采用桶装储存，在储存、运输、装卸过程均密闭《重点行业挥发性有机物综合治理方案》环大气〔2019〕53号油墨、胶粘剂等，排放浓度稳定达标且排放速率、排放绩规定的，相应生产工序可不要求建设末端治理设施。使用的原辅材料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程推进使用先进生产工艺。通过采用全密闭、连续化、自动化气收集系统，将无组织排放转变为有组织排放进行控制。采用全相关规范合理设置通风量。采用局部集气罩的，距集气罩开口面江苏环保产业技术研究院股份公司加强设备与管线组件泄漏控制。企业中载有气力，以及生产工况等，合理选择治理技术。鼓励企业采用分离+吸附等技术。低温等离子、光催化、光氧化技术主要实行重点排放源排放浓度与去除效率双重控制。车间2千克/小时的，应加大控制力度，除确保排放浓度稳定达标外，还应实行去除效率控制，去除效率不低于80%；采用的原辅材料符合国家有关《江苏省挥发性有机物清洁原料替代工作方案》（苏大气办〔2021〕2有机化合物限量》（GB33372-2020）江苏环保产业技术研究院股份公司），1本项目位于太湖流域二级保护区，符合《江苏省太湖水污染防治条2本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于各3本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于国家产能置换要求的严江苏环保产业技术研究院股份公司表1.4-4与《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）宜兴市实施细则》相符性分析12业项目必须报市工业项目准入评审办公室论证3本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于各产业政策中限制类或淘汰4本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于产能过剩行业，不属于高表1.4-5本项目与《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案（2023-2025年）》相符性分析《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案（2023-2022、优化产业布局。统筹有序设立光伏、电子、硅材料等涉氟产业园，引导涉氟产业向江苏环保产业技术研究院股份公司《江苏省地表水氟化物污染治理工作方案（2023-2023、严格项目准入。强化项目环评与规划环位的工业园区。存在国省考断面氟化物超标的区域，要针对性提出相应的氟化根据例行监测结果显示区域国省控断面氟化物达标氟化物超标区域，同时通过“以新带老”措施削4、加强清洁审核。发展改革、工信、生态环境等相关主管部门应将氟化物削减和控制作为清洁生产的重要内容，完善清洁生产标准体系，全面推行清洁生产审核，氟酸清洗原料替代及含氟废酸资源化利用等有利于氟化物削减和控制的工艺技术控措施。属地生态环境部门应综合考虑区域环境质量、涉氟重点行业发展规划及现状，提出涉氟重点企业强制性清洁生产审核名单并报省生态环境厅核定。各级生态环企业已按要求实施强制性清洁生产审核。氢用原料，无法进行原料替代，目前含氟废酸（终氟化物排放浓度满足《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅳ类标准。本项目含氟废水排放量5.0万t/a，通过管，明管(专管)输送”的收集方式。加快推进含氟废水与生活污水分类收集、分质处理。新建企业含氟废水不得接入城镇污水处理设施，现有企业已接管城镇污水控”。积极推进涉氟污水处理厂及涉氟企业雨水污水排放口、部分重点国省考涉氟污水处理厂和部分重点国省考断面试点安装氟化物在线监控装置并联网；到20本项目位于宜兴经济技术开发区，处于宜兴市规划的经开区，属于北部城镇产业发展区。本项目为半导体硅片制造，在现有厂区内实施，因此项目建设符合宜兴市城与《宜兴经济技术开发区发展规划（2016-2030年）发展规划环境影响报告书》及其审查意见的相符性河，西至新长铁路和锡宜高速西侧行政边界，北临湛渎港，南为芜申运河和紫竹路。审[2019]22号）。根据规划，开发区产业定位为以新材料、新能源、光电材料和高端动力机械和半导体材料产业等为主导产业，积极发展军民融合产业、物流运输和市场综合服务业等形成产业集群，加快纺织、机械等传统产业的转型发展，提升园区的市场综合竞争力。同时加强园区监督管理，提升产品质量，以适应市场需求，力求把经《宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书》的审查意见（环审[2019]22号）明确四）推动产业绿色转型升级。落实长三角地区战略环境评价工作成果，按照长三角地区分区环境管控要求，加强与区域“三线一单”衔接。大力推进技术研发型、创新型、高技术产业发展，全面提升产业的技术水平和开发区的绿色循环化水平。（五）严格入区项目的生态环境准入。