集成电路微专业教学实验平台建设需求

集成电路微专业教学实验平台建设需求1技术标准与要求序号品目名称标的名称单位数量1其他信息化设备集成电路VR实训平台套1.002其他信息化设备芯片工艺制造实验板卡套1.003其他信息化设备制造设备认知实验板卡套1.004其他信息化设备一体化半导体测试平台设备台2.005其他信息化设备交换机台1.006其他计算机软件保护还原软件节点61.007其他计算机软件多媒体教学软件节点61.008其他计算机软件集成电路设计教学资源套1.009其他信息化设备集成电路设计测试验证平台套2.0010其他信息化设备模拟电路集成开发设备套36.002集成电路VR实训平台序号具体技术(参数)要求11、集成电路VR实训平台需包含集成电路多功能实验平台、半导体参数分析仪、高性能运算模块、VR操作设备、VR显示屏等设备；22、集成电路多功能实验平台需支撑各类VR场景实验的设计，同时也是所有实验功能硬件板卡的基台载体，可容纳至少14个硬件板卡插槽，每通道接口需符合PCIeX16标准；33、半导体参数分析仪需容纳至少7个测试板卡插槽，支持源测量元SMU板卡和LCR测量元板卡类型，提供可触控液晶屏，提供以下接口：1路电源接口、6路预留COM口、2路网口，还需包含VGA、HDMI等常用输出端口，还包含电源线、数据线、视频线、键盘和鼠标等配套设施；44、半导体参数分析仪显示区为可触控液晶，内部包含机箱温度监测模块，可以实时监测机箱温度，并且根据机箱温度动态调节散热情况；55、提供VR显示屏尺寸不少于90英寸，提供不少于1个HDMI、1个USB接口、支持wifi连接；66、平台需提供高性能运算模块，CPU主频≥2.9Ghz，核心数≥6核，制作的工艺≤14nm，内存不小于64GB，显卡CUD核心数≥1408，显存容量≥6GB，主板提供至少1个标准的DB15VGA显示接口、1个标准的HDMI接口、7个标准的7PinSATA接口、4个千兆以太网接口，2个PCIeX16接口；77、平台需提供VR头戴式设备套装，包括至少1个头戴式设备、1副耳机、1个中转器、1个数据线、1个视频线、1个电源线、1个投影线和1个插线板以及6个不同度数的镜片；头戴式设备采用双AMOLED屏幕，组合分辨率不低于2160×1200像素，单眼分辨率不低于1080×1200像素，刷新率不低于90Hz，视场角不小于110度；88、平台包含至少2个操作控制器套装，每个套装包括至少1个手柄、1个充电头、1根充电线、1个挂绳、24个感应器、多功能触摸板、双阶段触发器以及高清触觉反馈功能，内置可充电电池；99、平台包含至少2个VR定位器套装，每个套装包括至少1个定位器、1个电源线、1套固定支架和配件，采用激光定位方法定位，提供360度移动追踪，最大支持不低于15英尺x15英尺的空间物理追踪能力，具备无线同步功能；1010、平台需配备必需的手写笔、电源线，数据线，视频线，键盘和鼠标等配套设施；3芯片工艺制造实验板卡序号具体技术(参数)要求11、芯片工艺制造实验板卡需提供制备线实景操作VR软件载体和必要的数据输入输出交互硬件平台，接口需满足PCIeX16设计标准；22、板卡提供不低于1路VGA15Pin接口，该接口需要能与源测量单元（SMU）板卡的PACtrl的端口相连通，用于VR软件的数据交互；33、板卡需内嵌制备线实景操作VR软件，通过VR还原真实集成电路制备场景和操作方法；内部场景布置需与当前工业界工艺厂（Foundry）主流场景布置类似（非高校超净间布置方式），内部包含至少以下20种虚拟设备：EUV光刻机、氧化炉、退火炉、低压化学气相沉积设备、介质刻蚀机、硅刻蚀机、化合物刻蚀机、金属刻蚀机、光刻胶刻蚀机、DUV光刻机、物理气相淀积设备、晶圆存储Stocker、原子层沉积设备、外延设备、离子注入机、扩散炉、金属氧化物气相沉积设备、槽式清洗机、单片清洗机、激光退火设备，每个设备需提供可供用户交互设备交互方法，总计交互步骤不少于100步；44、制备线需包含天车系统及自适应的天车算法，并且需要与Foundry主流天车系统和算法类似；系统需要能够完成至少十种器件，且必须包含二极管、集成电路电阻、MOSFET、变容管、SOI、FinFET、三极管、LDMOS、JFET、GaAs的完整设备参数设置的流程和生产实习流程，总计设置步骤不少于200步，设置完成后，需要以天车系统为核心的运转方式完成晶圆的全部制备