《连续式光学磁控溅射镀膜设备》编制说明_第1页
《连续式光学磁控溅射镀膜设备》编制说明_第2页
《连续式光学磁控溅射镀膜设备》编制说明_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

《连续式光学磁控溅射镀膜设备》（征求意见稿）编制说明本团体标准根据《广东省真空学会<广东省真空学会团体标准管理办法>的通知》要求进行制定。起草单位有广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司等。《连续式光学磁控溅射镀膜设备》团体提案、立项阶段：2024年6月，广东省新兴激光等离子体技术研究院向省真起草（草案、论证）阶段：2024年6月～7月，广东省新兴激光等离子体技术研为本标准的组织单位及主要起草单位，为了高质量完成编制起草工作，组织成立标准组，确定标准工作方案，负责草案的编写和进度控制。工作组广泛调研光学镀膜连续相关标准及文献，并对业内进行调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草定。随后，工作组组织了专家对标准草案和编制说明进行了论证，对必须注意的事项深入讨论与研究，提出了修改意见，对草案做了进一步补充完善，对标准名称修正为续式光学磁控溅射镀膜设备》，并形成了标准征求意2024年7月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展为期意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表述等方遵照团体标准制定原则，积极征询各成员、各领域的意见以保证标准科学性。产团体标准需要考虑产品自身标准化的要求，也需要充分兼顾产业链上下游生产制造情况。在深入调查大量行业代表性光学镀膜连续线研发制造企业的基础上，与行业行研讨论证，广泛征求意见，保证标准的科学性、规范性、时效性，提高标准质本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本本标准规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运本标准适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和给出了“真空室”“抽气系统”“真空测量系统”“镀膜系统”“传动系统”“控制规范了使设备处于正常工作状态的冷却水、压缩空气、温湿度、工作气体、供电电源对照（五对各项要求的试验方法做出明确规定。给出了“出厂检验”和“型式检验”的检验项《连续式光学磁控溅射镀膜设备》团体标准的推广是一个持续的过程，需要府、企业和协会各方面努力合作。将利用会议进行宣贯讲

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论