引进项目的生产工艺、设备，以及单位产品能本项目属于电子专用材料制造中半导体材料制造，属于产业定位中的主导产业。本项目采用的工艺为最先进的工艺，产生的污染物均治理后达标排放，符合清洁生产的要求。本项目单位产品能耗、物耗、污染物排放和资源利用等均达到同行业先进水平。符合《宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书》的审查意见（环审[2019]22号）对照《江苏省生态空间管控区域规划》及《江苏省国家级生态保护红线规划》，本项目不涉及生态保护红线区域，项目的建设与《江苏省生态空间管控区域规划》及补充监测：氟化物小时值、日均值满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标准要求，NH3、HCl、Cl2均满足《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-或优于Ⅲ类，优Ⅲ率为81.8%。31个省考断面中29个达到或优于Ⅲ类，优Ⅲ率为声环境现状监测结果表明，本项目厂界昼、夜间等效连续A声级满足《声环境质土壤环境质量现状调查结果表明：T1~T3点位各检测因子对应的检出结果全部低于《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》（试行）(GB36600-2018)中规定项目废气、废水、噪声均对周边环境影响较小，固废能得到合理处置，不会突破本项目用水、用电、用热、用气均在园区供应能力范围内，不突破区域资源上线。本项目为半导体硅片制造，经对照国家《产业结构调整指导目录（2024年本）》对照《外商投资准入特别管理措施（负面清单2021年版）》，本项目符合管根据表1.4-6，本项目位于宜兴经济技术开表1.4-6生态环境准入清单（宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书）别求替代品目录（2012年版）》、《环境保护综合别业结构调整指导目录》(苏政办发[2013]9号)、《江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰合开发区规划指标要求。即入区项目万元工业增加值污染物排放、水耗及能耗指标应优于或放强度（kg/万元0.4，本项别要求执行“六项必要条件”（必须符合产业政策和市场准入标准、项目审批核准或备案程序、用地求容，对存在较大环境风险的相关建设项目，应严格按照《环境影响评价公众参与暂行办法》///目别本）（修正）》淘汰类第一部分第八项建材第市制造业转型发展指导目录（2012年本）》淘汰类第七项建材行业第1条。《宜兴市产业投本修正）》淘汰类第一部分第十项机械第本）（修正）》淘汰类第一部分第十二项轻工市制造业转型发展指导目录（2012年本）》淘本）（修正）》淘汰类第一部分第十三项纺织目《无锡市制造业转型发展指导目录（2012年江苏环保产业技术研究院股份公司20别江苏环保产业技术研究院股份公司21表1.4-7无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案管控要求配套的工业项目直径3米以下的水泥粉磨设备；100万平方进的产业及项目：激光视盘机生产线（VCD系列整机产品属切削机床制造项目；6300千牛及以下普通机造项目；氧化铁红颜料装置；新建水泥粉磨控持续改善。（2）园区污染物排放总量不得突破环评报告及批复江苏环保产业技术研究院股份公司22江苏环保产业技术研究院股份公司23（2）项目产生的废气对周围环境及居民的影响，所采用的废气治理措施是否能确保各项（5）项目实施前后排污总量变化，投产后各污染物排放总量是否满足污染物排放总量控（6）本项目使用天然气、氢气、盐酸、氢氟酸、氯化氢（气体）、氨水、三烷、磷烷、乙硼烷、硫酸以及废油等易燃易爆及有毒有害原辅料，本次评价重点关注本项目环评单位通过调查、分析和综合评价后认为：本项目符合国家和地方有关环境保护法律法规、标准、政策、规范、规划要求。本项目生产过程中遵循清洁生产理念，所采用的各项污染防治措施技术可行、经济合理，能保证各类污染物长期稳定达标排放；预测结果表明项目所排放的污染物对周围环境和环境保护目标影响较小；通过采取有针对性的风险防范措施并落实应急预案，项目的环境风险可控。建设单位开展的公众参与未收到反馈意见。综上所述，在落实本报告书中的各项环保措施以及各级生态环境主管部门管理要求，从环保角度分江苏环保产业技术研究院股份公司242.