过程，用户可以在这一过程中观察任意设备情况并且能够查看器件在每一步的制造数值结果和二维微观结构图；55、需提供与芯片工艺制造生产实习相关的实训课程内容，时间不少于1周，需提供电阻、二极管、双极型晶体管、MOSFET、JFET、MSSFET器件等不低于6种工艺制造实验内容；4制造设备认知实验板卡序号具体技术(参数)要求11、制造设备认知实验板卡提供半导体设备认知的实景操作VR软件，板卡接口需满足PCIeX16设计标准；22、板卡输出接口不低于1路VGA15Pin接口，该接口需要能与源测量单元（SMU）板卡的PACtrl的端口相连通，用于VR软件的数据交互；33、内嵌半导体设备实景操作VR软件，通过VR还原真实集成电路生产设备的原理、基本操作和动态效果；系统需包含至少10种(包含但不局限于EUV光刻机、氧化炉、退火炉、低压化学气相沉积设备、介质刻蚀机、硅刻蚀机、化合物刻蚀机、金属刻蚀机、光刻胶刻蚀机、DUV光刻机)等虚拟设备，每个设备均需为当前产线使用的常见设备（非高校超净间设备），需提供设备原理介绍、设备结构、设备内部运转过程、设备面板操作、设备动态效果动画等针对认识实习所必不可少的环节流程，并且可以与用户互动，总计互动步骤不少于200步；44、需提供提供与芯片制造设备认识实习相关的实训课程内容，时间不少于1周；5一体化半导体测试平台设备序号具体技术(参数)要求11、平台需包含混合信号示波器、信号发生器、数字万用表、直流电源、源测量单元SMU仪器、LCR测试仪器、数字I/O等各类半导体测试测量仪器硬件于一体，支撑微电子和集成电路专业的《半导体物理实验》、《半导体器件物理实验》、《半导体工艺检测实验》；22、内置高性能处理器，预装计算机操作系统，提供不小于13.3英寸触控屏幕；33、混合信号示波器：不低于2通道，最高采样率不低于1GS/s，双通道共用时单通道采样率不高于500MS/s/通道，带宽不低于100MHZ，分辨率不低于8bits；44、源测量单元(SMU)：不低于2通道，电压范围:10V，电压输出最小分辨率不高于170uV，电压输出精度不高于333uV，电压测量分辨率:10uV，电压测量精度:50uV，电流测量分辨率:0.1nA，电流测量精度:1nA；55、信号发生器：需提供正弦、方波、斜坡/三角坡、直流、任意波形类型，更新率不低于125MS/S，分辨率不低于14bit，不低于1通道，带宽：不低于20MHz，输出阻抗不低于:50Ω；66、直流电源输出:输出：0V~+6V/0A~1A；OV~+25V/0mA~500mA(隔离)；0V~-25V/0mA~500mA(隔离)；77、数字万用表精度不低于5位半，采样率不低于2S/s，最大直流电压/交流电压:300V/±400V，最大直流电流/交流电流：10A±10.5A，支持DC电压电流、AC电压电流、电阻、二极管、连通性测量；88、LCR测量仪器最大精度不低于0.02%，频率范围：1kHz-2000kHz，电阻测量范围:0.12-1MΩ，电容测量范围:0.1pF-1mF，电感测量范围:10nH-100H；99、数字IO不低于8通道，输入最大5V，输出支持0V/3.3VTTL输出，驱动能力不低于4mA；1010、提供P-N结的直流特性测试与分析和肖特基势垒特性及其杂质的测量等《半导体物理实验》内容并提供实验指导书/实验程序相关证明截图材料；1111、提供BJT直流参数的测量、MOSFET直流交流参数的测量、BJT特征频率的测量、MOSFET动态开关特性测试等《半导体器件物理实验》内容并提供实验指导书/实验程序相关证明截图材料；1212、提供MOSFET的低频CV特性测量、数字集成电路单元的工艺流程设计等《半导体工艺检测实验》；1313、平台支持互联及智能化功能，能够实现实验过程记录，实验软件可自动记录学生实验操作步骤，支持在网站上结合一体化半导体测试平台设备仪器记录数据对学生能力进行评价分析；6交换机序号具体技术(参数)要求11、支持不少于48个10/100/1000BASE-T电口，支持不少于4个1000BASE-XSFP端口，支持AC，交换容量不低于：336Gbps/3.36Tbps、包转发率不低于：108/126Mpps；7保护还原软件序号具体技术(参数)要求11、支持B/S管理架构，可通过网页方式对机房进行远程管理，包括时间同步、消息广播、系统切换等操作；22、须支持对EXT文件系统或其