《连续式光学磁控溅射镀膜设备》征求意见稿

1连续式光学磁控溅射镀膜设备本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）的研发、生产、检验和GB/T2680建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射比及有GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通GB/T11164—2011真空镀膜设备通用技术GB/T11186.1漆膜颜色的测量方法第1部分：原理GB/T13384机电产品包装通用技术GB/T18209.1机械电气安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求GB/T33051光学功能薄膜表面硬化薄膜硬化层厚度测定方法GB/T38518柔性薄膜基体上涂层厚度的测量3.1连续式光学磁控溅射镀膜设备continuousopticalmagnetronsputteringcoating将材料溅射到工件表面进而沉积形成具有一定光学性能薄膜的连续生产设备，常见有采用立式镀3.23.3包括了输送辊道动作、进出口腔室充放气和翻板阀动3.4腔室泄漏率chamberleakag24.2抽气系统4.3真空测量系统4,4镀膜系统4.5传动系统4,6控制系统a)进水温度20～25）℃;5.2压缩空气a)气体为洁净干燥空气；b)空气压力0.4±0.1）MPa。5.3温湿度a)主机房的相对湿度保持在30%～65%；c)主机房温度应保持不高于35℃,或隔离电气机箱保持温度不高于35℃;35.5供电电源6.2技术参数12），3），456），789最小工艺节拍，s6.3.1关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置，并与电源、真空系统、传动系统相关应能根据设计需求自动关闭或自动打开。遇突然停电时，阀门应能自动6.3.3控制系统应装配有急停开关，一旦有重大异常情况时，可通过触动开关停下设备；开关应加装6.3.4控制柜应加装有报警灯，可实时反映设6.3.7操作中突然断电后，再恢复供电时应能防止电器自行6.3.8设备的高压危险部分、高温部分、各种电极引线部分、机械传动部位应有明显的警示标识。其47.2技术参数a)腔体及盖板内部的焊接工作及清洁工作已全部完成；b)盖板密封件安装就位并按工作状态与腔体配置到位；喷吹的顺序为由上至下，由近至远；然后采用接入真空系统的氦质系统可设定的最大速度前出现故障，则最大机械传动速度为挂1——所有测试点位所测范围内最大膜层厚度，单位为nm。2——所有测试点位所测范围内最小膜层厚度，单位为nm。5A——传动速度稳定性；d1——线速度计测量值，单位为m/s。a）大气状态下的输送辊道及门阀的机械节拍已经调试到最b）进出口腔室从大气至规定真空度的时间已经过测试，并稳定在一个数值；从入口阀板开启开始计时，至该阀板再次打开7.3安全防护按GB15760规定进行，电气安全按GB/T522——新产品试制；——产品在设计、工艺或所用材料有重大变更，可能影响产品性能时；——产品批量生产时。9标志、包装、运输和贮存b)设备型号及名称；9.1.2每台设备及其附属装置应在有高压、高温、化学品、传动装置、电磁波、紫外线等危险源的适69.2.1设备包装前应对未做防锈处理的金属表面涂以防锈油脂。对整机包装的设备包装前镀膜室应抽成真空状态并关闭所有阀门。装箱前应将设备中的残余积水或废屑清9.3运输设备的运输方式和运输中所采取的措施应保证设备及其包装不发生损伤；设备在运输中有可能松散的零部件应有防松、垫、托等措施；运输中应有防止设备9.4贮存9.4