总则）；江苏环保产业技术研究院股份公司25（21）《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法>的通知》）；（22）《关于印发〈企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法（试行）〉的通（23）《关于加强规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动工作的意见》（环发（24）《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》（环环评[2016]150（26）《关于启用<建设项目环境影响报告书审批基础信息表>的通知》（环办环评函（27）《关于做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作的通知》（环办环评（31）《关于加快解决当前挥发性有机物治理突出问题的通知》（环大气〔2021〕65）；江苏环保产业技术研究院股份公司26（12）《省政府办公厅关于公布江苏省太湖流域三级保护区范围的通知》（苏政办发（14）《省政府办公厅关于印发江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标减（15）《关于印发<江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018（16）《省政府办公厅关于加快推进城市污水处理能力建设全面提升污水集中收集处理（17）《省政府办公厅关于印发江苏省深入打好净土保卫战实施方案的通知》（苏政办（19）《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》（苏政发[2018]74江苏环保产业技术研究院股份公司27（21）《关于贯彻落实建设项目危险废物环境影响评价指南要求的通知》（苏环办（22）《江苏省生态环境厅关于进一步加强危险废物环境管理工作的通知》（苏环办（23）《省生态环境厅关于进一步完善一般工业固体废物环境管理的通知》（苏环办（24）《省生态环境厅关于印发<江苏省固体废物全过程环境监管工作意见>的通知》（25）《关于印发<省生态环境厅关于做好安全生产专项整治工作实施方案>的通知》）；（27）《省生态环境厅关于印发江苏省环境影响评价文件环境应急相关内容编制要点的（29）《省政府办公厅关于印发江苏省“十四五”生态环境保护规划的通知》（苏政办发（30）《关于印发<江苏省挥发性有机物清洁原料替代工作方案>的通知》（苏大气办（32）《市政府办公室关于印发无锡市区声环境功能区划分调整方案的通知》（锡政办江苏环保产业技术研究院股份公司282.2评价因子与评价标准表2.2-1环境影响矩阵识别表00000000江苏环保产业技术研究院股份公司290000000000000000000000000000000000根据区域污染源的排放情况、影响范围大小及是否具备相应规范的监测方法等方面综合表2.2-2环境影响评价因子VOCs3///////烷、四氯乙烯、氯苯、1,1,1,2-四氯乙烷、乙苯、间、对-二甲苯、邻二甲荧蒽、苯并（a）芘、茚并（1,2,3-//量////江苏环保产业技术研究院股份公司30本项目所在区域为二类环境空气质量功能区域，SO2、NO2、PM10、PM2.5、O3、CO、TSP执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标准；氟化物执行环境空气质量标准导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D其他污染物空气质量浓度参考限值。详见表2.2-3。表2.2-3环境空气质量标准（单位：mg/m3）NO2PM10PM2.54HClNH3H2S江苏环保产业技术研究院股份公司31本项目硅片外延、清洗等生产工艺废气颗粒物、氮氧化物、二氧化硫、氟化物、氯化氢、参照执行上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）排放限值，硅片外延、清洗等生产工艺、废水处理站废气氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》厂界颗粒物、氮氧化物、非甲烷总烃、氟化物、氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3限值要求，氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级要求，厂区内挥发性有机物执行《大气污染物综合排放标准》节艺/1准》（DB32/4041-物（以//硫///3/NMHC/3//NH3/准》（GB14554-NH3/H2S//浓度限值（mg/m3）NMHC4江苏环保产业技术研究院股份公司32浓度限值（mg/m3）NH3H2S施工期施工场地扬尘排放浓度限值执行《施工场地扬尘排放标准》（DB32/4437-2022）。表2.2-6施工场地扬尘排放浓度限值浓度限值/(μg/m3)TSPaPM10b渎港、东湛渎港、宜红河、蠡河、芜申运河、洋荡河、西氿、烧香河等执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）III类标准，具体指标值见表2.2-7。pH（无量纲）5BOD546铜全厂生活污水接管宜兴市城市污水处理厂处理，尾水排入武宜运河，接管及排放标准见江苏环保产业技术研究院股份公司33pHNH3-N8本项目生产废水接管至开发区内的宜兴市工业污水处理厂处理，含氟废水和综合废水分别采用“一企一管”模式建设废水收集管网。