他文件系统进行有效数据分析；33、支持网络限制策略，能够设定禁用外网或禁用全部网络，并支持设置例外，例外类型包括IP地址、网址、端口，并设置生效时间区间，能够精确到秒，支持按天执行、按周执行、按月执；44、针对日常教学使用的各种教学软件，支持对不少于1个客户端进行软件统一注册激活，快速部署软件，满足不同专业的教学需求；55、终端在断网情况下（非生成快照的模式，无须后端服务器），可离线对终端的Linux系统（如ubuntu）立即还原，在ubuntu上的所有操作会在下一次开机后还原；66、支持电脑本地硬盘操作系统（xp/win7/win8/win10或以上/linux）的立即还原和还原点瞬间创建；77、支持MBR分区系统和GPT分区系统混合安装，可支持60个及以上的不同操作系统；88、支持对客户端内不少于8块硬盘进行分区、系统装载、还原、还原方式设置，满足多硬盘系统还原和管理；99、支持从WINDOWS界面对1000台及以上的电脑进行数据差异拷贝，非增量拷贝、变量拷贝、进度同步等上一代部署方式；根据网络状况可选择广播、组播、单播等方式；1010、支持操作系统分权管理，可分配不同的管理员管理不同的操作系统；1111、支持学期课表的编辑，可设置学期开始和结束时间、课程的节数，课程时间范围可精细化到秒，支持将操作系统的镜像以拖拽的方式拖到学期课表（例如将镜像拖到周二第3、4节）；1212、支持程序控制策略，支持黑名单、白名单两种模式，能够根据手动添加、应用进程、系统自带进程进行设置，并能够通过客户端实时识别操作系统进程进行控制，并设置生效时间区间，能够精确到秒，支持按天执行、按周执行、按月执行；1313、管理员可给教师单独分配用户名和密码，教师可凭此用户名和密码在教学的电脑上瞬间创建自己独立的备课系统，其他人员不可见，也不影响正常的教学系统；1414、支持将当前的教学系统，无需新增分区的情况下瞬间复制一个不保护的系统，用于学生自主实验或计算机等级考试；1515、支持文件夹穿透，可在当前保护的分区下设定一个开放的文件夹，保存更新设置，重启分区还原其它数据还原，此文件夹中的数据不还原；1616、底层服务器虚拟化软件需通过《信息技术虚拟机管理通用要求》《信息技术弹性计算应用接口》测评；1717、须同时支持UEFI主板的UEFI系统、传统系统兼容并存，投标时提供产品彩页或产品说明书或网页截图或知识产权等证明资料扫描件；8多媒体教学软件序号具体技术(参数)要求11、支持IPV4、IPV6网络环境下安装和正常使用，支持windows732位/64位，windows1064位、windows1164位操作系统；22、教师自带笔记本可通过mac绑定和IP绑定两种方式快速连接服务器和学生端，实现多媒体互动教学；33、支持班级管理，可将频道和班级进行绑定，用于不同的教室登录不同的频道进行上课；44、支持对学生视图自定义命令和排序，便于学生未点名时，通过座位信息快速找到学生；55、支持屏幕广播功能，能够实现两种接收模式，包括学生全屏/窗口模式接收教师机广播的画面，全屏状态锁定学生鼠标和键盘；66、屏幕广播支持区域广播方式，教师端可选取一块区域广播给学生机（如只广播教学软件界面）；77、屏幕广播状态下，教师可开启实时语音，学生端可以通过耳机接听教师语音，同时支持屏幕笔功能，教师可通过屏幕笔将屏幕当做画板进行绘制，便于教学互动；88、支持影音广播，即使在终端未进入桌面的状态，也能够实现全体学生的影音广播，影音广播下支持视频的切换、暂停，并支持点击进度条任意地方以改变视频播放进度；99、在屏幕广播之后连接上来的终端可直接接收屏幕广播内容，用户终端关闭虚拟桌面仍可同步广播教师机屏幕和视频，不会中断教学；1010、教师可选定一个学生操作本机或操作教师机进行教学演示，并将该学生演示的画面广播给每一个学生；被广播的学生将全屏/窗口接收演示学生的画面，全屏状态键盘和鼠标被锁定；1111、支持遥控转播，教师端可对单个学生机进行遥控并转播到其它学生机桌面；1212、支持遥控监看，教师可实时监看学生端的学生桌面，并可远程遥控学生端桌面，支持单屏控制和全体控制，控制时可锁定学生机；1313、教师机可以连续监看所选学生机屏幕，每屏可监视多个学生,可设置每屏学生机的数量以及学生机屏幕轮循的时间间隔；1414、具备游戏互动教学功能，支持击鼓传花、电子抢答等互动方式；1515、教师可对学生进行电子点名