接管废水pH、C总磷、氟化物需自行处理达宜兴市工业污水处理厂规定的接管标准，本项目接管标准执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放值和宜兴市工业污水处理厂接管本项目单位产品基准排水量按《电子工业水污染物排放标准》（GB39本项目部分废水回用于生产，其中回用至循环冷却塔用水、废气洗涤系统等用水满足湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值》（DB32/1072-2018）中表1氟化物执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅳ类标准，总铜执行《地表水环境质表2.2-9本项目废水排放标准序号1pH/业水污染物排放标准》2020）表1间接排放限值和宜兴市23BOD5/45NH3-N684478江苏环保产业技术研究院股份公司34序号9/单位产品基准排水量表2.2-11回用至循环冷却塔用水、废气洗涤系统等用水BOD5NH3-N水5水55us/cmpH-NTU℃Almg/l（asCaCO3）mg/l（asCaCO3）NaKNH4-Nmg/l（asCaCO3）NO3FPO4江苏环保产业技术研究院股份公司35BUREAug/lug/l表2.2-13宜兴市工业污水处理厂设计出水水质标准（单位:mg/L）BOD5NH3-N*厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准，具体本项目所在地为城市建设用地中的工业用地，即为第二类用地，其土壤环境质量对照1砷2镉江苏环保产业技术研究院股份公司3634铜5铅6汞87镍89953956烯烯155烷烷烷烷57烷5苯142-氯酚江苏环保产业技术研究院股份公司37䓛芘萘险废物的贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）；一般固体废物分类执行《固体废物分类与代码》，一般工业废弃物的贮存、处置应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)；生活垃圾管理执行中华人民共和国建设部令第1572.3评价工作等级和评价重点根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）的要求，大气环境影响评价等P质量浓度的二级浓度限值，如项目位于一类环境空气功能区，应选择相应的一级浓度限值；江苏环保产业技术研究院股份公司38表2.3-1评价工作等级判据评价工作分级依据Pmax≥10%根据工程分析的内容，本项目大气污染物产生和排放情根据排放参数，采用《环境影响评价技术导则―大气环境》（HJ2.2-2018）推荐模型-污染物的最大影响程度和最远影响范围估算结果见表2.3-3。由表可知，最大占标率为P1、P2排气筒排放的氟化物，Pmax=12.26%≥10%，对照表2.3表2.3-2估算模型参数表最高环境温度/℃最低环境温度/℃岸线方向/°江苏环保产业技术研究院股份公司39表2.3-3估算模式计算结果表D10%PM100PM2.500NO20HCl0VOCs0NH30HCl00NH30VOCs0江苏环保产业技术研究院股份公司40本项目生产废水排放到宜兴市工业污水处理厂，生活污水排放到宜兴市城市污水处理厂。根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018），本项目属间接排放，评价等级为水污染影响型三级B，评述项目水污染控制措施可行性，不对本项目的水环境影响进行预根据《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ610-2016），本项目类别为报告书，行业类型属于电子专用材料制造，编制报告书地下水项目类型为Ⅳ类。根据《环境影响评价技根据《环境影响评价技术导则土壤环境（试行）目位于宜兴经济技术开发区内，项目周边土地性质为工业用地，敏感程度分级为不敏感，根表2.3-4本项目土壤环境敏感程度分级建设项目周边存在耕地、园地、牧草地、饮用水水源地或居民区表2.3-5土壤环境评价等级判别大中小大中小大中小---江苏环保产业技术研究院股份公司41评价范围内敏感目标噪声级增高量小于3dB(A)，且受影响人口数量变化不大，根据《环境影（1）危险物质数量与临界量比值（Q）根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018），计算项目所涉及的每种危险风险物质及临界量表及表B.2其他危险物质临界量推荐值，筛选本项目涉及的主要危险物质为天然气、盐酸、氢氟酸、氯化氢（气体）、氨水、三氯氢硅、硅烷、磷烷、乙硼烷、硫酸评价贮运区危险物质按本项目建成后全厂风险物质种类和贮存量进行计算，生产车间考虑本1江苏环保产业技术研究院股份公司42 EQ\*jc3\*hps21\o\al(\s\up2147483630(生),在)EQ\*jc3\*hps21\o\al(\s\up2147483630(产),线)EQ\*jc3\*hps21\o\al(\s\up2147483630(含),存)根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）中附录C，分析项目所属行业及生产工艺特点，按照表2.3-7评估生产工艺情况。具艺分别评分并求和，将M划分为（1）M>202）10<M≤203）5<M≤104）M=5，涉及光气及光气化工艺、电解工艺（氯碱）、氯化化工艺、过氧化工艺、胺基化工艺、磺化工艺、聚合工艺、油库（不含加气站的油库）、油气管线b（不含城5a高温指工艺温度≥300℃,高压指压力容器的设计压力（p）≥10.0Mpa； 本项目主体生产工艺行业类别属于其他，属于涉及危险废物的使用、贮存的项目，分值江苏环保产业技术研究院股份公司43（3）危险物质及工艺系统危险性（r）分级根据危险物质数量与临界量比值（Q）和行业及生产工艺（M按照下表2.3-依据环境敏感目标环境敏感性及人口密度划分环境风险受体的敏感性，共分为三种类型，大气环境敏感程度分级），依据事故情况下危险物质泄漏到水体的排放点受纳地表水体功能敏感性，与下游环境敏度敏感区，分级原则见表2.3-10。其中地表水功能敏感性分区和环境敏感目标分级分别见表江苏环保产业技术研究院股份公司44表2.3-10地表水环境敏感程度分级地表水功能敏感性表2.3-11地表水功能敏感性分区地表水环境敏感特征表2.3-12环境敏感目标分级一个潮周期水质点可能达到的最大水平距离的两倍范围内，有如下一类或多重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场和洄游通道；世界文化和自然遗产地一个潮周期水质点可能达到的最大水平距离的两倍范围内，有如下一类或多类环本项目设置事故三级防控体系，企业共设置1个雨水排口，雨水排口设置闸阀及在线监控，一般情况下事故废水不会经由雨污水排口进入周边水环境。本项目雨水经雨水管网排入江苏环保产业技术研究院股份公司45表2.3-13地下水环境敏感程度分级包气带防污性能地下水功能敏感性表2.3-14地下水功能敏感性分区地下水环境敏感特征集中式饮用水水源（包括已建成的在用、备用、应急水源，在建和保护区，如热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资集中式饮用水水源（包括已建成的在用、备用、应急水源，在建和准保护区以外的补给径流区；未划定准保护区的集中式饮用水水源，其保护区以表2.3-15包气带防污性能分级包气带岩土的渗透性能表2.3-16风险环境敏感特征表1NW2N3N江苏环保产业技术研究院股份公司464N5NE678S9NWNWNNNWNWNWNWNNNNWNEEEESSSSWSWW0江苏环保产业技术研究院股份公司471/1称1/定/根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018），建设项目环境风险潜势划分为Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ/Ⅳ+级。根据建设项目涉及的物质和工艺系统的危险性及其所在地的环境敏感程度，结合事故情形下环境影响途径，对建设项目潜在环境危害程度进行概化分析，按照环境敏感程度（E）危险物质及工艺系统危险性（P）ⅣⅢⅣⅢⅢⅡⅢⅢⅡ对照表2.3-18，本项目大气、地表水环境风险评价等级为二级，地下水环境风险评价等表2.3-18环境风险评价工作等级I一二三江苏环保产业技术研究院股份公司48本项目为污染影响类建设项目，位于已批准规划环评的产业园区内且符合规划环评要求、不涉及生态敏感区，根据《环境影响评价技术导则生态影响》（HJ19-2022）6.1.8节，可不根据项目的工程特征，确定本次评价重点为：项目污染物核定、项目工程分析、大气环2.4评价范围及环境敏感区依据相关导则要求，根据建设项目污染物排放特点，以及根据本项目污染物排放特点及项目水、气、声、土壤、地下水表2.4-1环境影响评价范围表//江苏环保产业技术研究院股份公司49表2.4-2本项目主要大气环境保护目标离XY123456789江苏环保产业技术研究院股份公司50离XY环境保护对象名称E准NWESS江苏环保产业技术研究院股份公司51环境保护对象名称E/////距离本项目边界1区2/34/5江苏环保产业技术研究院股份公司52《宜兴市城市总体规划（2017-2035年）》规划范围包括规划区：宜兴市域，总面积1996.6平方千米；中心城区：包括宜城街道、丁蜀镇镇区，以及屺亭街道、新街街道、新庄主、三副、九点”的市域城镇体系。“一主”即中心城区，承担市级行政、文化、商业、商务综合服务职能；“三副”为官林镇、和桥镇、张渚镇三个重点镇；“九点”即万石镇、徐舍镇、新战略定位为：中国陶都-国家历史文化名城，文化生态国际旅游城市，宁杭生态经济带新国际竞争力的综合性工业园区”，产业定位主要以新材料、新能源、光电材料、高端动力和半导体材料产业等为主导产业，本项目属于电子专用材料产业，属于产业发展战略中加快发展的高新技术产业。本项目用地在规划的工业用地上。