，可以自定义院系、专业、班级等单位类别，可导入导出学生信息，可设置迟到时间，可显示签到人数；1616、支持作业下发，教师机可将自己机器上的文件传输到学生机，支持一对多传输，当选中多台学生机执行下发文件时，教师端需选择其中一台学生机作为样本机，并选择存放路径，支持发送文件或文件夹；1717、支持收取作业，教师可发起作业提交，学生提交作业后自动收取，默认将收取上来的作业存放在桌面，该路径可自定义更换；作业命名方式支持学生自定义和教师自定义，教师自定义命名支持加入学生姓名、学号、学生机器名或学生机IP地址中的一种方式；1818、支持一键收取指定路径的学生作业，弥补学生忘交作业和不会提交作业的缺点，提升老师收取作业的时效性；1919、支持远程命令（包括一键关闭应用程序，一键关闭学生打开的Windows类窗口）、远程开机、远程关机等功能；2020、支持屏幕录制与回放，教师机可以将本机的操作过程、讲解录制为一个文件，内容可回放，并可通过屏幕广播给学生；2121、支持电子白板功能，能够在屏幕广播时实现注解讲解、注释，辅助教学；2222、支持黑屏肃静，教师可对学生执行黑屏肃静操作，能够自定义黑屏肃静的提示信息，支持手动解锁、按时解锁、按时长解锁；在某学生已经锁定情况下，也可以手动追加对其他学生进行黑屏肃静；2323、提供行为管控模块，支持程序黑白名单限制，支持禁用外网，禁用USB设备，教师端主界面可展示USB设备、程序、网络禁用状态；2424、支持考试功能，包括试题编辑、下发试卷、考试监控、成绩统计；可添加单选题、多选题、判断题、填空题、问答题；可设置考试时长，倒计时结束后自动结束考试；阅卷时，单选题、多选题、判断题支持自动评分和统计正确率；2525、屏幕广播支持区域广播方式，教师端可选取一块区域广播给学生机；2626、支持学生面板功能，学生端通过学生面板可使用电子举手，提交作业，查看消息等常用功能；2727、教师端和学生端支持添加本地应用程序快捷功能按钮，便于一键打开需要使用的应用程序；2828、支持学生端访问因特网，学生可直接访问教师端提前设置的学习网址，简化上网应用；9集成电路设计教学资源序号具体技术(参数)要求11、提供集成电路设计教学资源包，包含但不仅限于模拟集成电路设计软件、数字集成电路设计软件、集成电路版图设计软件等软件资源；22、提供《模拟集成电路设计》课程资源包，包含但不仅限于熟悉模拟集成电路设计流程和软件基础操作、熟悉常用电路性能的仿真方法、运算放大器、基准电流源设计、带隙电压基准设计、多级CMOS运算放大器综合设计、超低温漂带隙电压基准综合设计7个实验；33、提供《数字集成电路设计》课程资源包，包含但不仅限于熟悉数字集成电路设计流程和软件操作、编写功能模块的硬件描述语言实验、编穹Testbench与功能验证实验、逻辑综合实验、静态时序分析与形式验证实验、乘法器设计实验、乘法器设计实验、log函数设计实验、存储器实验、FIFO数据缓冲器实验、CORDIC算法实验、总线控制器设计实验、键盘扫描和编码器设计实验13个实验；44、提供《集成电路版图设计》课程资源包，包含但不仅限于认识版图、版图绘制数字和软件基础操作、电容和二极管、双极型晶体管版图、MOSFET与MOS变容器版图、熟悉模拟后端集成电路设计流程和软件基础操作、熟悉数字后端集成电路设计流程和软件基础操作、模拟集成电路后端设计综合实验、数字集成电路后端设计综合实验8个实验；10集成电路设计测试验证平台序号具体技术(参数)要求11、包含逻辑分析仪功能，不少于16路数字通道，支持SPI/并行信号分析；22、包含示波器功能，不低于2通道，不低于100MHz带宽，不低于1GS/s采样率；33、支持任意波形发生器功能，频率不低于20MHz；44、支持数字万用表功能，分辨率不低于5½，最大电压不少于300V；55、支持编程直流电源功能，电压范围6V/±25V，最大电流不低于1A；66、支持不少于8通道双向数字通道功能，TTL逻辑电平；77、至少包括两个通用PCIDUT接口，并开放PCI接口定义，1个开放面包板，提供不少于4块芯片测试板卡，被测参数包括INL、DNL、LSB、OffsetError、SNR、THD、SINAD等；88、支持USB连接，设备支持LabVIEW、C和Python多工具链编程开发；99、包含《集成电路测试基础》实验指导书，实验内容包含LabVIEW基础使用、测试平台应用基