因此，本项目符合《宜兴市城市总2.5.2《宜兴经济技术开发区发展规划（2016-2030年）》及其规划环评、规划宜兴经济技术开发区规划范围：规划用地位于宜兴市中心城区的北侧，屺亭街道的南边，紧邻宜城街道。具体范围东到东氿大道和芜申运河，西至新长铁路和锡宜高速西侧行政边界，划用地的西南角，该区域范围东到芜申运河，西至锡宜高速，北为兴杨公路，南临西氿，用江苏环保产业技术研究院股份公司53在《宜兴经济技术开发区国民经济和社会发展十三五规划》的要求下，力求把开发区打造成具有国际竞争力的综合性工业园区。贯彻落实创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，积极抓住长江经济带、苏南现代化建设示范区、苏南自主创新示范区等重大战略机遇，坚持项目立区、产业强区、科创兴区，坚持绿色化、服务化、智能化、高端化的发展方向。以“在国家级开发区中争当先进”的号召为主线，着力壮大新兴产业和特色产业，提升产业发展质态，提高现代科技园区的综合竞争力和对外开放水平，构建园区高精尖的产业体系，争社会经济发展目标：近期发展目标为打造千亿级产业强区，高标准全面建成小康社会。批公共服务能力和运营效率高的产业技术创新中心和工艺创新基地。战略性新兴产业快速发居的生态环境。另外，民主政治建设加快推进，法治建设深入开展，全面深化改革任务如期完成，形成系统完备、科学规范、运行有效的制度体系，公共管理的科学化、法治化、现代宜兴经济开发区的产业定位主要以新材料、新能源、光电材料和高端动力机械和半导体材料产业等为主导产业，积极发展军民融合产业、物流运输和市场综合服务业等形成产业集群，加快纺织、机械等传统产业的转型发展，提升园区的市场综合竞争力。同时加强园区监江苏环保产业技术研究院股份公司54督管理，提升产品质量，以适应市场需求，力求把经济开发区打造成具有国际竞争力的综合“九片区”为：新能源材料产业园、半导体材料产业园区、光电子产业园区、新材料产业园区、动力机械产业园区、军民融合产业园区、纺织和机械综合产业园区、物流仓储区、广规划范围内主要以工业用地为主。工业用地总面积为1404.7hm2，占城市建设总用地的一类工业用地：一类工业用地面积为340.8hm2。主要集中在杏里路北侧，武宜运河和东氿大道之间，以光电材料、新能源、高端动力机械产业为主，规划时发展备用地的用地性质二类工业用地：二类工业用地面积为858.3hm2。主要集中在规划用地的中间位置，以现三类工业用地：三类工业用地面积为205.6hm2。主要集中在规划区的南边，庆源大道两侧，以现状保留的工业为主。规模小效益低的企业必须整改，达到要求后排放，从长远角度，江苏环保产业技术研究院股份公司55高速公路：锡宜高速从开发区的西南角经过，并在开发区内设有互通口，使得开发区对开发区的道路采用方格路网形式，城市道路等级分为城市主干道、城市次干路、城市支城市主干路是宜兴市内重要的交通通道，是联系城市各功能组团的重要交通，主要有文城市支路有迎宾路、文峰路、杏庄路、腾飞路、永盛路、长青路、长乐路、袁桥路、诸宜兴经济技术开发区的工业用水和生活用水主要由氿滨水厂供给。规划的氿滨水厂作为开发区的给水管网规划时，充分利用现状给水干管，分期改造部分给水次干管；主干给水管网以环状布置为主，确保供水安全；给水管道规划至主、次干路级，以主干路为主；规规划区最高日用水量预测依据《城市给水工程规划规范》（GB50282—98）：规划区用经计算：宜兴经济技术开发区最高日用水量为13.7万m3/d，其中生活用水量为3.9万m3/d。江苏环保产业技术研究院股份公司56采用就近排放的原则。雨水管道结合道路走向和自然水网流向，以重力流为主，就近接规划区污水分类收集。宜兴经济技术开发区的新能源产业园、半导体材料产业园的大硅片配套区及元器件配套区工业废水排入宜兴市工业污水处理厂，生活污水及其他工业污水收武宜运河，根据污水处理厂周边工业用地面积及回用潜力，制定污水处理厂再生水生产规模。主要负责收集处理主城区、新街、新庄、宜兴经济技术开发区、芳桥、高塍的生活污水及利用市政管网排污的工业废水，废水管道沿规划区主要道路庆源大道、荆邑路、宜漕路、凯旋设，土建一次实施到位，设备分期安装。宜兴市工业污水处理厂一期工程（2.5万t/d）环评已），通过竣工环保验收。宜兴市工业污水处理厂厂址位于武宜运河以东，荆溪北路以西，宜兴市城市污水处理厂南侧。服务范围为宜兴经济技术开发区的新能源产业园、半导体材料产业园的大硅片配套区及元器件配套区。废水管道总体采用管架架空敷设，穿过沿途企业大门和十江苏环保产业技术研究院股份公司57电网，主要为各终端变电所提供电源，供电线路原则上都应采用电缆沟沿路东侧和南侧敷设。用电负荷预测：采用地均综合用电指标法进行负荷计算：经计算：宜兴经济技术开发区规划区热源由协联热电厂供给，由规划区北侧的庆源大道接出。目前协联有400MW燃气空和埋地两种敷设方式，主要供热干管靠近大型用户和热负荷集中的地区，增强供热能力，保证供热稳定性。主干供热管道主要沿河、沿次干路采用低支墩架空铺设。为保证美观和交通顺畅，沿主要道路及局部过路热力管道采用埋地敷设。和其它管线并行敷设或交叉时，为了保证各种管道均能方便地敷设运行和维修，热力管道和其它管线之间应有必要的距离。工业区供热管道采用地上敷设，居住区尽量采用地下敷设，当地下敷设困难时可采用地上敷设，开发区对优质燃料的需求越来越大。管道天然气是开发区天然气输送的主要方式，具有供气稳定、连续性等特点。开发区的燃气来源主要由高塍门站和丁蜀门站双气源保供，每个门站工业用气量主要根据工业性质、生产规模、耗气设备消耗定额及燃烧效率、生产班制等对比预测经济开发区的用气量。目前，开发区的居民总用气约为221.35万m3/江苏环保产业技术研究院股份公司58量约为3241.8万m3/年。规划到2020年，居民用气量为426.83万m开发区的天然气设施应统一规划，布局成网、分步实施。要统筹考虑，近远结合，遵循环保优先的原则，合理空间布局，集约土地资源，科学设置站点，保护重要生态功能区。燃气管网均采用中压一级管网形式，燃气经城市中压管网输送至各计量调压设施。公共建筑及工业用户用气由中压管网至各用户计量调压站经调压后使用；居民用气由中压管网至各中、1开发区存在问题及整改措表2.5-1开发区存在问题及整改措施值》（DB32/1072-20182）规划近远期关停关停上游宜兴化工园内江苏坤风纺织品有限公司等3家印染企业4）根据《武宜运河-芜申运河“一局优化建议明确：对位于新材料产业区的2.3hm2江苏环保产业技术研究院股份公司59定位的印染、化工共家，其中7家企业为化工监测点。除化工防治及管理措施有待废水排放量较大，污水处理设施存在异味纺织有限公司已取得排污许可证，按照《江湖水污染防治条例（2018年修订）》及《关于严求予以保留，在条件成熟时搬迁。乐祺、意代。加强其废气、废水处理设施管理，减少家化工企业，综合考虑企业产值、污染物排放情软剂厂、精密化学、洪流绝缘材料、威特石2《宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书》审查意见民政府批准设立为省级开发区。2009年，宜兴市人民政府编制《江苏宜兴经济开发区及其周同步开展了环境影响评价工作，于2019年2月18日取得了生态环境部审查意见（环审《宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书》审查意见中对规划优化调整和实施过（一）《规划》应坚持绿色发展、协调发展理念。根据国家、区域发展战略，突出生态优先、绿色转型、集约高效，进一步优化《规划》功能定位、用地布局、发展规模、产业结构等，加强与宜兴市城市总体规划以及土地利用规划的协调和衔接，加强规划的主导产业与开发区用地类型的协调，合理、集约、高效利用土地资源。着力推动开发区产业转型升级，（二）强化空间管控。落实已有规划环评成果，进一步优化开发区内的空间布局。加强江苏环保产业技术研究院股份公司60区内湿地、河道等生态空间保护，严禁不符合管控要求的开发建设活动，位于太湖一级保护区的工业用地应调整为绿化用地。以改善区域环境质量、保障区域人居环境安全为目标，加快推进解决区内居住与工业布局混杂的问题。生产与生活空间之间应设置空间隔离带，生活（三）严守环境质量底线。根据国家和江苏省有关大气、水、土壤污染防治行动计划以及相关要求，明确开发区环境质量改善的阶段目标，制定区域污染物允许排放总量管控要求及污染减排方案，采取有效措施减少主要污染物和挥发性有机物等特征污染物的排放总量，（四）推动产业绿色转型升级。落实长三角地区战略环境评价工作成果，按照长三角地区分区环境管控要求，加强与区域“三线一单”衔接。按照《报告书》提出的企业关停、退出原则,逐步退出不符合区域发展定位和环境保护要求的企业。大力推进技术研发型、创新型、（五）严格入区项目的生态环境准入。引进项目的生产工艺、设备，以及单位产品能耗、（六）组织制定生态环境保护规划，统筹考虑区内污染防治、生态恢复与建设、环境风险防范、环境管理等事宜。建立健全区域、流域环境风险防范体系，加强区内重要风险源的（七）完善环境监测体系。根据开发区功能分区、产业布局、重点企业分布、特征污染物的排放种类和状况、环境敏感目标分布等情况，建立包括环境空气、地表水、地下水、土壤、底泥等环境要素的监控体系。做好开发区内大气、水、土壤等环境要素的长期跟踪监测与管理,根据监测结果并结合环境影响、区域污染物削减措施实施的进度和效果适时优化调整（八）完善开发区环境保护基础设施建设。宜兴市城市污水处理厂提标至《太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值》(DB32/1072—2018)。加快提升开发区（九）在《规划》实施过程中，适时开展环境影响跟踪评价。规划修编时应重新编制环江苏环保产业技术研究院股份公司61地为规划的工业用地，符合园区土地利用规划。本项目生产工艺、设备，以及单位产品能耗、物耗、污染物排放和资源利用等均达到同行业先进水平，清洁生产水平达到国际领先水平。废水清污分流、一水多用、分质处理，硅片臭氧冲洗排水回用于臭氧冲洗，漂洗水回用于纯水制备，倒角、减薄和边缘抛光含砂废水经处理后回用于酸碱喷淋、循环冷却塔等工序，其他废水经分质处理后达标接管至宜兴市工业污水处理厂。硅烷废气密闭收集经硅烷尾气处理器+二级碱喷淋处理，外延尾气密闭收集通过外延尾气处理器+二级碱喷淋处理，有机废气、酸性废气经二级碱喷淋处理，碱性废气经二级酸喷淋处理，处理后满足相应排放标准要求。固体废物全部委外妥善处置。经开区已建立突发环境事件应急体系，发布了《宜兴经济技术开发区突发环境事件应急预案》并定期修订，编制了《宜兴经济技术开发区突发水污染事件三级防控体系建设方案》，确保事故状态下的废水处于受控状态，本项目建成后应制定风险防范措施，修订突发环境事件应急预案，防止发生环境事故。因此，本项目建设符合园区规根据《江苏省生态空间管控区域规划》，项目周边重要生态功能区见表2.5-2和图2.4-3。与本项目距离最近的重要生态功能区为宜兴团氿东氿翘嘴红鲌国家级水产种质资源保护区，地区能离(km)生态空间管控区域范围1/分2护江苏环保产业技术研究院股份公司62地区能离(km)生态空间管控区域范围3区湖体为宜兴市太湖湖体范根据《江苏省国家级生态保护红线规划》，项目周边重目距离最近的生态保护红线为宜兴团氿东氿翘嘴红鲌国家级水产种质资源保护区，最近距离地区1区区2依据江苏省大气、地表水（环境）功能区划、当地的环境功能的分类原则。环境功能区芜申运河、洋荡河、西氿、烧香河执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）III类水质江苏环保产业技术研究院股份公司633.现有项目回顾中环领先半导体科技股份有限公司现有项目包括集成电路用8-12英寸半导体硅片项目（一期）、集成电路用大直径半导体硅片项目（二期）和高速低功耗集成电路用高端硅基材），高速低功耗集成电路用高端硅基材料的研发与生产项目主要内容为年产外延硅片、SOI表3.1-1现有项目组成、环评及验收情产品名称、规格片/月）环境影响评价批复竣工环保验收情况取得宜兴市环境保 江苏环保产业技术研究院股份公司64产品名称、规格片/月）环境影响评价批复竣工环保验收情况（二期）///排污许可证内容包含所有已建、在建项目，证书编号：91320282MA1UQ5XR2L001V，有效房0江苏环保产业技术研究院股份公司650500江苏环保产业技术研究院股份公司66表3.2-1现有项目主体工程、公辅及环保工程建设江苏环保产业技术研究院股份公司67表3.3-1现有项目（含已建、在建）主要原辅料使用情况江苏环保产业技术研究院股份公司68中环领先半导体科技股份有限公司现有已建项目主要产生废水种类主要为生产废水（包括酸性废水、碱性废水、含氟废水、含氨废水、碱性有机废水、含砂废水、漂洗水、制氢站汽水分离器排污水、酸碱喷淋废水、地面冲洗水、初期雨水），根据现有产排污情况，对废水进行分质分类收集处理，分别设置酸碱废水中和处理系统、含氟废水处理系统、含氨废水预处理系统、含砂废水处理系统、碱性有机废水处理系统以及综合废水生化处理系统。现有废水预处理设施131套41套51套61套71套江苏环保产业技术研究院股份公司69江苏环保产业技术研究院股份公司70江苏环保产业技术研究院股份公司71生产废水经厂区预处理后，含氟废水经含氟废水专管排口（DW003）、综合废水经综合废水排口（DW001）接管宜兴市工业污水处理厂，生活污水经生活污水排口（DW002）接管生产过程中产生的漂洗水直接进入纯水处理系统制成的纯水回用于工艺用水；含砂废水进入回用水处理系统，处理后用于循环冷却水、地面冲洗和废气洗涤，水质标准执行《城市现有已建含氟废水预处理系统处理规模为3929t/d，采用二级化学混凝沉淀+A/O工艺，采以及企业含氟废水排口在线监测数据，含氟废水预处理系统出水浓度满足宜兴市工业污水处表3.4-3含氟废水预处理系统出水达标情况分析期况8NH3-NBOD546pH值777江苏环保产业技术研究院股份公司72NH3-NBOD54pH值表3.4-42024年1-3月含氟废水预处理系000000经处理后，用于地面冲洗、废气洗涤、循环冷却系统用水。回用水处理系统主要采用除砂用工业用水水质标准》（GB/T19923-2005）中洗涤用水和冷却用水要求；工艺生产过程产生根据江苏宜安检测技术有限公司提供的检测报告（报告位目值况7686BOD54江苏环保产业技术研究院股份公司73位目值况NH3-NNDNDNDND18877BOD54NH3-NNDNDNDND16776BOD54NH3-N1887868BOD5NH3-N188BOD5NH3-NNDNDNDND1BOD58NH3-NNDNDNDND1BOD5NH3-NNDNDNDND1BOD5NH3-NNDNDNDND1水9887BOD5NH3-N18英寸含砂废水回用水7688BOD5NH3-N1江苏环保产业技术研究院股份公司74A/OA/O位目值况88水BOD57NH3-N1水BOD57NH3-N1理含砂废水、含氨废水、碱性有机废水经分质分类收集预处理后的生产废水与废气洗涤塔废水、回用水系统排污水、循环冷却废水、初期雨水、地面冲洗水排入综合废水处理系统处理生产废水（包含酸性废液/水、碱性废液/水、含氨废液/水、漂洗水、含砂废液/水、碱性有机废液/水）及废气洗涤塔废水、回用水系统排污水、初期雨水、地面冲洗水经过厂内废水预处理系统预处理后同纯水系统排污水、循环